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公開番号2025158355
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-17
出願番号2024060834
出願日2024-04-04
発明の名称液体用ホース及び液体塗布装置
出願人新電元工業株式会社,株式会社秋田新電元
代理人個人,個人
主分類B05C 11/10 20060101AFI20251009BHJP(霧化または噴霧一般;液体または他の流動性材料の表面への適用一般)
要約【課題】液体の使用量を削減でき、容器内の液体に気泡が発生することを防止できる液体用ホースを提供する。
【解決手段】本発明は、液体塗布装置に使用され、粘度が100cP以上500cP以下の液体11が入れられる容器10の中に挿入され、前記液体11を吸い上げるためのホース21と、前記ホース21の先端側に位置し、且つ前記ホース21内に配置された液だれ防止部材22と、を有する液体用ホースである。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
液体塗布装置に使用され、粘度が１００ｃＰ以上５００ｃＰ以下の液体が入れられる容器の中に挿入され、前記液体を吸い上げるためのホースと、
前記ホースの先端側に位置し、且つ前記ホース内に配置された液だれ防止部材と、
を有することを特徴とする液体用ホース。
続きを表示（約 680 文字）【請求項２】
請求項１において、
前記液だれ防止部材は、前記液体を前記ホース内に通す機能と、前記液体を保持する機能を有することを特徴とする液体用ホース。
【請求項３】
請求項１又は２において、
前記液だれ防止部材は、多孔質部材、多孔質フィルタ、多数の細管の集合体又は網形状部材のいずれかであることを特徴とする液体用ホース。
【請求項４】
請求項１又は２において、
前記液体はフォトレジスト液であり、
前記容器はガロン瓶であることを特徴とする液体用ホース。
【請求項５】
粘度が１００ｃＰ以上５００ｃＰ以下の液体が入れられる容器と、
前記容器内に挿入される第１のホースと、
前記第１のホースの先端側に位置し、且つ前記第１のホース内に配置された液だれ防止部材と、
前記容器に入れられた前記液体を、前記液だれ防止部材を通して前記第１のホース内に吸い上げるポンプと、
前記ポンプによって吸い上げられた前記液体を基板上に塗布するための第２のホースと、
を有することを特徴とする液体塗布装置。
【請求項６】
請求項５において、
前記液だれ防止部材は、前記液体を前記第１のホース内に通す機能と、前記液体を保持する機能を有することを特徴とする液体塗布装置。
【請求項７】
請求項５又は６において、
前記液体はフォトレジスト液であり、
前記容器はガロン瓶であることを特徴とする液体塗布装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体用ホース及び液体塗布装置に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
従来のレジスト塗布装置において、フォトレジスト液はガロン瓶の中にホースを挿入して、ポンプで吸い上げて基板上にフォトレジスト液を塗布している。フォトレジスト液が無くなると、ガロン瓶に挿入しているホースを抜いてガロン瓶を交換する必要がある。その際に、ホース内のフォトレジストが液だれするため、ガロン瓶交換の時には、ホース先端からたれるフォトレジスト液を受ける受け皿を用いている。この時に受け皿にたれたフォトレジスト液はまだ使用可能なものであるが、捨てざるを得ず、無駄にされていた。
【０００３】
また、ホース先端からフォトレジスト液がたれた際にホース内に空気が入る。この空気がホースに入った状態で交換後のガロン瓶にホースを挿入するため、ホース内の空気が気泡となる。この気泡を抜く為にフォトレジスト液を一定量吐出させる必要があり、この吐出させたフォトレジスト液も使用可能なものであるため、そのフォトレジスト液も無駄にされていた。
【０００４】
そこで、上述した使用可能であるけれど無駄に捨てられるフォトレジスト液を少なくすることが求められている。フォトレジスト液は高価なものであるため、極力無駄にすることを防ぐことが求められている。つまり、フォトレジスト液が無駄に捨てられることを抑制することで、フォトレジスト液の使用量を削減できるレジスト液用ホース及びレジスト塗布装置が求められている。これに関連する技術が特許文献１に記載されている。
【０００５】
また、前述したガロン瓶の交換後に、ガロン瓶内のフォトレジスト液に気泡が発生することを防止することも求められている。
【０００６】
上記の問題は、フォトレジスト塗布装置に限らず、液体を塗布する装置であれば、同様の問題が発生することが考えられる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
特開２０２１－１４２９９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
本発明の種々の態様は、塗布用の液体が無駄に捨てられることを抑制することで、液体の使用量を削減できる液体用ホース及び液体塗布装置を提供することを目的とする。
また、本発明の種々の態様は、容器内の液体に気泡が発生することを防止できる液体用ホース及び液体塗布装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
以下に本発明の種々の態様について説明する。
【００１０】
［１］液体塗布装置に使用され、粘度が１００ｃＰ以上５００ｃＰ以下の液体が入れられる容器の中に挿入され、前記液体を吸い上げるためのホースと、
前記ホースの先端側に位置し、且つ前記ホース内に配置された液だれ防止部材と、
を有することを特徴とする液体用ホース。
（【００１１】以降は省略されています）

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