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公開番号2025087175
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-10
出願番号2023201643
出願日2023-11-29
発明の名称液体吐出ヘッド及びその製造方法
出願人キヤノン株式会社
代理人個人,個人,個人,個人,個人
主分類B41J 2/16 20060101AFI20250603BHJP(印刷;線画機;タイプライター;スタンプ)
要約【課題】高いパターニング精度で保護膜が形成された液体吐出ヘッド及びその製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】基板を有する液体吐出ヘッド100の製造方法であって、複数の凹凸が形成された凹凸領域13を有する前記基板を用意する工程と、前記凹凸領域の一部である第1の領域21をマスク部材14で覆いながら、前記凹凸領域のうち前記マスク部材に覆われていない第2の領域22に保護膜8を形成する工程と、前記保護膜の一部を毛細管力によって前記第2の領域から前記第1の領域に移動させる工程と、を備えることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
基板を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
複数の凹凸が形成された凹凸領域を有する前記基板を用意する工程と、
前記凹凸領域の一部である第１の領域をマスク部材で覆いながら、前記凹凸領域のうち前記マスク部材に覆われていない第２の領域に保護膜を形成する工程と、
前記保護膜の一部を毛細管力によって前記第２の領域から前記第１の領域に移動させる工程と、
を備えることを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
続きを表示（約 730 文字）【請求項２】
前記基板は、液体を吐出するための吐出口が形成される基板である、請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３】
前記液体の前記保護膜に対する接触角が１００°以上である、請求項２に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】
前記保護膜がパーフルオロポリエーテルを含む撥水膜である、請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】
前記保護膜を形成する工程で形成される前記保護膜の膜厚は、２０ｎｍ以上である、請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項６】
前記保護膜を形成する工程で形成される前記保護膜の膜厚は、前記複数の凹凸の算術平均高さの２倍以下である、請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項７】
前記凹凸領域の隣接する凸部間の平均幅は、前記凹凸領域の凹部の平均深さよりも小さい、請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項８】
前記凹凸領域は、隣接する凸部と凹部とが斜面で繋がっている、請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項９】
前記移動させる工程は、前記基板を静置した状態で行われる、請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項１０】
基板を有する液体吐出ヘッドであって、
前記基板は、前記基板の表面の一部に複数の凹凸が形成された凹凸領域を有し、
前記凹凸領域上の少なくとも一部に保護膜が形成され、前記凹凸領域の外側には保護膜が形成されていないことを特徴とする液体吐出ヘッド。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体吐出ヘッド及びその製造方法に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
シリコンを微細加工した構造体はＭＥＭＳ分野や電気機械の機能デバイスに幅広く用いられている。その一例として、液体を吐出する液体吐出ヘッドが挙げられる。その使用例としては、吐出液滴を被記録媒体に着弾させて記録を行う液体吐出記録方式の液体吐出ヘッドがある。液体吐出記録方式の液体吐出ヘッドは、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生させるエネルギー発生素子が設けられた基板と、基板に設けられた液体の供給口から供給されたインクを吐出する吐出口を備えている。
【０００３】
近年の液体吐出ヘッドにおいては、高解像度、高速印字といった印字性能の向上や製造における液体吐出ヘッドの小型化、高密度化が求められている。そのため、流路形成基板やノズル基板にシリコン基板を用いて、各基板を接着剤により接合して作製される。
【０００４】
液滴吐出ヘッドは、インク滴を吐出した際のインクミスト等の影響により、ノズル基板表面にインクが付着する場合がある。ノズル基板表面にインクが付着していると、吐出口からインク液滴を吐出したときに影響を受けて、インク液滴の吐出方向にばらつきが生じる可能性がある。そのため、ノズル基板表面に保護膜（撥液膜）を形成し、ノズル周辺へのインクの付着を防止することによりインク液滴の吐出特性を向上させている。
【０００５】
保護膜が形成されたノズル基板表面に実装部材を接合する場合においては、保護膜が接着剤と基板との密着を阻害してしまう。したがって、ノズル基板表面において、ノズル周辺に保護膜を形成しつつ、接着のための保護膜のない領域を形成する必要がある。所望の領域にのみ保護膜を形成する保護膜パターニングの方法として、例えば下記の特許文献１には、蒸着法による成膜においてハードマスクを使用することで膜をパターニングする方法が記載されている。真空室内で撥液材を気化させて基板に蒸着する際に、ハードマスクによって基板表面をマスクすることで、ハードマスクの開口パターンに保護膜をパターニングすることができる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０２０－１４７７７４号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
特許文献１に記載されている方法では、気化した保護膜形成部材がマスク部材の開口を通過することで、マスク部材の開口パターンに対応する部分の基板表面に保護膜がパターニングされる。そのため、パターニングの精度は、マスク部材と基板表面（ワーク）の間のメカアライメント精度によって影響を受ける。また、マスク部材はノズル基板表面との接触による傷や異物の発生を避けるため、基板表面と一定の空間を設けている。そのため、気化した保護膜形成部材がマスク部材の開口を通過する際に、マスク部材で保護されていた部分の方にも回り込み、保護膜のパターニング精度が低下する場合がある。
【０００８】
本発明は、上記課題に鑑み、高いパターニング精度で保護膜が形成された液体吐出ヘッド及びその製造方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
上記課題を解決するために、本発明の液体吐出ヘッドの製造方法は、基板を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、複数の凹凸が形成された凹凸領域を有する前記基板を用意する工程と、前記凹凸領域の一部である第１の領域をマスク部材で覆いながら、前記凹凸領域のうち前記マスク部材に覆われていない前記第２の領域に保護膜を形成する工程と、前記保護膜の一部を毛細管力によって前記第２の領域から前記第１の領域に移動させる工程と、を備えることを特徴とする。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、高いパターニング精度で保護膜が形成された液体吐出ヘッド及びその製造方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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