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公開番号2025153879
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-10
出願番号2024056572
出願日2024-03-29
発明の名称イソプロぺニルフェノール共重合体の製造方法
出願人日油株式会社
代理人個人,個人
主分類C08F 212/14 20060101AFI20251002BHJP(有機高分子化合物;その製造または化学的加工;それに基づく組成物)
要約【課題】残存モノマー量の低減が可能なイソプロぺニルフェノール共重合体の製造方法を提供する。
【解決手段】イソプロぺニルフェノール共重合体の製造方法は、単量体混合物溶液と、重合開始剤溶液を、反応容器内へ同時に滴下する工程を有し、単量体混合物溶液の滴下時間(t1)と重合開始剤溶液の滴下時間(t2)が0.2≦t1/(t1+t2)<0.5の関係であり、単量体混合物は、下記式(1)で表される単量体(a)、マレイミド系単量体(b)およびその他単量体を含む単量体の合計量を100質量部としたとき、単量体(a)が5～40質量部であり、単量体(b)が1～30質量部であり、その他単量体が30～94質量部であることを特徴とする。
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【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
単量体混合物溶液と、重合開始剤溶液を、反応容器内へ同時に滴下する工程を有するイソプロぺニルフェノール共重合体の製造方法であって、
単量体混合物溶液の滴下時間（ｔ１）と重合開始剤溶液の滴下時間（ｔ２）が０．２≦ｔ１／（ｔ１＋ｔ２）＜０．５の関係であり、
単量体混合物は、下記式（１）で表される単量体（ａ）、下記式（２）で表される単量体（ｂ）およびその他単量体を含む単量体の合計量を１００質量部としたとき、単量体（ａ）が５～４０質量部であり、単量体（ｂ）が１～３０質量部であり、その他単量体が３０～９４質量部であることを特徴とする、イソプロぺニルフェノール共重合体の製造方法。
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Ｒ
１
は水素原子または炭素数１～１２の炭化水素基を表す。
続きを表示（約 400 文字）【請求項２】
単量体混合物溶液の合計量を１００質量部としたとき、単量体混合物（ｗ１）が２０～９０質量部であり、重合開始剤溶液の合計量を１００質量部としたとき、重合開始剤（ｗ２）が１～３０質量部であり、単量体混合物溶液（Ｗ１）と重合開始剤溶液（Ｗ２）の質量比が１≦Ｗ１／Ｗ２≦１５の関係である請求項１記載の製造方法。
【請求項３】
その他単量体が下記式（３）で表される単量体（ｃ）を含有する請求項１記載の製造方法。
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71
Ｘ
１
は酸素原子または窒素原子を示し、Ｒ
２
は水素原子、または置換されていてもよい炭素数１～２２の炭化水素基を示し、ｎは、Ｘ
１
が酸素原子の場合は１を示し、Ｘ
１
が窒素原子の場合は２を示す。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、イソプロぺニルフェノール共重合体の製造方法に関する。
続きを表示（約 2,500 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、フォトレジスト材料は広く応用されており、テレビやスマートフォンをはじめとする電子製品等の製造工程又は加工工程に不可欠な微細加工材料となっている。このようなレジスト材料はマスクを用いた活性エネルギー線の照射により、露光部と未露光部のアルカリ溶液への溶解性の差を発現させることによってパターン化が行われ、アルカリ溶液で露光部を溶解させ、さらに加熱による溶剤の除去及び硬化を行い所定形状のパターン形成が行われる。
【０００３】
フェノール性水酸基を有するイソプロぺニルフェノールは、（メタ）アクリル系単量体との共重合により重合体中に水酸基を導入することができ、得られるアクリル系重合体はポジ型レジスト用樹脂として良好な特性を示すことから、半導体用途やディスプレイ用途等、幅広く用いられている。このような樹脂の製造では、ディスプレイの高精細化に対応するため、パターン形成時に悪影響を与える残存モノマーを可能な限り低減する必要がある。
【０００４】
特許文献１では、レジストを形成するためのアルカリ可溶性樹脂として、フェノール性水酸基を有する単量体と共重合性の高いマレイミドからなる重合体が開示されている。
特許文献２では、感放射線性組成物として、酸性基を有する構造単位と、オキセタン構造及びオキシラン構造よりなる群から選択される少なくとも１種を有する構造単位とを含む重合体が開示されている。
特許文献３では、薄膜トランジスタ基板の感光性ポジ型硬化性組成物の成分として、酸基が酸分解性基で保護された基を有する重合体が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０２０－３４６４１号公報
特開２０２２－１７１２７０号公報
特開２０１６－１５４２３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
イソプロぺニルフェノールは共重合性が低いことから、重合性の低い単量体と重合を行う場合に、残存モノマー量が増加してしまう問題があるが、従来の重合方法では反応性が低く、残存モノマー量を低減することが困難であった。また、特許文献１、２、３記載のように、イソプロぺニルフェノールと、共重合性が高いマレイミド構造単位とを多量併用することで残留モノマー量を低減する方法が知られるが、低減効果は限定的であり、さらに重合体の構成が制限されてしまうなどの課題が生じる。そのため、ディスプレイの高精細化に向け、残留モノマー量を低減させる新たな重合方法が望まれている。
【０００７】
以上のような事情に鑑み、本発明は、残存モノマー量の低減が可能なイソプロぺニルフェノール共重合体の製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
すなわち、本発明は、以下の構成からなる。
［１］単量体混合物溶液と、重合開始剤溶液を、反応容器内へ同時に滴下する工程を有するイソプロぺニルフェノール共重合体の製造方法であって、
単量体混合物溶液の滴下時間（ｔ１）と重合開始剤溶液の滴下時間（ｔ２）が０．２≦ｔ１／（ｔ１＋ｔ２）＜０．５の関係であり、
単量体混合物は、下記式（１）で表される単量体（ａ）、下記式（２）で表される単量体（ｂ）およびその他単量体を含む単量体の合計量を１００質量部としたとき、単量体（ａ）が５～４０質量部であり、単量体（ｂ）が１～３０質量部であり、その他単量体が３０～９４質量部であることを特徴とするイソプロぺニルフェノール共重合体の製造方法。
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Ｒ
１
は水素原子または炭素数１～１２の炭化水素基を表す。
［２］単量体混合物溶液の合計量を１００質量部としたとき、単量体混合物（ｗ１）が２０～９０質量部であり、重合開始剤溶液の合計量を１００質量部としたとき、重合開始剤（ｗ２）が１～３０質量部であり、単量体混合物溶液（Ｗ１）と重合開始剤溶液（Ｗ２）の質量比が１≦Ｗ１／Ｗ２≦１５の関係である上記［１］記載の製造方法。
［３］その他単量体が下記式（３）で表される単量体（ｃ）を含有する上記［１］又は［２］記載の製造方法。
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71
Ｘ
１
は酸素原子または窒素原子を示し、Ｒ
２
は水素原子、または置換されていてもよい炭素数１～２２の炭化水素基を示し、ｎは、Ｘ
１
が酸素原子の場合は１を示し、Ｘ
１
が窒素原子の場合は２を示す。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によれは、残存モノマー量の低減が可能なイソプロぺニルフェノール共重合体の製造方法を提供することができる。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
本発明のイソプロぺニルフェノール共重合体の製造方法は、単量体混合物溶液と、重合開始剤溶液を、反応容器内へ同時に滴下する工程を有し、単量体混合物溶液の滴下時間（ｔ１）と重合開始剤溶液の滴下時間（ｔ２）が０．２≦ｔ１／（ｔ１＋ｔ２）＜０．５の関係であり、単量体混合物は、式（１）で表される単量体（ａ）、式（２）で表される単量体（ｂ）およびその他単量体を含む単量体の合計量を１００質量部としたとき、単量体（ａ）が５～４０質量部であり、単量体（ｂ）が１～３０質量部であり、その他単量体が３０～９４質量部であることを特徴とする。本発明によれば、残存モノマー量の低減が可能なイソプロぺニルフェノール共重合体の製造方法を提供できる。
（【００１１】以降は省略されています）

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