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公開番号2025083530
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-30
出願番号2025041879,2021172376
出願日2025-03-14,2021-10-21
発明の名称マスクの製造方法
出願人株式会社オプトラン
代理人個人
主分類G02B 5/18 20060101AFI20250523BHJP(光学)
要約【課題】光学用具への斜め溝加工の寸法変換差を小さくし、寸法精度の高い光学用具を製造すること。
【解決手段】内部から表面に向けて所定の傾斜角度に沿った傾斜凸部を有する光学用具を製造するためのマスクの製造方法であって、高さを調整してパターニングした芯材と、成膜量を調整して前記芯材を覆う被覆材とを基材上に設けて、異方性エッチングを施すことで、略円錐台形状で、前記表面から斜めに立ち上がり前記傾斜角度に沿った傾斜面を前記略円錐台形状の側面の一部として有するマスクを形成することとした。
【選択図】図8
特許請求の範囲【請求項１】
内部から表面に向けて所定の傾斜角度に沿った傾斜凸部を有する光学用具を製造するためのマスクの製造方法であって、
高さを調整してパターニングした芯材と、成膜量を調整して前記芯材を覆う被覆材とを基材上に設けて、異方性エッチングを施すことで、略円錐台形状で、前記表面から斜めに立ち上がり前記傾斜角度に沿った傾斜面を前記略円錐台形状の側面の一部として有するマスクを形成することを特徴とする、マスクの製造方法。
続きを表示（約 45 文字）【請求項２】
前記基材はガラス基材である請求項１記載のマスクの製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、エッチングによる斜め溝加工の寸法変換差を最小化するパターニング方法によって光学用具を製造する方法及びマスクを製造する方法に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
回折光学素子や光学フィルターは、入射光とは異なる方向に光を照射させたり、所定の波長幅にある入射光だけを透過させたりする性質を有し、カメラの焦点合わせや、Virtual Reality（ＶＲ）用のヘッドセット、カラーフィルター等に利用される。一部の回折光学素子や光学フィルターの表面は凹凸に形成され、凹部と凸部の材料の屈折率の違いによって光を回折する。例えば特開２０１２－０９８５４８号公報（特許文献１）には、屈折率が異なる材料を用いた回折光学素子が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１２－０９８５４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
こうした回折光学素子や光学フィルター等の光学用具について、広い波長範囲に光を反射させたり、透過光を制限したりするなど、その用途に応じて様々な要請に添う光学用具が求められるようになり、その表面形状、特に凹凸の大きさや形状等についても厳しく制御された回折光学素子が求められている。そこで本発明は、こうした要請に応えるために開発されたものである。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の一態様によれば、傾斜凸部を有する光学用具の製造方法であって、基材表面から斜めに立ち上がる傾斜面を有するマスクに対し、エッチングソースを前記傾斜面の傾斜角度で前記基材に当ててエッチングし、前記基材の内部から前記表面に向けて前記傾斜角度に沿った傾斜凸部を形成する光学用具の製造方法を提供する。
【０００６】
傾斜凸部を有する光学用具の製造方法について、基材表面から斜めに立ち上がる傾斜面を有するマスクに対し、エッチングソースを前記傾斜面の傾斜角度で前記基材に当ててエッチングすることとしたため、マスクが影となり実際に生じる溝寸法が所望の溝寸法との間で差が生じる寸法変換差を少なくすることができる。よって寸法制御の精度が高まり、歩留まり低下を防ぐことができる。
そして、前記基材の内部から前記表面に向けて前記傾斜角度に沿った傾斜凸部を形成する光学用具を得ることができるため、基材表面に傾斜面を有する凹凸の存在が要求されるＶＲ用途などに得られた光学用具を用いることができる。
【０００７】
また、本開示の一態様によれば、前記マスクは、前記基材側を底面に有する略円錐台形状である光学用具の製造方法とすることができる。
前記マスクの形状を前記基材側を底面に有する略円錐台形状としたため、エッチングソースの照射角度をマスクの傾斜角度に合わせることができ、所望の溝を刻むことができる。
【０００８】
また、本開示の一態様によれば、前記マスクを、前記基材にパターニングした芯材を覆う被覆材に異方性エッチングを施して形成する工程を含む光学用具の製造方法である。
前記マスクを、前記基材にパターニングした芯材を覆う被覆材に異方性エッチングを施して形成する工程を含むこととしたため、基材に対して傾斜面を有するマスクを形成することができる。
【０００９】
本開示の一態様では、前記傾斜角度は、前記被覆材の成膜量と、前記芯材の高さとで調整する光学用具の製造方法とすることができる。
前記傾斜角度を前記被覆材の成膜量と前記芯材の高さとで調整することとしたため、傾斜角度の制御が可能で、所望の傾斜角を有する傾斜溝、又は傾斜凸部を有する光学用具を得ることができる。
【００１０】
そして本開示の一態様によれば、前記基材はガラス基材である光学用具の製造方法とすることができる。
前記基材はガラス基材であるため、ガラスの透明性を生かした光学用具の製造方法として好適である。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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