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公開番号2025094539
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-25
出願番号2023210157
出願日2023-12-13
発明の名称水循環装置、切断装置及び切断品の製造方法
出願人TOWA株式会社
代理人弁理士法人R&C
主分類B24B 55/00 20060101AFI20250618BHJP(研削;研磨)
要約【課題】循環異常が発生した場合でも水の供給を継続して行うことが可能な水循環装置、切断装置及び切断品の製造方法を提供する。
【解決手段】切断対象物Sbを切断するブレード8を回転駆動させるスピンドル部6を第1水W1又は第2水W2で冷却する水循環装置30は、第1水W1が貯留されているタンク31と、タンク31に接続され、第1水W1をスピンドル部6に向けて圧送するポンプ32と、タンク31から流出した第1水W1が、ポンプ32及びスピンドル部6を経由して再度タンク31に流入するように構成された循環流路Fと、循環流路Fに流通する第1水W1を第2水W2に切り替え可能な切替弁34と、ポンプ32及び切替弁34の作動を制御する制御部50と、を備えている。制御部50は、第1水W1の循環異常を検知したときに、切替弁34を制御して、循環流路Fに第2水W2を流通させる。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
切断対象物を切断するブレードを回転駆動させるスピンドル部を第１水又は第２水で冷却する水循環装置であって、
前記第１水が貯留されているタンクと、
前記タンクに接続され、前記タンクに貯留されている前記第１水を前記スピンドル部に向けて圧送するポンプと、
前記タンクから流出した前記第１水が、前記ポンプ及び前記スピンドル部を経由して再度前記タンクに流入するように構成された循環流路と、
前記循環流路に流通する前記第１水を前記第２水に切り替え可能な切替弁と、
前記ポンプ及び前記切替弁の作動を制御する制御部と、を備え、
前記制御部は、前記第１水の循環異常を検知したときに、前記切替弁を制御して、前記循環流路に前記第２水を流通させる水循環装置。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記第２水は、工業用水である請求項１に記載の水循環装置。
【請求項３】
前記循環流路の途中に配置され、空気を吸引して前記切断対象物を載置台に吸着させる水封式真空ポンプを更に備え、
前記水封式真空ポンプは、前記第１水又は前記第２水をシール水として使用する請求項１又は２に記載の水循環装置。
【請求項４】
前記水封式真空ポンプから排出された前記シール水と前記空気とを含んだ含水空気が流入し、前記空気と前記シール水とに分離させてそれぞれを流出させるセパレータを更に備え、
前記セパレータは、前記循環流路の前記水封式真空ポンプと前記タンクとの間に配置されており、
前記タンクは、余剰の前記第１水又は前記第２水を外部に排出させる排水口を有しており、
前記排水口の鉛直方向の位置は、前記セパレータの鉛直方向の最も高い位置である上壁よりも低い位置にある請求項３に記載の水循環装置。
【請求項５】
前記タンクは、前記セパレータで分離されて流出した前記空気が前記タンクに流入した後に前記タンクから外部に排出させる排気口を有しており、
前記排気口の鉛直方向の位置は、前記排水口よりも高い位置にある請求項４に記載の水循環装置。
【請求項６】
前記循環異常は、前記ポンプの故障である請求項１から５のいずれか一項に記載の水循環装置。
【請求項７】
前記タンクに貯留された前記第１水を冷却する冷却器を更に備え、
前記循環異常は、前記冷却器の故障である請求項１から５のいずれか一項に記載の水循環装置。
【請求項８】
前記請求項１から７のいずれか一項に記載の水循環装置と、
前記切断対象物を載置する載置台、並びに、前記載置台に載置された前記切断対象物を切断する前記ブレード及び当該ブレードを回転駆動させる前記スピンドル部、を含む切断機構と、を備えた切断装置。
【請求項９】
請求項８に記載の切断装置を用いた切断品の製造方法であって、
前記水循環装置により前記第１水を前記循環流路に流通させて、前記スピンドル部を冷却する冷却工程と、
前記切断対象物を前記載置台に載置した後に水封式真空ポンプを作動させて前記切断対象物を前記載置台に固定する固定工程と、
前記切断機構により前記切断対象物を切断して切断品を得る切断工程と、を含む切断品の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、水循環装置、切断装置及び切断品の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
一般的に、半導体チップ等が固定された基板は、樹脂封止された後、切断装置により切断されて個片化することにより電子部品として用いられる。従来、樹脂封止された基板を切断する切断装置が知られている。切断装置で基板を切断する際には、切削用のブレードと基板を冷却すると共に、切削時の加工屑を除去するために、水（切削水）が用いられている。また、ブレードを回転させるスピンドル部を冷却するために、切削水とは別の水（冷却水）が用いられている。節水の観点から、これらの水を循環させて再利用する場合がある。
【０００３】
特許文献１には、樹脂封止された基板を切断装置（特許文献１においては加工装置）で切断する際にブレードの冷却や加工屑の除去等に使用される水（特許文献１においては加工水）を循環させて再利用するための水循環装置が開示されている。基板を切断した後の水には加工屑等の不純物が含まれており、そのままでは水を再利用することができない。特許文献１に開示された水循環装置では、基板切断後の水に対して濾過や紫外線照射、不純物イオン除去等を行うことにより、基板切断に利用可能な水を再生成して再利用している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０２１－１２２７９４号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
基板切断後の水（特許文献１においては廃液）を循環させるために、水はポンプ（特許文献１においては廃液供給ポンプ及び清水供給ポンプ）で圧送されている。圧送された水に対して、濾過や紫外線照射、不純物イオン除去等が行われて、基板切断に利用可能な水が再生成されている。しかし、ポンプの故障等による水の循環異常が発生した場合には、水を圧送することができない。この場合、水の循環が行われなくなるため、基板に切断用の水を供給することができず、切断装置で基板を切断することができなくなる。
【０００６】
また、特許文献１においては言及されていないが、ブレードを回転させるスピンドル部を冷却するための水も、ポンプを用いて循環させて再利用する場合がある。しかし、この場合も、ポンプの故障等による循環異常が発生すると、水の循環が行われなくなるため、スピンドル部を適切に冷却することができなくなる。
【０００７】
そのため、循環異常が発生した場合でも水の供給を継続して行うことが可能な水循環装置、切断装置及び切断品の製造方法が望まれている。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本開示に係る水循環装置の１つの実施形態は、切断対象物を切断するブレードを回転駆動させるスピンドル部を第１水又は第２水で冷却する水循環装置であって、前記第１水が貯留されているタンクと、前記タンクに接続され、前記タンクに貯留されている前記第１水を前記スピンドル部に向けて圧送するポンプと、前記タンクから流出した前記第１水が、前記ポンプ及び前記スピンドル部を経由して再度前記タンクに流入するように構成された循環流路と、前記循環流路に流通する前記第１水を前記第２水に切り替え可能な切替弁と、前記ポンプ及び前記切替弁の作動を制御する制御部と、を備え、前記制御部は、前記第１水の循環異常を検知したときに、前記切替弁を制御して、前記循環流路に前記第２水を流通させる。
【０００９】
本開示に係る切断装置の１つの実施形態は、上記に記載の水循環装置と、前記切断対象物を載置する載置台、並びに、前記載置台に載置された前記切断対象物を切断する前記ブレード及び当該ブレードを回転駆動させる前記スピンドル部、を含む切断機構と、を備えている。
【００１０】
本開示に係る切断品の製造方法の１つの実施形態は、上記に記載の切断装置を用いた切断品の製造方法であって、前記水循環装置により前記第１水を前記循環流路に流通させて、前記スピンドル部を冷却する冷却工程と、前記切断対象物を前記載置台に載置した後に水封式真空ポンプを作動させて前記切断対象物を前記載置台に固定する固定工程と、前記切断機構により前記切断対象物を切断して切断品を得る切断工程と、を含んでいる。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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