特許ウォッチ

公開番号2025039795
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-21
出願番号2025004253,2022043051
出願日2025-01-10,2022-03-17
発明の名称エレクトレットデバイス
出願人株式会社鷺宮製作所
代理人弁理士法人谷・阿部特許事務所
主分類H02N 1/08 20060101AFI20250313BHJP(電力の発電,変換,配電)
要約【課題】密閉空間内に封入されたエレクトレット素子の帯電劣化を防止した、高寿命のエレクトレットデバイスを提供する。
【解決手段】パッケージ部材と蓋部材とエレクトレット素子とを含むエレクトレットデバイスであって、前記蓋部材は前記パッケージ部材を封止し、密閉空間を形成し、前記エレクトレット素子は前記密閉空間内に設置され、前記パッケージ部材は、前記密閉空間を形成する内壁の少なくとも一部が撥水加工されているエレクトレットデバイスを提供する。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
パッケージ部材と蓋部材とエレクトレット素子とを含むエレクトレットデバイスであって、
前記蓋部材は前記パッケージ部材を封止し、密閉空間を形成し、
前記エレクトレット素子は前記密閉空間内に設置され、
前記パッケージ部材は、前記密閉空間を形成する内壁の少なくとも一部が撥水加工されているエレクトレットデバイス。
続きを表示（約 170 文字）【請求項２】
パッケージ部材と蓋部材とエレクトレット素子とを含むエレクトレットデバイスであって、
前記蓋部材は前記パッケージ部材を封止し、密閉空間を形成し、
前記エレクトレット素子は前記密閉空間内に設置され、
前記蓋部材は、前記密閉空間を形成する内壁の少なくとも一部が撥水加工されているエレクトレットデバイス。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、エレクトレットデバイスおよびエレクトレットデバイスの製造方法に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
環境振動からエネルギーを収穫するエナジーハーベスティング技術の一つとして、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）振動素子を用いて発電を行う手法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
振動素子にはエレクトレット、すなわち、誘電体に電圧を印加するなどして帯電を維持させた部材が用いられることがある。エレクトレットは、絶縁膜にコロナ放電で電荷を注入する方法、または、特許文献２に記載の方法などによって作製されている。
【０００４】
しかし、エレクトレットの帯電量は、時間が経つに連れ、低下していく。これを帯電劣化という。帯電劣化は、主に、エレクトレットが外気中の水分と触れることによって生じることが知られている（特許文献３等参照）。
【０００５】
一般に、電子素子が水分で劣化することを抑制するために、電子素子を真空パッケージに封止することが行われている。さらに、真空パッケージ内部の真空状態を維持するため、ゲッターと呼ばれる吸着材が真空パッケージ内部に設置されている（非特許文献１等参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特開２０１８－０８８７８０号公報
特開２０１３－１３２５６号公報
特開２００８－１８２６６６号公報
特開２０１４－０４９５５７号公報
特許第４６６２６６６号
【非特許文献】
【０００７】
「小型生体計測センサの実装技術」日暮栄治他精密工学会誌 Vol.73, No.11, P.1190 (2007)
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００８】
しかし、真空保持用ゲッター材は表面が気体の吸着分子で覆われているため、活性化させるためには真空中で加熱（例えば４００℃以上）する必要があり、このような加熱処理はエレクトレットの電荷を減少させるおそれがある。
【０００９】
さらに、発明者らは、水分除去を行っているにもかかわらず、帯電劣化が生じることに着目し、その原因の一つは、電荷を蓄えたシリコン酸化膜内のＳｉＯ
-
分子に水素原子Ｈ
+
が反応し、電荷を中和させるためであることを突き止め、これに対して何らかの対策を行う必要があることを見出した。
【００１０】
そのため、本発明は、高温処理を行わずに劣化の原因となる水素を除去し、密閉空間内に封入されたエレクトレット素子の帯電劣化を防止した、高寿命のエレクトレットデバイスを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許