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公開番号2025142874
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-10-01
出願番号2024042470
出願日2024-03-18
発明の名称ワーク加工用粘着シート
出願人リンテック株式会社
代理人弁理士法人樹之下知的財産事務所
主分類C09J 7/30 20180101AFI20250924BHJP(染料;ペイント;つや出し剤;天然樹脂;接着剤;他に分類されない組成物;他に分類されない材料の応用)
要約【課題】基材とエネルギー線硬化性を有する粘着剤層との剥離の発生が抑制され、かつ、ワークへの糊残りの発生が抑制されたワーク加工用粘着シートを提供すること。
【解決手段】ワーク加工用粘着シート100は、基材10と、前記基材10の少なくとも一方の面に設けられたエネルギー線硬化性を有する第一粘着剤層21と、前記基材10と、前記第一粘着剤層21との間に設けられたエネルギー線硬化性を有しない第二粘着剤層22と、を備える。前記第一粘着剤層21は、エネルギー線硬化性を有する粘着剤を含み、前記第二粘着剤層22は、エネルギー線硬化性を有しない非エネルギー線硬化性の粘着剤を含み、前記非エネルギー線硬化性の粘着剤の極性値と、前記エネルギー線硬化性の粘着剤の極性値との差の絶対値が1.00(cal/cm³)^0.5以下である。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
ワーク加工用粘着シートであって、
基材と、
前記基材の少なくとも一方の面に設けられたエネルギー線硬化性を有する第一粘着剤層と、
前記基材と、前記第一粘着剤層との間に設けられたエネルギー線硬化性を有しない第二粘着剤層と、
を備え、
前記第一粘着剤層は、エネルギー線硬化性を有する粘着剤を含み、
前記第二粘着剤層は、エネルギー線硬化性を有しない非エネルギー線硬化性の粘着剤を含み、
前記非エネルギー線硬化性の粘着剤の極性値と、前記エネルギー線硬化性の粘着剤の極性値との差の絶対値が１．００（ｃａｌ／ｃｍ
３
）
０．５
以下である、
ワーク加工用粘着シート。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
請求項１に記載のワーク加工用粘着シートにおいて、
前記非エネルギー線硬化性の粘着剤の極性が、９．８０（ｃａｌ／ｃｍ
３
）
０．５
以上である、
ワーク加工用粘着シート。
【請求項３】
請求項１又は請求項２に記載のワーク加工用粘着シートにおいて、
前記エネルギー線硬化性の粘着剤の極性が、前記非エネルギー線硬化性の粘着剤の極性よりも大きい、
ワーク加工用粘着シート。
【請求項４】
請求項１又は請求項２に記載のワーク加工用粘着シートにおいて、
前記ワーク加工用粘着シートが、半導体パッケージ加工用粘着シートである、
ワーク加工用粘着シート。
【請求項５】
請求項１又は請求項２に記載のワーク加工用粘着シートにおいて、
前記ワーク加工用粘着シートが、ダイシングシートである、
ワーク加工用粘着シート。
【請求項６】
請求項１又は請求項２に記載のワーク加工用粘着シートにおいて、
前記非エネルギー線硬化性の粘着剤が、アクリル系粘着剤である、
ワーク加工用粘着シート。
【請求項７】
請求項６に記載のワーク加工用粘着シートにおいて、
前記非エネルギー線硬化性の粘着剤が、ｎ－ブチルアクリレートに由来する構成単位を最も多く含む（メタ）アクリル系共重合体を含有する、
ワーク加工用粘着シート。
【請求項８】
請求項７に記載のワーク加工用粘着シートにおいて、
前記（メタ）アクリル系共重合体が、さらに、アクリル酸に由来する構成単位を含む、
ワーク加工用粘着シート。
【請求項９】
請求項１又は請求項２に記載のワーク加工用粘着シートにおいて、
前記エネルギー線硬化性を有する粘着剤が、アクリル系粘着剤である、
ワーク加工用粘着シート。
【請求項１０】
請求項９に記載のワーク加工用粘着シートにおいて、
前記アクリル系粘着剤が、側鎖にエネルギー線硬化性基が導入された（メタ）アクリル酸エステル重合体であって、ｎ－ブチルアクリレートに由来する構成単位を最も多く含む（メタ）アクリル酸エステル共重合体を含有する、
ワーク加工用粘着シート。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ワーク加工用粘着シートに関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体装置は、バックグラインド工程、ダイシング工程、エキスパンド工程、転写工程、及びピックアップ工程などの各工程を経て製造される。具体的には、例えば、半導体ウエハは、予め定められた形状及び寸法に切断され、複数の半導体チップに個片化される。個片化された複数のチップは、各チップの相互間隔が広げられてから、リードフレーム及び基板等の被搭載物上に搭載されることなどが行われている。半導体装置の製造工程において、半導体ウエハ及び半導体パッケージ等のワークは、基材上に設けられた粘着剤層を備えたワーク加工用粘着シートの粘着剤層に貼付された状態で、上記の各工程において、各種の加工が行われる。
【０００３】
また、例えば、基材と粘着剤層とを備えたワーク加工用粘着シートを用いて、ガラス基板及びガラス板などの透明部材を加工することも行われている。例えば、ワーク加工用粘着シートの粘着剤層の上に、透明部材が貼付された状態で、予め定められた形状、及び寸法に切断され、複数のチップ状の透明部材（例えば、ガラスチップ）に個片化される。
【０００４】
特許文献１には、基材と、前記基材の片面側に積層された粘着剤層とを備えたワーク処理用シートが開示されている。特許文献１に開示されるワーク処理用シートは、前記基材における前記粘着剤層とは反対側の面の静摩擦力が１０Ｎ以下であり、２３℃での引張試験において前記基材を１％引っ張ったときの引張弾性率をＥ
１
、２３℃での引張試験において前記基材を２０％引っ張ったときの引張弾性率をＥ
２０
としたときに、Ｅ
２０
／Ｅ
１
で算出される引張弾性率比が、前記静摩擦力が１～１０Ｎの場合に、０．２５以上であり、前記静摩擦力が１Ｎ未満の場合に、０．０３以上である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０２２－１５１２３８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
基材と、基材上に設けられた粘着剤層とを備えるワーク加工用粘着シートは、ワークの各種加工のために用いられる。ワークは、ワーク加工用粘着シートの粘着剤層に貼付された状態で、各種の加工が施された後、ワーク加工用粘着シートの粘着剤層からワークが剥離される。
【０００７】
ワークの各種加工のために、基材と、基材上に設けられたエネルギー線硬化性を有する粘着剤層とを備えるワーク加工用粘着シートが用いられた場合、エネルギー線硬化性を有する粘着剤層に対してエネルギー線が照射された後、ワーク加工用粘着シートの粘着剤層からワークが剥離される。ワーク加工用粘着シートの粘着剤層からワークが剥離されるとき、ワーク加工用粘着シートは、基材と、エネルギー線硬化性を有する粘着剤層との界面で、粘着剤層と基材とが分離して、粘着剤層が基材から剥離する場合があった。粘着剤層と基材との界面で、粘着剤層が基材から剥離してしまうと、粘着剤層がワークに付着したままになる。また、基材と、エネルギー線硬化性を有する粘着剤層との界面で、粘着剤層と基材とが分離しなかった場合でも、ワーク加工用粘着シートは、ワークに貼付されていた粘着剤層の少なくとも一部がワークに残留して、いわゆる糊残りが発生することがあった。
【０００８】
本発明の目的は、基材とエネルギー線硬化性を有する粘着剤層との剥離の発生が抑制され、かつ、ワークへの糊残りの発生が抑制されたワーク加工用粘着シートを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
［１］ワーク加工用粘着シートであって、
基材と、
前記基材の少なくとも一方の面に設けられたエネルギー線硬化性を有する第一粘着剤層と、
前記基材と、前記第一粘着剤層との間に設けられたエネルギー線硬化性を有しない第二粘着剤層と、
を備え、
前記第一粘着剤層は、エネルギー線硬化性を有する粘着剤を含み、
前記第二粘着剤層は、エネルギー線硬化性を有しない非エネルギー線硬化性の粘着剤を含み、
前記非エネルギー線硬化性の粘着剤の極性値と、前記エネルギー線硬化性の粘着剤の極性値との差の絶対値が１．００（ｃａｌ／ｃｍ
３
）
０．５
以下である、
ワーク加工用粘着シート。
【００１０】
［２］［１］に記載のワーク加工用粘着シートにおいて、
前記非エネルギー線硬化性の粘着剤の極性が、９．８０（ｃａｌ／ｃｍ
３
）
０．５
以上である、
ワーク加工用粘着シート。
（【００１１】以降は省略されています）

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