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公開番号2025136935
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-19
出願番号2024035875
出願日2024-03-08
発明の名称液体供給システム、送液装置、及び液体を消費する装置
出願人株式会社ディスコ
代理人個人,個人,個人,個人,個人,個人
主分類G05D 16/20 20060101AFI20250911BHJP(制御;調整)
要約【課題】供給先の装置との間で情報を共有することができる新たな液体供給システム等を提供する。
【解決手段】液体を装置に供給する液体供給システムであって、液体を収容する容器と、容器に収容された液体を送る送液ポンプと、容器から送液ポンプにより送られる液体が装置へと供給されるように送液ポンプと装置とを接続する供給路と、供給路内の圧力を検出する第1圧力計と、供給路内の圧力を調整する圧力調整ユニットと、圧力調整ユニットの動作を制御する第1コントローラと、を備え、第1コントローラは、液体又は液体供給システムに関する情報を含むデータを記憶し、第1圧力計により検出される供給路内の圧力が所定の範囲内にある場合に、供給路内の圧力をデータに合わせて圧力調整ユニットにより上昇又は下降させることで供給路を通じて装置にデータを送信する。
【選択図】図7
特許請求の範囲【請求項１】
液体を装置に供給する液体供給システムであって、
該液体を収容する容器と、
該容器に収容された該液体を送る送液ポンプと、
該容器から該送液ポンプにより送られる該液体が該装置へと供給されるように該送液ポンプと該装置とを接続する供給路と、
該供給路内の圧力を検出する第１圧力計と、
該供給路内の圧力を調整する圧力調整ユニットと、
該圧力調整ユニットの動作を制御する第１コントローラと、を備え、
該第１コントローラは、
該液体又は該液体供給システムに関する情報を含むデータを記憶し、
該第１圧力計により検出される該供給路内の圧力が所定の範囲内にある場合に、該供給路内の圧力を該データに合わせて該圧力調整ユニットにより上昇又は下降させることで該供給路を通じて該装置に該データを送信する、液体供給システム。
続きを表示（約 1,300 文字）【請求項２】
該圧力調整ユニットは、
該供給路から分岐する流出路と、
該供給路から該流出路への該液体の流出を制御する流出制御弁と、を含み、
該第１コントローラは、
該流出制御弁を開状態とすることにより該供給路内の圧力を下降させ、該流出制御弁を閉状態とすることにより該供給路内の圧力を上昇させる、請求項１に記載の液体供給システム。
【請求項３】
該装置は、
該供給路内の圧力を検出する第２圧力計と、
該装置の動作を制御する第２コントローラと、を備え、
該第２コントローラは、
該第２圧力計により検出される該供給路内の圧力が該所定の範囲内にある場合に、該供給路内の圧力の上昇又は下降を該第２圧力計により検出することで該供給路を通じて該液体供給システムから送信される該データを受信し、
該データを記憶する、請求項１又は請求項２に記載の液体供給システム。
【請求項４】
該装置は、
表示ユニットを更に備え、
該第２コントローラは、
該データに含まれる該情報を該表示ユニットに表示させる、請求項３に記載の液体供給システム。
【請求項５】
該情報は、該液体の名称、該液体のロットナンバー、該液体の使用期限のいずれかを含む、請求項１又は請求項２に記載の液体供給システム。
【請求項６】
該装置はクリーンルーム内に配置され、
該容器と、該送液ポンプとは、該クリーンルーム外に配置され、
該供給路は、該外部空間から該内部空間に渡って設けられる、請求項１又は請求項２に記載の液体供給システム。
【請求項７】
液体供給システムには、複数の該装置がそれぞれ接続される、請求項１又は請求項２に記載の液体供給システム。
【請求項８】
液体を装置に供給する送液装置であって、
該液体を収容する容器と、
該容器に収容された該液体を送る送液ポンプと、
該送液ポンプと該装置とを接続する供給路内の圧力を検出する圧力計と、
該供給路内の圧力を調整する圧力調整ユニットと、
該圧力調整ユニットの動作を制御するコントローラと、を備え、
該コントローラは、
該液体又は該送液装置に関する情報を含むデータを記憶し、
該圧力計により検出される該供給路内の圧力が所定の範囲内にある場合に、該供給路内の圧力を該データに合わせて該圧力調整ユニットにより上昇又は下降させることで該供給路を通じて該装置に該データを送信する、送液装置。
【請求項９】
送液装置から供給される液体を消費する装置であって、
該送液装置と該装置とを接続する該供給路内の圧力を検出する圧力計と、
該装置の動作を制御するコントローラと、を備え、
該コントローラは、
該圧力計により検出される該供給路内の圧力が所定の範囲内にある場合に、該供給路内の圧力の上昇又は下降を該圧力計により検出することで該供給路を通じて該送液装置から送信される該データを受信し、
該データを記憶する、液体を消費する装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体を装置に供給する液体供給システム、液体供給システムに用いられる送液装置、及び液体を消費する装置に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
デバイスチップの製造工程では、互いに交差する複数の分割予定ライン（ストリート）によって区画されたウェーハの表面側の複数の領域に、それぞれ、ＩＣ（Integrated Circuit）、ＬＳＩ（Large Scale Integration）等のデバイスが形成される。その後、ウェーハを裏面側から研削して薄化し、分割予定ラインに沿って分割することにより、それぞれがデバイスを備える複数のデバイスチップが得られる。デバイスチップは、携帯端末、パーソナルコンピュータ等の電子機器に搭載される。
【０００３】
ウェーハの分割には、円環状の切削ブレードを備えた切削装置、ウェーハにレーザビームを照射してレーザ加工するレーザ加工装置等が使用される。ウェーハを裏面側から薄化する際には、円環状の研削砥石を備える研削装置、円盤状の研磨パッドを備える研磨装置等が使用される。また、デバイスチップの製造プロセスにおいては、ウェーハを洗浄する洗浄装置、ウェーハの表面に液状の材料を塗布して薄膜を形成する塗布装置等も使用される。このように、多種多様な装置が使用される。
【０００４】
これらの装置では、目的に合った液体が供給され、使用されることが多い。例えば、切削装置でウェーハ等の被加工物を切削するとき、純水に液状の添加剤を混入させた液体が使用される場合がある。そして、この場合には、添加剤を純水に混入させて切削装置に供給するための加工液供給装置が使用されている（特許文献１参照）。また、被加工物にレーザ加工を施す前に、予め被加工物に液状の保護膜剤を塗布して保護膜を形成することのできるレーザ加工装置が知られている（特許文献２参照）。
【０００５】
添加剤や保護膜剤等の液体は、ボトル等の容器に収容され運搬される。そして、液体を収容する容器が装置に内蔵され、容器から装置に液体が供給される。装置で液体が消費されると、容器は最終的に空になる。その都度、作業者が容器を交換している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２００７－２２２９６３号公報
特開２００４－３２２１６８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
容器の交換作業では、まず、空の容器と装置との接続を解除して空の容器を装置から搬出し、次に、新しい容器を装置に搬入し、装置と新しい容器とを接続する。このように、容器の交換作業それ自体に大きな手間がかかる。その上、立ち入りに特別な注意を要するクリーンルーム等の領域に装置が設置されている場合、作業者は、容器をこの領域内に運び入れるために定められた立ち入り手順に従って準備する必要があり、一層の手間がかかる。
【０００８】
また、容器が空となり液体の供給が停止すると、装置の一部又は全部の機能を停止せざるを得ない。そして、容器の交換作業を実施する間も装置の機能を停止し続けなければならない。したがって、容器の交換作業が頻繁に実施されると、装置の停止時間が増大し、装置の稼働効率が低下する。
【０００９】
このように、装置への滞りのない液体供給体制を維持するために多大な手間と注意が払われており、装置を長時間にわたり停止させずにより簡便かつ安定的に装置への液体供給を実施できる液体供給システムの実現が望まれている。そして、このような新たな液体供給システムでは、供給される液体等に関する情報を、各装置との間で共有することが必要になると考えられる。
【００１０】
よって、本発明の目的は、液体の供給先の装置との間で情報を共有することができる新たな液体供給システム等を提供することである。
【課題を解決するための手段】
（【００１１】以降は省略されています）

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