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公開番号2025038585
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-19
出願番号2023145301
出願日2023-09-07
発明の名称成膜装置
出願人トヨタ自動車株式会社
代理人弁理士法人平木国際特許事務所
主分類C25D 17/06 20060101AFI20250312BHJP(電気分解または電気泳動方法;そのための装置)
要約【課題】簡単な構造をもって、めっき液の自重による電解質膜への負荷を低減できる成膜装置を提供する。
【解決手段】成膜装置1は、陽極11と、該陽極11と陰極である基材12との間に配置される電解質膜13と、陽極11及びめっき液Sを収容し、基材12側に開口した開口部143が電解質膜13に塞がれる液収容室14と、陽極11と基材12との間に電圧を印加する電源部16とを備えており、電解質膜13が基材12と接触した状態で、電圧印加によりめっき液S中の金属イオンに由来した金属皮膜を基材12の表面に成膜する装置である。液収容室14は、電解質膜13が上に向く状態と電解質膜13が下に向く状態とを有するように、回転可能に形成されている。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
陽極と、前記陽極と陰極である基材との間に配置される電解質膜と、前記陽極及びめっき液を収容し、開口部が前記電解質膜に塞がれる液収容室と、前記陽極と前記基材との間に電圧を印加する電源部とを備えており、前記電解質膜が前記基材と接触した状態で、電圧印加により前記めっき液中の金属イオンに由来した金属皮膜を前記基材の表面に成膜する成膜装置であって、
前記液収容室は、前記電解質膜が上に向く状態と前記電解質膜が下に向く状態とを有するように、回転可能に形成されていることを特徴とする成膜装置。
続きを表示（約 180 文字）【請求項２】
前記陽極は、網目状に形成され、又は複数の貫通孔を有するように形成されている請求項１に記載の成膜装置。
【請求項３】
接触した状態で配置された前記電解質膜及び前記基材に対し、前記陽極の反対側から前記電解質膜及び前記基材を支持するとともに、前記液収容室に着脱可能な支持枠体を更に備える請求項１又は２に記載の成膜装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、成膜装置に関し、特に固相電析法に適した成膜装置に関する。
続きを表示（約 1,800 文字）【背景技術】
【０００２】
固相電析法に適した成膜装置として、例えば下記特許文献１に記載されたように、陽極と陰極である基材との間に配置される電解質膜と、電解質膜と陽極とに接触するように金属イオンを含むめっき液を収容する液収容室と、陽極と基材との間に電圧を印加する電源部と、液収容室にめっき液を供給する供給ピストンと、液収容室からめっき液を排出する排出ピストンとを備えるものが知られている。この成膜装置では、基材を液収容室の上方に配置させることでめっき液の自重による電解質膜への負荷を低減しつつ、供給ピストン及び排出ピストンを制御することで陽極から発生する酸素ガスを除去する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１８－１５４８５５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、上述の成膜装置では、供給ピストン及び排出ピストンを用いて液収容室内のめっき液を常に流動させるため、大量のめっき液が必要である。加えて、供給ピストン及び排出ピストンを設けることで、成膜装置の構造は複雑になる問題があった。
【０００５】
本発明は、このような技術課題を解決するためになされたものであって、簡単な構造をもって、めっき液の自重による電解質膜への負荷を低減できる成膜装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明に係る成膜装置は、陽極と、前記陽極と陰極である基材との間に配置される電解質膜と、前記陽極及びめっき液を収容し、開口部が前記電解質膜に塞がれる液収容室と、前記陽極と前記基材との間に電圧を印加する電源部とを備えており、前記電解質膜が前記基材と接触した状態で、電圧印加により前記めっき液中の金属イオンに由来した金属皮膜を前記基材の表面に成膜する成膜装置であって、前記液収容室は、前記電解質膜が上に向く状態と前記電解質膜が下に向く状態とを有するように、回転可能に形成されていることを特徴としている。
【０００７】
本発明に係る成膜装置では、液収容室は、電解質膜が上に向く状態と電解質膜が下に向く状態とを有するように、回転可能に形成されている。従って、基材の交換時に液収容室を回転することにより電解質膜が上に向く状態にし、この状態において基材を交換することで、めっき液の自重による電解質膜への負荷を低減することができる。一方、成膜時に液収容室を回転することにより電解質膜が下に向く状態にし、この状態において基材の成膜を行うことで、めっき液の自重を利用して基材を押圧できるので、成膜の品質を確保することができる。また、従来のような供給ピストン及び排出ピストンを設ける場合と比べて、液収容室を回転させる機構を設ければよく、装置の構造は簡単になる。その結果、簡単な構造をもって、めっき液の自重による電解質膜への負荷を低減することができる。
【０００８】
本発明に係る成膜装置において、前記陽極は、網目状に形成され、又は複数の貫通孔を有するように形成されていることが好ましい。このようにすれば、電圧印加時に陽極で発生する酸素ガスを陽極の隙間から逃がすことができるので、電解質膜表面における酸素ガスの滞留を抑制することができる。その結果、酸素ガス滞留による成膜品質への影響を抑制することができる。
【０００９】
また、本発明に係る成膜装置において、接触した状態で配置された前記電解質膜及び前記基材に対し、前記陽極の反対側から前記電解質膜及び前記基材を支持するとともに、前記液収容室に着脱可能な支持枠体を更に備えることが好ましい。このようにすれば、接触した状態で配置された電解質膜及び基材を支持枠体で液収容室に取り付けることが可能であるので、液収容室の回転時における電解質膜及び基材の脱離や落下、電解質膜が下に向く状態における電解質膜及び基材の脱離や落下などを防止することができる。
【発明の効果】
【００１０】
本発明によれば、簡単な構造をもって、めっき液の自重による電解質膜への負荷を低減することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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