特許ウォッチ

公開番号2025167261
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-11-07
出願番号2024071708
出願日2024-04-25
発明の名称撮像装置
出願人株式会社SCREENホールディングス
代理人個人
主分類H04N 23/60 20230101AFI20251030BHJP(電気通信技術)
要約【課題】撮影可能時間が短い高速度カメラを用いて、観察対象となる事象を適切なタイミングで撮影できる撮像装置を提供する。
【解決手段】イベントベースカメラ61から出力される第1撮影データD1に基づいて、第1事象が発生した第1タイミングを判定する。そして、当該第1タイミングに基づいて、所定時間後に生じる第2事象を、高速度カメラ62により撮影する。これにより、撮影可能時間が短い高速度カメラ62を用いて、第2事象を適切なタイミングで撮影できる。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
イベントベースカメラと、
高速度カメラと、
前記イベントベースカメラから出力される第１撮影データに基づいて、第１事象が発生した第１タイミングを判定するタイミング判定部と、
を備え、
前記第１タイミングに基づいて、前記第１事象から所定時間後に生じる第２事象を、前記高速度カメラにより撮影する、撮像装置。
続きを表示（約 940 文字）【請求項２】
請求項１に記載の撮像装置であって、
前記タイミング判定部は、前記第１撮影データにおいて輝度値が変化した画素数が所定の閾値以上となるタイミングを、前記第１タイミングとして判定する、撮像装置。
【請求項３】
請求項１に記載の撮像装置であって、
前記タイミング判定部は、前記第１撮影データ中に特定のパターンが出現するタイミングを、前記第１タイミングとして判定する、撮像装置。
【請求項４】
請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の撮像装置であって、
前記タイミング判定部により判定された前記第１タイミングに基づいて、前記高速度カメラへトリガー信号を出力するトリガー信号出力部
をさらに備える、撮像装置。
【請求項５】
請求項４に記載の撮像装置であって、
前記タイミング判定部および前記トリガー信号出力部は、ＦＰＧＡまたはマイコンにより構成される、撮像装置。
【請求項６】
請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の撮像装置であって、
ノズルから物体へ吐出される液体の状態を観察するために使用され、
前記イベントベースカメラは、前記ノズルの先端付近において、前記ノズルから吐出される液体を撮影し、
前記タイミング判定部は、前記第１撮影データに基づいて、前記ノズルから液体の吐出が開始された時刻を、前記第１タイミングとして判定し、
前記高速度カメラは、前記第１タイミングから所定時間後に、前記物体に到達する液体を撮影する、撮像装置。
【請求項７】
請求項１から請求項３までのいずれか１項に記載の撮像装置であって、
基板の表面において広がる液体の状態を観察するために使用され、
前記イベントベースカメラは、前記基板の中心と外端部との間の中途部を撮影し、
前記タイミング判定部は、前記第１撮影データに基づいて、前記中途部に液体が到達した時刻を、前記第１タイミングとして判定し、
前記高速度カメラは、前記第１タイミングから所定時間後に、前記基板の外端部に到達する液体を撮影する、撮像装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、高速度カメラを用いた撮像装置に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体製造装置のような精密・微細加工を行う装置では、わずかな動作の差異が、プロセス品質の低下を招く。このため、設計の検証や、トラブルの要因分析のために、装置の動作を詳細に観察したい場合がある。しかしながら、物体の高速な回転運動や、液体の高速な流れは、一般的な動画撮影用のカメラでは、詳細に撮影することが難しい。そこで、従来、装置の高速な動作を観察するために、高速度カメラが使用されている。
【０００３】
高速度カメラを使用して装置の高速な動作を観察する従来の技術については、例えば、特許文献１に記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２１－１６７８３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
通常の動画撮影用のカメラは、単位時間あたりのフレーム画像の数を示すフレームレートが、３０～６０フレーム／秒程度であるのに対し、高速度カメラは、数千フレーム／秒以上のフレームレートで撮影を行うことができる。
【０００６】
ただし、高速度カメラは、撮影中に撮影データをコンピュータへ転送することが間に合わないため、カメラに内蔵されたメモリに、撮影データを記憶させる。したがって、メモリの容量に応じて、高速度カメラの撮影可能時間が限られる。例えば、撮影可能時間が数十マイクロ秒以下に限られる場合もある。このため、装置において観察対象となる事象が発生したときに、タイミングよく高速度カメラによる撮影を行うことが難しい、という問題がある。
【０００７】
そこで、本発明は、撮影可能時間が短い高速度カメラを用いて、観察対象となる事象を適切なタイミングで撮影できる撮像装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
上記課題を解決するため、本願の第１発明は、撮像装置であって、イベントベースカメラと、高速度カメラと、前記イベントベースカメラから出力される第１撮影データに基づいて、第１事象が発生した第１タイミングを判定するタイミング判定部と、を備え、前記第１タイミングに基づいて、前記第１事象から所定時間後に生じる第２事象を、前記高速度カメラにより撮影する。
【０００９】
本願の第２発明は、第１発明の撮像装置であって、前記タイミング判定部は、前記第１撮影データにおいて輝度値が変化した画素数が所定の閾値以上となるタイミングを、前記第１タイミングとして判定する。
【００１０】
本願の第３発明は、第１発明の撮像装置であって、前記タイミング判定部は、前記第１撮影データ中に特定のパターンが出現するタイミングを、前記第１タイミングとして判定する。
（【００１１】以降は省略されています）

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