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公開番号2025140703
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-29
出願番号2024040250
出願日2024-03-14
発明の名称荷電粒子線装置および荷電粒子源ユニットの交換方法
出願人日本電子株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類H01J 37/067 20060101AFI20250919BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】容易に荷電粒子源の交換ができる荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】本発明に係る荷電粒子線装置の一態様は、電子銃チャンバー202と、荷電粒子源を有するフィラメントユニット600と、電子銃チャンバー202の側壁に設けられ、電子銃チャンバー202内においてフィラメントユニット600を着脱可能に支持する支持部材700と、電子銃チャンバー202の側壁に設けられ、電子銃チャンバー202内にアクセスするためのチャンバー扉204と、を含む。
【選択図】図7
特許請求の範囲【請求項１】
チャンバーと、
荷電粒子源を有する荷電粒子源ユニットと、
前記チャンバーの側壁に設けられ、前記チャンバー内において前記荷電粒子源ユニットを着脱可能に支持する支持部材と、
前記チャンバーの側壁に設けられ、前記チャンバー内にアクセスするためのチャンバー扉と、
を含む、荷電粒子線装置。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
請求項１において、
前記支持部材は、前記チャンバーの側壁から前記チャンバーの中心に向かって延在し、
前記荷電粒子源ユニットは、前記支持部材に、前記支持部材が延在する方向とは反対方向から押し込まれる、荷電粒子線装置。
【請求項３】
請求項１において、
前記支持部材は、前記チャンバーの側壁から前記チャンバーの中心に向かって延在し、
前記支持部材は、前記支持部材が延在する方向に延びるガイドを有し、
前記荷電粒子源ユニットは、前記ガイドに係合する係合部を有している、荷電粒子線装置。
【請求項４】
請求項１において、
前記支持部材は、前記チャンバーの側壁から第１方向に延在し、
前記チャンバー扉は、前記支持部材の前記第１方向に位置している、荷電粒子線装置。
【請求項５】
請求項２ないし４のいずれか１項において、
前記荷電粒子源の光軸は、前記支持部材が延在する方向と垂直である、荷電粒子線装置。
【請求項６】
請求項１において、
前記支持部材は、碍子を含み、
前記碍子は、電源に電気的に接続された第１端子を保持し、
前記荷電粒子源ユニットは、前記荷電粒子源に電気的に接続された第２端子を有し、
前記支持部材に前記荷電粒子源ユニットが取り付けられることによって、前記第１端子と前記第２端子が電気的に接続される、荷電粒子線装置。
【請求項７】
請求項１において、
前記荷電粒子源から放出された荷電粒子線を試料に照射するための光学系を含む、荷電粒子線装置。
【請求項８】
請求項１において、
前記荷電粒子源は、電子ビームを発生させる、荷電粒子線装置。
【請求項９】
請求項８において、
電子ビームを試料に照射するための照射光学系と、
前記試料を透過した電子で結像するための結像光学系と、
を含む、荷電粒子線装置。
【請求項１０】
請求項９において、
筐体を含み、
前記筐体は、前記照射光学系と前記結像光学系を収容する鏡筒、および前記チャンバーを収容し、
前記筐体の側面には、前記チャンバー扉にアクセスするための筐体扉が設けられている、荷電粒子線装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、荷電粒子線装置および荷電粒子源ユニットの交換方法に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
透過電子顕微鏡や、走査電子顕微鏡、集束イオンビーム装置などの荷電粒子線装置では、荷電粒子源から荷電粒子線を放出する。荷電粒子源には寿命があるため、定期的に交換する必要がある。例えば、特許文献１には、電子顕微鏡の電子源となるフィラメントの交換方法が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開昭５２－９８４６２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
このような荷電粒子線装置では、容易に、荷電粒子源の交換ができることが望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本発明に係る荷電粒子線装置の一態様は、
チャンバーと、
荷電粒子源を有する荷電粒子源ユニットと、
前記チャンバーの側壁に設けられ、前記チャンバー内において前記荷電粒子源ユニットを着脱可能に支持する支持部材と、
前記チャンバーの側壁に設けられ、前記チャンバー内にアクセスするためのチャンバー扉と、
を含む。
【０００６】
このような荷電粒子線装置では、チャンバーの側壁に設けられたチャンバー扉から荷電粒子源ユニットを取り出したり、荷電粒子源ユニットを導入したりできるため、荷電粒子源ユニットの交換が容易である。
【０００７】
本発明に係る荷電粒子源ユニットの交換方法の一態様は、
チャンバーと、
荷電粒子源を有する荷電粒子源ユニットと、
前記チャンバーの側壁に設けられ、前記チャンバー内において前記荷電粒子源ユニットを着脱可能に支持する支持部材と、
前記チャンバーの側壁に設けられ、前記チャンバー内にアクセスするためのチャンバー扉と、を含む荷電粒子線装置における前記荷電粒子源ユニットの交換方法であって、
前記チャンバー扉を開く工程と、
前記支持部材から第１荷電粒子源ユニットを取り外す工程と、
前記チャンバー扉から前記チャンバー内に第２荷電粒子源ユニットを導入して、前記支持部材に前記第２荷電粒子源ユニットを取り付ける工程と、
を含む。
【０００８】
このような荷電粒子源ユニットの交換方法では、チャンバーの側壁に設けられたチャンバー扉から第１荷電粒子源ユニットを取り出したり、第２荷電粒子源ユニットを導入した
りできるため、荷電粒子源ユニットの交換が容易である。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
透過電子顕微鏡の構成の一例を示す図。
筐体を模式的に示す斜視図。
透過電子顕微鏡を模式的に示す正面図。
筐体の筐体扉を開いた状態を模式的に示す図。
電子銃チャンバーを模式的に示す斜視図。
電子銃チャンバーを模式的に示す斜視図。
電子銃チャンバーを模式的に示す斜視図。
電子銃チャンバーの底部を模式的に示す斜視図。
フィラメントユニットを模式的に示す断面斜視図。
フィラメントユニットを模式的に示す分解斜視図。
支持部の取付部にフィラメントユニットを取り付けている様子を模式的に示す斜視図。
支持部の取付部にフィラメントユニットを取り付けた状態を模式的に示す斜視図。
フィラメントユニットを支持部材の取付部に取り付けた状態を模式的に示す斜視図。
フィラメントユニットを支持部材に固定するためのロック機構を説明するための図。
フィラメントユニットの交換方法の一例を示すフローチャート。
治具を模式的に示す斜視図。
治具を模式的に示す斜視図。
第１フィラメントユニットを取り外す工程を模式的に示す斜視図。
第２フィラメントユニットを取り付ける工程を模式的に示す斜視図。
制御部の昇圧処理の一例を示すフローチャート。
制御部のスタート処理の一例を示すフローチャート。
加速電圧を印加するための電源回路を説明するための図。
放電が起こった場合の電源回路を説明するための図。
制御部のスタート機能における自動昇圧処理の一例を示すフローチャート。
加速電圧の昇降圧動作の一例を示す図。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、本発明の好適な実施形態について図面を用いて詳細に説明する。なお、以下に説明する実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではない。また、以下で説明される構成の全てが本発明の必須構成要件であるとは限らない。
（【００１１】以降は省略されています）

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