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公開番号2025089772
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-16
出願番号2023204619
出願日2023-12-04
発明の名称試料保持具
出願人京セラ株式会社
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250609BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】試料を均等に加熱することができる試料保持具を提供することができる技術を提供する。
【解決手段】本開示による試料保持具は、セラミック基板と、発熱抵抗体と、第1遮熱板と、第2遮熱板とを備える。セラミック基板は、試料が載置される第1面と、第1面の反対に位置する第2面とを有する。発熱抵抗体は、セラミック基板の内部または第2面に位置する。第1遮熱板は、第2面に離隔して対向する第3面と、第3面の反対に位置する第4面とを有する。第2遮熱板は、第4面に離隔して対向する第5面と、第5面の反対に位置する第6面とを有する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
セラミック基板と、
発熱抵抗体と、
第１遮熱板と、
第２遮熱板と
を備え、
前記セラミック基板は、試料が載置される第１面と、前記第１面の反対に位置する第２面とを有し、
前記発熱抵抗体は、前記セラミック基板の内部または前記第２面に位置し、
前記第１遮熱板は、前記第２面に離隔して対向する第３面と、前記第３面の反対に位置する第４面とを有し、
前記第２遮熱板は、前記第４面に離隔して対向する第５面と、前記第５面の反対に位置する第６面とを有する、試料保持具。
続きを表示（約 920 文字）【請求項２】
前記試料保持具の側面視において、前記第１遮熱板と前記第２遮熱板との間隔は、前記セラミック基板と前記第１遮熱板との間隔よりも狭い、請求項１に記載の試料保持具。
【請求項３】
前記第６面に離隔して対向する第７面と、前記第７面の反対に位置する第８面とを有する第３遮熱板を備え、
前記第１遮熱板と前記第２遮熱板との間隔は、前記第２遮熱板と前記第３遮熱板との間隔と異なる、請求項１または２に記載の試料保持具。
【請求項４】
前記第２遮熱板の厚みは、前記第１遮熱板の厚みよりも薄い、請求項１または２に記載の試料保持具。
【請求項５】
前記第１遮熱板と前記第２遮熱板との間に位置する断熱材を備える、請求項１または２に記載の試料保持具。
【請求項６】
前記断熱材は、セラミックを含む、請求項５に記載の試料保持具。
【請求項７】
前記第１遮熱板の前記第３面に、被覆膜を有する、請求項１または２に記載の試料保持具。
【請求項８】
前記第２遮熱板は、前記第１遮熱板よりも表面積が小さい、請求項１または２に記載の試料保持具。
【請求項９】
前記第１遮熱板は、前記第３面と前記第４面とを貫通する複数の第１貫通孔を有し、
前記第２遮熱板は、前記第５面と前記第６面とを貫通する複数の第２貫通孔を有し、
前記第１貫通孔と前記第２貫通孔とは、前記第１遮熱板および前記第２遮熱板の面内方向において、互いに異なる位置に位置する、請求項１または２に記載の試料保持具。
【請求項１０】
前記第２遮熱板の前記第６面と対向して位置するベースプレートと、
前記セラミック基板と前記ベースプレートとの間に位置し、前記セラミック基板を前記ベースプレートから離した状態で支持する支持部材と、
前記ベースプレートに対して前記第１遮熱板を離した状態で固定する第１固定部材と、
前記第１遮熱板に対して前記第２遮熱板を離した状態で固定する第２固定部材と
を備える、請求項１または２に記載の試料保持具。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、試料保持具に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、電子部品などの製造工程において、半導体ウェハや液晶基板、回路基板などの平板状の試料を保持する試料保持具が用いられている。特許文献１には、セラミック基板の表面に設けられた抵抗発熱体を用い、セラミック基板上に載置されたシリコンウエハ等の試料を加熱する半導体製造・検査装置が開示されている。
【０００３】
特許文献１に記載された半導体製造・検査装置は、セラミック基板の一方の主面と対向して位置し、底板または遮熱板として機能する板状体を具備する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００２－０６４１３３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
本開示は、試料を均等に加熱することができる試料保持具を提供することができる技術を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の一態様による試料保持具は、セラミック基板と、発熱抵抗体と、第１遮熱板と、第２遮熱板とを備える。セラミック基板は、試料が載置される第１面と、第１面の反対に位置する第２面とを有する。発熱抵抗体は、セラミック基板の内部または第２面に位置する。第１遮熱板は、第２面に離隔して対向する第３面と、第３面の反対に位置する第４面とを有する。第２遮熱板は、第４面に離隔して対向する第５面と、第５面の反対に位置する第６面とを有する。
【発明の効果】
【０００７】
本開示によれば、試料を均等に加熱することができる試料保持具を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
図１は、第１実施形態に係る試料保持具の構成例を示す模式的な断面図である。
図２は、第１実施形態に係るセラミック基板と複数の遮熱板との関係を示す模式的な側面図である。
図３は、第２実施形態に係るセラミック基板と複数の遮熱板との関係を示す模式的な側面図である。
図４は、第３実施形態に係るセラミック基板と複数の遮熱板との関係を示す模式的な側面図である。
図５は、第３実施形態に係るセラミック基板と複数の遮熱板との関係を示す模式的な側面図である。
図６は、第４実施形態に係るセラミック基板と複数の遮熱板との関係を示す模式的な側面図である。
図７は、第５実施形態に係るセラミック基板と複数の遮熱板との関係を示す模式的な側面図である。
図８は、第６実施形態に係るセラミック基板と複数の遮熱板との関係を示す模式的な側面図である。
図９は、第７実施形態に係るセラミック基板と複数の遮熱板との関係を示す模式的な側面図である。
図１０は、第７実施形態に係るセラミック基板と複数の遮熱板との関係を示す模式的な側面図である。
図１１は、第８実施形態に係る複数の遮熱板の構成を示す模式的な斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下に、本開示による試料保持具を実施するための形態（以下、「実施形態」と記載する）について図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、この実施形態により本開示が限定されるものではない。また、各実施形態は、処理内容を矛盾させない範囲で適宜組み合わせることが可能である。また、以下の各実施形態において同一の部位には同一の符号を付し、重複する説明は省略される。
【００１０】
また、以下に示す実施形態では、「一定」、「直交」、「垂直」あるいは「平行」といった表現が用いられる場合があるが、これらの表現は、厳密に「一定」、「直交」、「垂直」あるいは「平行」であることを要しない。すなわち、上記した各表現は、例えば製造精度、設置精度などのずれを許容するものとする。
（【００１１】以降は省略されています）

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