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公開番号2025047870
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-03
出願番号2023156625
出願日2023-09-22
発明の名称ノズル位置調整装置、ノズル位置調整方法およびノズル位置調整用ホルダ
出願人株式会社荏原製作所
代理人個人,個人,個人
主分類H01L 21/304 20060101AFI20250327BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ノズルの位置を精度よく調整できるノズル位置調整装置を提供する。
【解決手段】ノズル位置調整装置は、基板を支持する基板支持部と、基板に向けて洗浄用の液を噴射するノズルと、を備えた基板洗浄装置に用いられる。ノズル位置調整装置は、位置表示が形成され、基板支持部に設置される位置確認プレートと、ノズルから位置確認プレートに向けて延出する位置決め機構と、を備える。位置決め機構は、位置表示を用いて位置確認プレートに対するノズルの位置を定める。
【選択図】図6
特許請求の範囲【請求項１】
基板を支持する基板支持部と、前記基板に向けて洗浄用の液を噴射するノズルと、を備えた基板洗浄装置に用いられるノズル位置調整装置であって、
位置表示が形成され、前記基板支持部に設置される位置確認プレートと、
前記ノズルから前記位置確認プレートに向けて延出する位置決め機構と、
を備え、
前記位置決め機構は、前記位置表示を用いて前記位置確認プレートに対する前記ノズルの位置を定める、
ノズル位置調整装置。
続きを表示（約 830 文字）【請求項２】
前記位置決め機構は、ホルダと、前記位置確認プレートに接近および離間する方向に伸縮可能に前記ホルダに保持されるロッドと、を備え、
前記位置表示に対する前記ロッドの先端の位置に基づいて前記ノズルの位置を定める、
請求項１記載のノズル位置調整装置。
【請求項３】
前記位置確認プレートに１または複数の係合凹所が形成され、
前記ロッドの先端は、前記係合凹所に係合可能であり、
前記位置決め機構は、前記先端が前記係合凹所に係合することで前記ロッドの位置を定める、
請求項２記載のノズル位置調整装置。
【請求項４】
前記位置表示は、格子状の基準線を有し、
前記係合凹所は、前記基準線の交点に形成されている、
請求項３記載のノズル位置調整装置。
【請求項５】
基板を支持する基板支持部と、前記基板に向けて洗浄用の液を噴射するノズルと、を備えた基板洗浄装置によって前記基板を洗浄するのに先だって、
前記基板支持部に、位置表示が記載された位置確認プレートを設置し、
前記ノズルから前記位置確認プレートに向けて延出する位置決め機構によって、前記位置表示を用いて前記位置確認プレートに対する前記ノズルの位置を定める、
ノズル位置調整方法。
【請求項６】
基板を支持する基板支持部と、前記基板に向けて洗浄用の液を噴射するノズルと、を備えた基板洗浄装置に用いられるノズル位置調整用ホルダであって、
位置表示が記載され、前記基板支持部に設置される位置確認プレートと、ロッドを有し、前記ノズルから前記位置確認プレートに向けて延出する位置決め機構と、を備えるノズル位置調整装置に用いられ、
前記位置確認プレートに接近および離間する方向に伸縮可能に前記ロッドを保持する、
ノズル位置調整用ホルダ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ノズル位置調整装置、ノズル位置調整方法およびノズル位置調整用ホルダに関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体ウェハ等の基板に洗浄用の液を噴射するノズルを備えた基板洗浄装置において、ノズルの位置を調整する装置が用いられている（例えば、特許文献１を参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１７－１８３５９５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、前記装置では、ノズルの位置を精度よく調整するのは容易でなかった。そのため、基板に対して正確な位置に液を噴射することができない場合があった。
【０００５】
本発明の一態様は、ノズルの位置を精度よく調整できるノズル位置調整装置、ノズル位置調整方法およびノズル位置調整用ホルダを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の態様１に係るノズル位置調整装置は、基板を支持する基板支持部と、前記基板に向けて洗浄用の液を噴射するノズルと、を備えた基板洗浄装置に用いられるノズル位置調整装置であって、位置表示が形成され、前記基板支持部に設置される位置確認プレートと、前記ノズルから前記位置確認プレートに向けて延出する位置決め機構と、を備え、前記位置決め機構は、前記位置表示を用いて前記位置確認プレートに対する前記ノズルの位置を定める。
【０００７】
本発明の態様２に係るノズル位置調整装置は、態様１のノズル位置調整装置において、前記位置決め機構は、ホルダと、前記位置確認プレートに接近および離間する方向に伸縮可能に前記ホルダに保持されるロッドと、を備え、
前記位置表示に対する前記ロッドの先端の位置に基づいて前記ノズルの位置を定める。
【０００８】
本発明の態様３に係るノズル位置調整装置は、態様２のノズル位置調整装置において、前記位置確認プレートに１または複数の係合凹所が形成され、前記ロッドの先端は、前記係合凹所に係合可能であり、前記位置決め機構は、前記先端が前記係合凹所に係合することで前記ロッドの位置を定める。
【０００９】
本発明の態様４に係るノズル位置調整装置は、態様３のノズル位置調整装置において、前記位置表示は、格子状の基準線を有し、前記係合凹所は、前記基準線の交点に形成されている。
【００１０】
本発明の態様５に係るノズル位置調整方法は、基板を支持する基板支持部と、前記基板に向けて洗浄用の液を噴射するノズルと、を備えた基板洗浄装置によって前記基板を洗浄するのに先だって、前記基板支持部に、位置表示が記載された位置確認プレートを設置し、前記ノズルから前記位置確認プレートに向けて延出する位置決め機構によって、前記位置表示を用いて前記位置確認プレートに対する前記ノズルの位置を定める。
（【００１１】以降は省略されています）

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