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公開番号2025153709
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-10
出願番号2024056321
出願日2024-03-29
発明の名称基板収納容器
出願人信越ポリマー株式会社
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/673 20060101AFI20251002BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ボディ内外の圧力が高い場合にもボディとドアの間でリークや外気の侵入を招くおそれを払拭でき、シールガスケットの一部がめくれるおそれを排除できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハ収納用のボディ1と、ボディ1の正面部2に嵌合されるドアセット10と、ボディ1とドアセット10間に介在されるシールガスケット20とを備えた基板収納容器であり、ボディ1の正面部内周にシール形成面3が形成され、ドアセット10の裏面周縁部に取付溝13が形成されており、シールガスケット20は、取付溝13に嵌合されるガスケット本体21と、ガスケット本体21から延びる延長片23と、シール形成面内側に接触する第一のリップ片24と、シール形成面外側に接触する第二のリップ片24Aとを備え、第一、第二のリップ片24・24Aを断面逆L字形に形成し、これらの間にドアセット10が嵌合時に圧潰する二股空間25を形成する。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
基板を収納するボディと、このボディの開口部に嵌め合わされるドアと、これらボディとドアとの間に介在される変形可能なシールガスケットとを備えた基板収納容器であって、
ボディの開口部内周とドアの周縁部のうち、いずれか一方にシールガスケット用のシール形成面が形成され、他方にはシールガスケット用の取付溝が形成されており、
シールガスケットは、取付溝に嵌められるガスケット本体と、このガスケット本体から延長される延長片と、この延長片に形成されてシール形成面内側に接触可能な第一のリップ片と、延長片に形成されてシール形成面外側に接触可能な第二のリップ片とを含み、第一、第二のリップ片をそれぞれ断面略Ｌ字形に形成し、これら第一、第二のリップ片の間に、ボディの開口部にドアが嵌め合わされた場合に潰れる二股空間を形成したことを特徴とする基板収納容器。
続きを表示（約 430 文字）【請求項２】
ボディは、複数枚の半導体ウェーハを上下方向に整列収納可能なフロントオープンボックスに成形され、開口した正面部が幅方向外側に膨出形成されるとともに、正面部内周の段差がシール形成面に形成されており、
ドアは、裏面の周縁部に取付溝がエンドレスに形成され、この取付溝にシールガスケットのガスケット本体が嵌め入れられる請求項１記載の基板収納容器。
【請求項３】
シールガスケットは、所定の成形材料によりエンドレスに成形され、ガスケット本体が断面略多角形に形成されており、このガスケット本体から突起が突出して取付溝内に接触する請求項１又は２記載の基板収納容器。
【請求項４】
第一、第二のリップ片は、延長片の先端部からシール形成面方向に形成される屈曲部と、この屈曲部に形成されてシール形成面に接触する接触部とを備え、この接触部と二股空間の形成する角度が７０°以上９０°以下である請求項１又は２記載の基板収納容器。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、半導体ウェーハ等の基板を収納するボディとドアとの間にシールガスケットが介在される基板収納容器に関するものである。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体ウェーハを収納する基板収納容器には、輸送用のＦＯＳＢと工程内搬送用のＦＯＵＰのタイプがあるが、いずれのタイプにも高性能化が求められている。具体的には、輸送用のＦＯＳＢタイプの場合には、シール性や清浄度の向上が求められ、工程内搬送用のＦＯＵＰタイプの場合には、パージ機能の向上が求められている（特許文献１、２参照）。
【０００３】
従来におけるＦＯＳＢタイプの基板収納容器は、図７に示すように、半導体ウェーハを収納するボディ１と、このボディ１の開口した正面部２に嵌合されるドアセット１０と、これらボディ１とドアセット１０との間に介在されるエンドレスのシールガスケット３０とを備え、輸送時の気圧の変動等によりボディ１とドアセット１０の間で気体が流通するのを防ぐため、シールガスケット３０のシール性や清浄度の向上が求められている。
【０００４】
ボディ１は、複数枚の半導体ウェーハを整列収納可能なフロントオープンボックスに成形され、開口した正面部２が外方向に膨出形成されるとともに、この正面部２の内周の段差がシール形成面３に形成されており、このシール形成面３に屈曲して隣接する隣接面４がボディ１の周壁内面を形成している。また、ドアセット１０は、ボディ１の正面部２に対応する大きさ・形に構成され、裏面１２の周縁部に取付溝１３が形成されており、この取付溝１３にシールガスケット３０が嵌入される。
【０００５】
シールガスケット３０は、様々なタイプがあるが、例えば図７に示すタイプの場合、ドアセット１０の取付溝１３に嵌入される基体３１と、この基体３１から幅方向外側に延長される延出片３２と、この延出片３２の先端部に湾曲形成されて外側に伸びるシール片３３とを備えた枠形に成形され、シール片３３の先端部に、ボディ１のシール形成面３に圧接してシールする球状突起３４が膨出形成されている。
【０００６】
このようなシールガスケット３０は、ボディ１の開口した正面部２にドアセット１０が圧入して嵌合されると、シール片３３が外方向に撓んで球状突起３４をボディ１のシール形成面３に圧接し、この圧接により、シール形成面３とドアセット１０との間にシールを形成してボディ１の外部から内部にパーティクル等の混在した外気が流入するのを防止する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
特開２０１３－１０５９３１号公報
特開２０１４－０１７４５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
従来における基板収納容器は、以上のようにシールガスケット３０が形成されて所定の効果を発揮するものの、ボディ１内外の圧力（気圧）が想定値以上の場合には、ボディ１とドアセット１０との間でリークや外気の侵入を招くおそれが考えられる。例えば、ボディ１内の圧力が想定値以上に高い場合には、シールガスケット３０のシール片３３や球状突起３４が内圧に負けてボディ１のシール形成面３から離れ、リークを招く懸念がある。また、特許文献１に記載されたシールガスケット３０の場合、優れた効果が期待できるものの、延出片３２の中間部付近から突出する第二のシール片がシール形成面３とは別位置の隣接面４に接触するので、ドアセット１０の嵌合位置が正規の位置でないときには、第二のシール片がめくれる懸念がある。
【０００９】
本発明は上記に鑑みなされたもので、ボディ内外の圧力が高い場合にもボディとドアとの間でリークや外気の侵入を招くおそれを払拭することができ、シールガスケットの一部がめくれるおそれを排除することのできる基板収納容器を提供することを目的としている。
【課題を解決するための手段】
【００１０】
本発明においては上記課題を解決するため、基板を収納するボディと、このボディの開口部に嵌め合わされるドアと、これらボディとドアとの間に介在される変形可能なシールガスケットとを備えたものであって、
ボディの開口部内周とドアの周縁部のうち、いずれか一方にシールガスケット用のシール形成面が形成され、他方にはシールガスケット用の取付溝が形成されており、
シールガスケットは、取付溝に嵌められるガスケット本体と、このガスケット本体から延長される延長片と、この延長片に形成されてシール形成面内側に接触可能な第一のリップ片と、延長片に形成されてシール形成面外側に接触可能な第二のリップ片とを含み、第一、第二のリップ片をそれぞれ断面略Ｌ字形に形成し、これら第一、第二のリップ片の間に、ボディの開口部にドアが嵌め合わされた場合に潰れる二股空間を形成したことを特徴としている。
（【００１１】以降は省略されています）

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