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公開番号2025096139
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-26
出願番号2024167211
出願日2024-09-26
発明の名称液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドの製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人弁理士法人秀和特許事務所
主分類B41J 2/16 20060101AFI20250619BHJP(印刷;線画機;タイプライター;スタンプ)
要約【課題】吐出制御性の悪化を抑制する液体吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】液体を吐出する液体吐出ヘッドに用いられる液体吐出ヘッドであって、液体が吐出されるノズルとノズルから液体を吐出するための圧力を発生する圧力発生手段と、圧力発生手段が内部に形成された圧力室と、ノズルに連通する液体流路と、液体流路に隣接して液体流路から隔てて形成される空間7と、液体流路を形成する壁部と空間7を形成する壁部を構成する基体51と、基体51に固定され、液体流路と空間7を隔て、圧力室で発生する圧力変動に応じてたわむ樹脂製の可撓性部材6と、を備え、可撓性部材6の表面には、無機膜5が設けられている。
【選択図】図10
特許請求の範囲【請求項１】
液体を吐出する液体吐出ヘッドであって、
液体が吐出されるノズルと
前記ノズルから液体を吐出するための圧力を発生する圧力発生手段と、
前記圧力発生手段が内部に形成された圧力室と、
前記ノズルに連通する液体流路と、
前記液体流路に隣接して前記液体流路から隔てて形成される空間と、
前記液体流路を形成する壁部と前記空間を形成する壁部を構成する基体と、
前記基体に固定され、前記液体流路と前記空間を隔て、前記圧力室で発生する圧力変動に応じてたわむ樹脂製の可撓性部材と、
を備え、
前記可撓性部材の表面には、無機膜が設けられていることを特徴とする液体吐出ヘッド。
続きを表示（約 780 文字）【請求項２】
前記無機膜は、前記圧力発生手段が圧力を発生していない状態における前記可撓性部材のたわみを低減するように構成されている、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項３】
前記無機膜は、前記可撓性部材の前記液体流路側を向く表面に形成されている、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項４】
前記可撓性部材の熱膨張係数は、前記基体の熱膨張係数より大きく、
前記無機膜の熱膨張係数は、前記可撓性部材の熱膨張係数より小さい、請求項３に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項５】
前記無機膜は、前記可撓性部材の前記空間側を向く表面に形成されている、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項６】
前記可撓性部材の熱膨張係数は、前記基体の熱膨張係数より小さく、
前記無機膜の熱膨張係数は、前記可撓性部材の熱膨張係数より大きい、請求項５に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項７】
前記無機膜の厚みは、前記可撓性部材の厚みより薄い、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項８】
前記可撓性部材は、前記基体の前記可撓性部材を固定する固定面に垂直な方向に見たとき、前記空間と重なり、前記固定面と重ならない位置に設けられている、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】
複数の前記可撓性部材が、互いに間隔をあけて前記固定面と平行な方向に隣接して配置されている、請求項８に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】
前記可撓性部材は、前記基体の前記可撓性部材が固定される固定面に垂直な方向に見たとき、前記固定面と重なり、前記空間と重ならない位置に設けられている、請求項１に記載の液体吐出ヘッド。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッドとその製造方法に関する。
続きを表示（約 2,500 文字）【背景技術】
【０００２】
液体で満たされた圧力発生室に圧力変動を発生させ、ノズルから液体を吐出する液体吐出ヘッドにおいて、圧力変動が隣接する別の圧力発生室に伝播して吐出制御性が悪化することを避ける目的で、液体流路中にダンパと呼ばれる圧力変動を抑制するユニット部材を配置するヘッド構成が知られている。特許文献１には、接着剤を用いて基板にダンパが接合される構成において、接合部に部材を配することではみ出した接着剤がダンパに付着することを防ぎ、変動抑制効果のバラつきを抑制する構成が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第７１３１２６０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
接着剤を用いてダンパを基板に接合する際、接着剤を硬化させるために熱処理が必要となる。この熱処理の際に、ダンパと基板などの周辺部材の線膨張の差が一因となって、ダンパが隣接する変動抑制空間側にたわむ（反る）ことがある。ダンパがたわんだ状態で基板に接合されている場合、圧力変動の発生時にダンパの変形量が制限されるため、変動抑制効果自体が低下し、ダンパ性能が十分発揮されず、吐出制御性が悪化するおそれがある。
【０００５】
上述の課題を解決するため、本発明は吐出制御性の悪化を抑制する液体吐出ヘッドを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
上述の目的を達成するため、本発明の液体吐出ヘッドは、
液体を吐出する液体吐出ヘッドであって、
液体が吐出されるノズルと
前記ノズルから液体を吐出するための圧力を発生する圧力発生手段と、
前記圧力発生手段が内部に形成された圧力室と、
前記ノズルに連通する液体流路と、
前記液体流路に隣接して前記液体流路から隔てて形成される空間と、
前記液体流路を形成する壁部と前記空間を形成する壁部を構成する基体と、
前記基体に固定され、前記液体流路と前記空間を隔て、前記圧力室で発生する圧力変動に応じてたわむ樹脂製の可撓性部材と、
を備え、
前記可撓性部材の表面には、無機膜が設けられていることを特徴とする。
また、上述の目的を達成するため、本発明の液体吐出ヘッドの製造方法は、
液体が吐出されるノズルと、前記ノズルから液体を吐出する圧力を発生する圧力発生手段と、前記圧力発生手段が内部に形成された圧力室と、前記ノズルに連通する液体流路と、前記液体流路に隣接して前記液体流路から隔てて形成される空間と、前記液体流路を形成する壁部と前記空間を形成する壁部を構成する基体と、前記基体に固定され、前記液体流路と前記空間を隔て、前記圧力室で発生する圧力変動に応じてたわむ樹脂製の可撓性部材と、前記可撓性部材の表面に設けられる無機膜と、を備える液体吐出ヘッドの製造方法
であって、
前記基体の表面に接着剤を塗布する工程と、
前記接着剤が塗布された前記基体の前記表面に前記可撓性部材を貼り付ける工程と、
前記接着剤を熱処理して硬化させる工程と、
前記可撓性部材の表面に前記無機膜を形成する工程と、
を含むことを特徴とする。
【発明の効果】
【０００７】
本発明によれば、吐出制御性の悪化を抑制する液体吐出ヘッドを提供できる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
液体吐出ヘッド用基板の模式的断面図である。
液体吐出ヘッド用基板の分解斜視図である。
比較例に係るコンプライアンス基板の製造方法の説明図である。
第１実施形態に係るコンプライアンス基板の製造方法の説明図である。
第２実施形態に係るコンプライアンス基板の模式的断面図である。
第３実施形態に係るコンプライアンス基板の模式的断面図である。
第４実施形態に係るコンプライアンス基板の説明図である。
第５実施形態に係るコンプライアンス基板の説明図である。
第６実施形態に係るコンプライアンス基板の説明図である。
第７実施形態に係るコンプライアンス基板の製造方法の説明図である。
実施例１に係る液体吐出ヘッド用基板の模式的断面図である。
比較例に係る液体吐出ヘッド用基板の模式的断面図である。
実施例２に係る液体吐出ヘッド用基板の模式的断面図である。
実施例３に係る液体吐出ヘッド用基板の模式的断面図である。
第８実施形態に係る液体吐出ヘッド用基板の製造方法の説明図である。
第９実施形態に係る液体吐出ヘッド用基板の模式的断面図である。
実施例４に係る液体吐出ヘッド用基板の模式的断面図である。
液体吐出ヘッドの一例を示す模式的斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下に図面を参照して、この発明を実施するための形態を、実施例に基づいて例示的に詳しく説明する。なお、この実施の形態に記載されている構成部品の寸法、材質、形状それらの相対配置等は、発明が適用される装置の構成や各種条件により適宜変更されるべきものである。すなわち、この発明の範囲を以下の実施の形態に限定する趣旨のものではない。
【００１０】
図１８は、本開示を適用可能な液体吐出ヘッドの一例を説明する模式的斜視図である。液体吐出ヘッド１００は、液体吐出ヘッド本体１００ａにノズル２を有する液体吐出ヘッド用基板１が複数配置されている。吐出するインクは液体タンク(不図示)より液体吐出ヘッド本体１００ａの共通供給口(不図示)を介して液体吐出ヘッド用基板１に供給される。
（【００１１】以降は省略されています）

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