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公開番号2025113991
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-04
出願番号2025007864
出願日2025-01-20
発明の名称前駆体リサイクルのための方法およびシステム
出願人エーエスエム・アイピー・ホールディング・ベー・フェー
代理人個人,個人,個人
主分類C23C 16/44 20060101AFI20250728BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】本技術の様々な実施形態は、反応器、反応器の入口に連結された入口を有する第一の容器、反応器の入口に連結された入口を有する第二の容器、および反応器の出口に連結された排気ライン、第一の容器の入口、および第二の容器の入口を提供し得る。
【解決手段】第一および第二の容器は、排気ラインを通して蒸気を受け取り、前駆体のパルス工程中に再使用される固体材料中に蒸気を再凝縮するように構成されてもよい。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
システムであって、
入口および出口を備える反応器と、
前記反応器の前記入口に連結された第一の入口および第一の出口を備える第一の容器と、
前記反応器の前記入口に連結された第二の入口および第二の出口を備える第二の容器と、
前記反応器の前記出口と、前記第一の容器の前記第一の入口と、前記第二の容器の前記第二の入口と、に連結された排気システムと、を備え、
前記第一の容器および前記第二の容器のうちの一方が、処理のためにその中の固体前駆体を昇華させるように構成され、前記第一の容器および前記第二の容器のうちの他方が、前記排気システムから受け取った未使用の前駆体がその中で再凝縮することを可能にする温度を有するアイドル状態に維持される、システム。
続きを表示（約 900 文字）【請求項２】
前記排気システムが、前記反応器を前記第一の容器および前記第二の容器に連結するフィードバック部分を備える、請求項１に記載のシステム。
【請求項３】
前記フィードバック部分が、前記第一の容器に連結された第一の脚部と、前記第二の容器に連結された第二の脚部とを含む接合部を備える、請求項２に記載のシステム。
【請求項４】
第一の弁が、前記第一の容器への流れを調節するために前記第一の脚部に連結され、第二の弁が、前記第二の容器への流れを調節するために前記第二の脚部に連結される、請求項３に記載のシステム。
【請求項５】
前記フィードバック部分がフィルタを備える、請求項３に記載のシステム。
【請求項６】
前記フィルタが前記接合部の上流に配置される、請求項５に記載のシステム。
【請求項７】
前記第一の容器および前記第二の容器の各々が、加熱装置および冷却装置を備える、請求項１に記載のシステム。
【請求項８】
方法であって、
処理のために第一の容器から反応器に前駆体を流すことと、
前記反応器から、前記反応器に連結された排気システムへと未使用の前駆体を流すことと、
前記排気システムから第二の容器に前記未使用の前駆体を流すことと、
前記未使用の前駆体を前記第二の容器内で固体状態に凝縮して、将来の処理において前駆体として使用されることとを含む、方法。
【請求項９】
前記未使用の前駆体を前記反応器から前記排気システムのフィードバック部分へと流すことをさらに含み、前記排気システムの前記フィードバック部分が、前記反応器と前記第二の容器との間に連結される、請求項８に記載の方法。
【請求項１０】
前記第一の容器が、固体前駆体を前記前駆体へと昇華させるように構成された処理状態にあり、前記第二の容器が、前記前駆体が前記固体状態のままであることを可能にする温度でアイドル状態である、請求項８に記載の方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
（関連出願の相互参照）
本出願は、２０２４年１月２３日に出願され、「ＭＥＴＨＯＤＳＡＮＤＳＹＳＴＥＭＦＯＲＰＲＥＣＵＲＳＯＲＲＥＣＹＣＬＩＮＧ」と題された、米国仮特許出願第６３／６２３，９４０号の非仮特許出願であり、その優先権および利益を主張し、参照により本明細書に援用される。
続きを表示（約 1,500 文字）【０００２】
本開示は、全般的には、半導体機器の方法およびシステムに関する。より具体的には、本開示は、前駆体リサイクルのための方法およびシステムに関する。
【背景技術】
【０００３】
典型的なＡＬＤプロセスの間、前駆体はパルスされ、いくつかのサイクルにわたりパージされて、ウエハなどの基板上に薄膜を堆積させる。パージ工程中、基板の表面と反応していない任意の残留前駆体は、不活性ガスで外にパージされ、排気システムを介して除去される。従来のシステムでは、パージ工程中、残留前駆体は再利用されず、むしろ大気中に分散される。
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
【０００４】
本技術の様々な実施形態は、反応器、反応器の入口に連結された入口を有する第一の容器、反応器の入口に連結された入口を有する第二の容器、反応器の出口に連結された排気ライン、第一の容器の入口、および第二の容器の入口を提供してもよい。第一および第二の容器は、排気ラインを通して蒸気を受け取り、前駆体のパルス工程中に再使用される固体材料中に蒸気を再凝縮するように構成されてもよい。
【０００５】
一態様によれば、システムは、入口および出口を備える反応器と、反応器の入口に連結された第一の入口および第一の出口を備える第一の容器と、反応器の入口に連結された第二の入口および第二の出口を備える第二の容器と、反応器の出口、第一の容器の第一の入口、および第二の容器の第二の入口に連結された排気ラインとを備え、第一および第二の容器は、排気ラインを通して蒸気を受け取り、蒸気を固体材料中に再凝縮するように構成される。
【０００６】
本技術は、以下の例示的な図面を鑑みて詳細な説明を参照することによってより完全に理解し得るであろう。以下の図では、同様の要素およびステップには図全体を通して同様の参照番号を付す。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
図１は、本技術のいくつかの実施形態によるシステムの典型例を示す図である。
図２は、本技術の実施形態によるシステムを操作するための方法である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
本技術は、機能ブロックの構成要素、および様々な処理工程に関して記述されてもよい。こうした機能ブロックは、特定された機能を実施するように、かつ様々な結果を達成するように構成された、任意の数の構成要素によって実現されてもよい。例えば、本技術は、様々な容器、反応チャンバ、パイプ、ポンプ、弁、および加熱要素を採用してもよい。
【０００９】
図１を参照すると、例示的なシステム１００は、第一の容器１３５、第二の容器１４０、および反応器１０５を備えてもよい。例示的な実施形態では、反応器１０５は、ウエハ１１５などの基板を処理するように構成されてもよい。反応器１０５は、ウエハを支持するためのサセプタ１１０と、反応空間１１２と、反応空間１１２およびサセプタ１１０の上方に位置付けられ、反応空間１１２とウエハ１１５に化学物質を送達するように構成された、シャワーヘッド１２０とを備えてもよい。
【００１０】
システム１００は、反応器１０５内に部分的に統合され得る、および／または反応チャンバ１０５の外側に配置され得る、排気システムをさらに備えてもよい。様々な実施形態では、システム１００は、処理工程中に再使用される反応器１０５からの前駆体をリサイクルするように構成されてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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