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公開番号2025089770
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-16
出願番号2023204617
出願日2023-12-04
発明の名称試料保持具
出願人京セラ株式会社
代理人弁理士法人酒井国際特許事務所
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250609BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】試料を均等に加熱することができる試料保持具を提供することができる。
【解決手段】本開示による試料保持具は、セラミック基板と、発熱抵抗体と、ベースプレートと、支持部材と、固定部材とを備える。セラミック基板は、第1面と第2面とを有する。発熱抵抗体は、セラミック基板の内部または第2面に位置する。ベースプレートは、セラミック基板の第2面に対向して位置する。支持部材は、セラミック基板とベースプレートとの間に位置し、セラミック基板とベースプレートとを支持する。固定部材は、ベースプレートに対してセラミック基板を固定する。固定部材は、第1面に当接する頭部と、頭部からベースプレートに向かって延びる軸部とを備える。軸部は、第1の径を有する第1部位と、第1の径よりも小さい第2の径を有する第2部位とを含む。第2部位は、頭部と第1部位との間に位置する。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
第１面と第２面とを有するセラミック基板と、
前記セラミック基板の内部または前記第２面に位置する発熱抵抗体と、
前記セラミック基板の前記第２面に対向して位置するベースプレートと、
前記セラミック基板と前記ベースプレートとの間に位置し、前記セラミック基板とベースプレートとを支持する支持部材と、
前記ベースプレートに対して前記セラミック基板を固定する固定部材と
を備え、
前記固定部材は、
前記第１面に当接する頭部と、
前記頭部から前記ベースプレートに向かって延びる軸部と
を備え、
前記軸部は、
第１の径を有する第１部位と、
前記第１の径よりも小さい第２の径を有する第２部位と
を含み、
前記第２部位は、前記頭部と前記第１部位との間に位置する
試料保持具。
続きを表示（約 670 文字）【請求項２】
平面透視において、前記第２部位の中心は、前記頭部の中心および前記第１部位の中心と一致する
請求項１に記載の試料保持具。
【請求項３】
平面透視において、前記頭部、前記第１部位および前記第２部位は、円形状である
請求項１または２に記載の試料保持具。
【請求項４】
前記頭部の厚みは、前記第２部位の長さよりも小さい
請求項１または２に記載の試料保持具。
【請求項５】
前記第２部位の長さは、前記セラミック基板の厚みよりも大きい
請求項１または２に記載の試料保持具。
【請求項６】
前記固定部材の側面視において、前記頭部における前記第１面に当接する面と前記第２部位の側面とのなす角度は、直角である
請求項１または２に記載の試料保持具。
【請求項７】
前記支持部材は、筒状の本体部を有し、
前記本体部は、前記固定部材の前記軸部を囲む
請求項１または２に記載の試料保持具。
【請求項８】
前記本体部は、前記第１部位と前記第２部位との境界部を囲む
請求項７に記載の試料保持具。
【請求項９】
前記軸部と前記支持部材との間に空間を有する
請求項７に記載の試料保持具。
【請求項１０】
前記支持部材は、前記ベースプレートの外周に沿って延びる板状の固定部を有する
請求項７に記載の試料保持具。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、試料保持具に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、電子部品などの製造工程において、半導体ウェハや液晶基板、回路基板などの平板状の試料を保持する試料保持具が用いられている。特許文献１には、セラミック基板と、セラミック基板の下面と距離を空けて対向する中底板とが複数の支持柱によって一体的に支持された試料保持具が開示されている。特許文献１に記載された試料保持具は、セラミック基板の表面または内部に設けられた発熱体を用い、セラミック基板上に載置されたシリコンウエハ等の試料を加熱する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００２－１５１４０６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本開示は、試料を均等に加熱することができる試料保持具を提供することができる技術を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の一態様による試料保持具は、セラミック基板と、発熱抵抗体と、ベースプレートと、支持部材と、固定部材とを備える。セラミック基板は、第１面と第２面とを有する。発熱抵抗体は、セラミック基板の内部または第２面に位置する。ベースプレートは、セラミック基板の第２面に対向して位置する。支持部材は、セラミック基板とベースプレートとの間に位置し、セラミック基板とベースプレートとを支持する。固定部材は、ベースプレートに対してセラミック基板を固定する。固定部材は、第１面に当接する頭部と、頭部からベースプレートに向かって延びる軸部とを備える。軸部は、第１の径を有する第１部位と、第１の径よりも小さい第２の径を有する第２部位とを含む。第２部位は、頭部と第１部位との間に位置する。
【発明の効果】
【０００６】
本開示によれば、試料を均等に加熱することができる試料保持具を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
図１は、第１実施形態に係る試料保持具の構成例を示す模式的な断面図である。
図２は、第１実施形態に係る試料保持具の構成例を示す模式的な平面図である。
図３は、第１実施形態に係る固定部材の構成を示す模式図である。
図４は、第１実施形態に係る試料保持具の模式的な側面図である。
図５は、図２に示す領域Ｖの拡大図である。
図６は、図５のＶＩ－ＶＩ線断面図である。
図７は、第１実施形態に係る支持部材とベースプレートとの構成を示す模式的な平面図である。
図８は、第２実施形態に係る試料保持具の構成を示す模式的な断面図である。
図９は、第３実施形態に係る固定部材の構成を示す模式的な斜視図である。
図１０は、第３実施形態に係る固定部材の構成を示す模式的な斜視図である。
図１１は、第４実施形態に係る固定部材の構成を示す模式的な斜視図である。
図１２は、第４実施形態に係る固定部材の構成を示す模式的な斜視図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下に、本開示による試料保持具を実施するための形態（以下、「実施形態」と記載する）について図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、この実施形態により本開示が限定されるものではない。また、各実施形態は、処理内容を矛盾させない範囲で適宜組み合わせることが可能である。また、以下の各実施形態において同一の部位には同一の符号を付し、重複する説明は省略される。
【０００９】
また、以下に示す実施形態では、「一定」、「直交」、「垂直」あるいは「平行」といった表現が用いられる場合があるが、これらの表現は、厳密に「一定」、「直交」、「垂直」あるいは「平行」であることを要しない。すなわち、上記した各表現は、例えば製造精度、設置精度などのずれを許容するものとする。
【００１０】
また、以下参照する各図面では、説明を分かりやすくするために、互いに直交するＸ軸方向、Ｙ軸方向およびＺ軸方向を規定し、Ｚ軸正方向を鉛直上向き方向とする直交座標系を示す場合がある。また、鉛直軸を回転中心とする回転方向をθ方向と呼ぶ場合がある。
（【００１１】以降は省略されています）

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