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公開番号2025085091
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-04
出願番号2024203757
出願日2024-11-22
発明の名称リニアモータの静止部用の磁気トラックベース
出願人エテル・ソシエテ・アノニム
代理人個人,個人,個人
主分類H02K 41/02 20060101AFI20250528BHJP(電力の発電,変換,配電)
要約【課題】外力を受けたときに変形しない、または少なくとも従来のスケール支持部よりも変形が小さいエンコーダスケール支持部受け部を備える、リニアモータの静止部用の磁気トラックベースを提供する。
【解決手段】永久磁石を固定的に受け入れるように構成された磁石受け部22と、磁石受け部22の両側に沿ってレールを固定的に受け入れるように構成されたレール受け部26と、エンコーダスケール支持部を固定的に受け入れるように構成されたエンコーダスケール支持部受け部とを備える、リニアモータの静止部用の磁気トラックベース20に関する。エンコーダスケール支持部受け部は、磁気トラックベース20の残りの部分から機械的に分離され、エンコーダスケール支持部の底側を受け入れるように配置された複数の分離タブ31を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
リニアモータの静止部（１０）用の磁気トラックベース（２０）であって、永久磁石（５２）を固定的に受け入れるように構成された磁石受け部（２２）と、前記磁石受け部（２２）の両側に沿ってレール（５０）を固定的に受け入れるように構成されたレール受け部（２６）と、エンコーダスケール支持部（４０）を固定的に受け入れるように構成されたエンコーダスケール支持部受け部（３０）とを備え、前記エンコーダスケール支持部受け部（３０）が、前記磁気トラックベース（２０）の残りの部分から機械的に分離され、前記エンコーダスケール支持部（４０）の底側を受け入れるように配置された複数の分離タブ（３１）を備えて、前記トラックベース（２０）が外力を受けたときに前記磁気トラックベース（２０）の前記残りの部分の変形から引き起こされ得る前記エンコーダスケール支持部受け部（３０）の変形を防止し、または少なくとも低減する、磁気トラックベース（２０）。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記複数の分離タブ（３１）が、対応する複数の固定タブ（３２）と、各固定タブ（３２）と前記磁気トラックベース（２０）の前記残りの部分との間を機械的に分離するための分離部材（３８）とを備える、請求項１に記載の磁気トラックベース（２０）。
【請求項３】
各分離部材が、対応する固定タブ（３２）の周りに配置された切抜き部である、請求項２に記載の磁気トラックベース（２０）。
【請求項４】
前記切抜き部が、前記磁気トラックベース（２０）の上側（２０ａ）から底側（２０ｂ）まで延在するＵ字形状の貫通溝の形態である、請求項３に記載の磁気トラックベース（２０）。
【請求項５】
各固定タブ（３２）が、固定穴（３４）を備える頂部平坦面（３３）を備え、前記表面（３３）が、前記磁石受け部（２２）の表面より高くされた、請求項２から４のいずれかに記載の磁気トラックベース（２０）。
【請求項６】
前記複数の固定タブ（３２）が、前記磁石受け部（２２）と前記一方のレール受け部（２６）との間に長手方向に沿って配置された、請求項２から５のいずれかに記載の磁気トラックベース（２０）。
【請求項７】
前記磁石受け部（２２）が、永久磁石（５２）をねじで固定するための複数の対のねじ穴（２５）と、前記磁気トラックベース（２０）を磁気トラックベース支持部に固定するための複数の対の貫通穴（２４）とを備える、請求項１から６のいずれかに記載の磁気トラックベース（２０）。
【請求項８】
前記固定タブ（３２）が前記磁気トラックベース支持部に強固に固定されるように、前記切抜き部（３８）が各々、前記磁気トラックベース（２０）を前記磁気トラックベース支持部に固定するための前記複数の対の貫通穴（２４）のうちの一つの貫通穴を取り囲む、請求項７に記載の磁気トラックベース（２０）。
【請求項９】
前記磁気トラックベースが一体物である、請求項１から８のいずれかに記載の磁気トラックベース（２０）。
【請求項１０】
前記エンコーダスケール支持部（４０）が、前記支持部の長さに沿ってほぼ一定のＬ字形断面を有し、前記エンコーダスケール支持部受け部（３０）上に固定される土台（４４）を形成する、請求項１から９のいずれかに記載の磁気トラックベース（２０）。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
[0001]本発明は、リニアモータの静止部用の磁気トラックベースに関する。本発明はまた、その静止部が磁気トラックベースを備える少なくとも１つのリニアモータを備える運動位置決めシステム、特にウェハ位置決めシステムに関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
[0002]Ｘ－Ｙ運動位置決めシステムは、正確な位置決めを行うために高精度のリニアエンコーダを必要とする。したがって、エンコーダスケールは、正確さが失われるのを避けるために外乱に耐えながら、できるだけ安定した状態を維持しなければならない。
【０００３】
[0003]エンコーダスケール支持部は、一般に、機械的軸受レールおよび磁気トラックの磁石などの他の要素と一緒に磁気トラックベースにねじ止めされており、磁気トラックベースには特に設計上の配慮がなされていない。ほとんどの場合、スケールとキャリアは、熱膨張挙動が異なる材料からなる。したがって、静止固定は、温度が変化したとき、キャリアによってスケールに拘束力がかからないように設計されなければならない。
【０００４】
[0004]ＥＰ３７０５８５０において開示されているものなどのいくつかのエンコーダスケール支持部形状は、蝶番およびばね板などの分離デバイスを追加することによって、いくつかの摂動に対して非常に鈍感にすることができる。しかしながら、この解決策は、実施するのがかなり複雑であり、したがって高価である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
ＥＰ３７０５８５０
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
[0005]したがって、本発明の目的は、上記の制約のない、リニアモータの静止部用の磁気トラックベースを提供することである。
[0006]より詳細には、本発明の目的は、外力を受けたときに変形しない、または少なくとも従来のスケール支持部よりも変形が小さいエンコーダスケール支持部受け部を備える磁気トラックベースを提供することである。
【０００７】
[0007]本発明の別の目的は、製造が容易で費用効果の高い磁気トラックベースを提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
[0008]これらの目的は、特に、永久磁石を固定的に受け入れるように構成された磁石受け部と、磁石受け部の両側に沿ってレールを固定的に受け入れるように構成されたレール受け部と、エンコーダスケール支持部を固定的に受け入れるように構成されたエンコーダスケール支持部受け部とを備える、リニアモータの静止部用の磁気トラックベースによって達成される。エンコーダスケール支持部受け部は、磁気トラックベースの残りの部分から機械的に分離され、エンコーダスケール支持部の底側を受け入れるように配置された複数の分離タブを備えて、上記トラックベースが外力を受けたときに磁気トラックベースの残りの部分の変形から引き起こされ得るエンコーダスケール支持部受け部の変形を防止し、または少なくとも低減する。
【０００９】
[0009]一実施形態では、複数の分離タブは、対応する複数の固定タブと、各固定タブと磁気トラックベースの残りの部分との間を機械的に分離するための分離部材とを備える。
[0010]一実施形態では、各分離部材は、対応する固定タブの周りに配置された切抜き部である。
【００１０】
[0011]一実施形態では、各切抜き部は、磁気トラックベースの上側から底側まで延在するＵ字形状の貫通溝の形態である。
[0012]一実施形態では、各固定タブは、固定穴を備える頂部平坦面を備える。この表面は、磁石受け部の表面より高くされる。
（【００１１】以降は省略されています）

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