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公開番号2025145440
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-03
出願番号2024045618
出願日2024-03-21
発明の名称複層管
出願人積水化学工業株式会社
代理人弁理士法人新樹グローバル・アイピー
主分類F16L 11/06 20060101AFI20250926BHJP(機械要素または単位;機械または装置の効果的機能を生じ維持するための一般的手段)
要約【課題】更新前と更新後の管を容易に判別可能な複層管を提供することを目的とする。
【解決手段】複層管2は、半導体洗浄液の輸送に用いられる複層管1であって、クリーン層11と、接着層13と、を備える。クリーン層11は、最内層を構成し、ポリオレフィン系樹脂または塩化ビニル樹脂を主成分とする。接着層13は、クリーン層11の外側に配置され、顔料を含む。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
半導体洗浄液の輸送に用いられる複層管であって、
最内層を構成し、ポリオレフィン系樹脂または塩化ビニル樹脂を主成分とする第１層と、
前記第１層の外側に配置され、顔料を含む第２層と、を備えた、
複層管。
続きを表示（約 590 文字）【請求項２】
前記顔料は、有機顔料、無機顔料、または蛍光顔料のいずれか１つ以上から選択される、
請求項１に記載の複層管。
【請求項３】
ＳＥＭＩＦ－５７に準拠して測定されるカルシウム溶出量が３０μｇ／ｍ
２
未満である、
請求項１に記載の複層管。
【請求項４】
前記第１層と前記第２層の色差は、０．５以上である、
請求項１に記載の複層管。
【請求項５】
前記第２層は、接着性ポリオレフィン樹脂である、
請求項１に記載の複層管。
【請求項６】
前記第２層の厚みは、１０μｍ以上、３００μｍ以下である、
請求項１に記載の複層管。
【請求項７】
前記第２層の外側に配置されたガスバリア層を更に備えた、
請求項１に記載の複層管。
【請求項８】
前記第１層と前記第２層の間に配置された芯材層を更に備え、
前記芯材層は、ポリオレフィン系樹脂を主成分として含む、
請求項１に記載の複層管。
【請求項９】
前記芯材層は、顔料を含む、
請求項８に記載の複層管。
【請求項１０】
前記ポリオレフィン系樹脂は、ポリエチレンである、
請求項１に記載の複層管。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、複層管に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体装置又は液晶表示装置等の精密デバイスの製造において、洗浄等の湿式工程で極めて高純度に精製された超純水が用いられている。金属イオン等が所定濃度以上水中に存在していると、ウエハ表面等に金属が吸着することで精密デバイスの品質に悪影響を及ぼすため、超純水中における不純物の制限が徹底して行われている。
【０００３】
超純水への不純物の混入は、超純水の輸送ラインを構成する配管においても生じる。配管の材質としては、ガスバリア性に優れたステンレス鋼等の金属が用いられたこともあるが、配管からの金属溶出の影響を考慮すると、樹脂を用いることが好ましいとされている。
【０００４】
例えば、特許文献１には、超純水の配管用の多層管であって、フッ素樹脂からなり、超純水に接触する第１の樹脂層と、ガス不透過性樹脂からなり、前記第１の樹脂層の外周面に設けられた第２の樹脂層とを備えることを特徴とする多層管が開示されている。さらに、第２の樹脂層の外周面に、前記第２の樹脂層を保護する第３の樹脂層が設けられ、当該第３の樹脂層としてポリエチレンが用いられることが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０１０－２３４５７６公報
特開２０２１－５５７６４号公報
特開２０２３－４６６５６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
半導体工場内で使用される超純水用途の管は、更新期間が通常の配管よりも早く、１０～１５年で交換する必要がある。
【０００７】
しかしながら、更新前後を分かり易くするために、管を顔料などで着色した場合、溶出性能に影響が出るため、従来のＰＶＤＦを用いた管では、着色されていないものを使用せざるを得なかった。そのため、更新しても同色であることから施工前後での区別が難しかった。
【０００８】
本開示は、更新前と更新後の管を容易に判別可能な複層管を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記目的を達成するために、第１の開示にかかる複層管は、半導体洗浄液の輸送に用いられる複層管であって、第１層と、第２層と、を備える。第１層は、最内層を構成し、ポリオレフィン系樹脂または塩化ビニル樹脂を主成分とする。第２層は、第１層の外側に配置され、顔料を含む。
【００１０】
このように、第１層の外側の第２層に顔料を含めることで、更新前の管と更新後の管に色差を設けることができる。そのため、更新の前後の管を容易に判別することができる。また、半導体工場等において、常温水と高温水を流す管の間で色を異ならせることで、温度の異なる液体が流れる管の判別を容易に行うことができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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