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公開番号2025054531
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-04-08
出願番号2023163610
出願日2023-09-26
発明の名称表面処理装置及び被覆部材
出願人ミカドテクノス株式会社
代理人弁理士法人きさらぎ国際特許事務所
主分類C25D 17/00 20060101AFI20250331BHJP(電気分解または電気泳動方法;そのための装置)
要約【課題】表面処理の精度を向上できる表面処理装置及び被覆部材。
【解決手段】導体部を含む被処理物と対向して配置され、内部に液室を形成可能なハウジングと、前記ハウジング内に配された電極と、前記電極と前記被処理物との間に配置されたイオン伝導膜と、前記被処理物と前記イオン伝導膜との間に配された被覆部材と、前記電極と前記被処理物との間に電圧を印加する電源部とを備え、前記被覆部材は、メタルマスクを含み、前記メタルマスクは、前記被処理物の非処理部分を被覆するための被覆部と、前記被処理物の処理部分を露出するためのマスク開口部とを含み、前記被覆部の前記イオン伝導膜側の面は、絶縁処理がされており前記電極と前記被処理物との間に電圧を印加することで、前記イオン伝導膜及び前記被覆部材を介した電気分解により前記被処理物の表面を処理する。
【選択図】図1A
特許請求の範囲【請求項１】
導体部を含む被処理物と対向して配置され、内部に液室を形成可能なハウジングと、
前記ハウジング内に配された電極と、
前記電極と前記被処理物との間に配置されたイオン伝導膜と、
前記被処理物と前記イオン伝導膜との間に配された被覆部材と、
前記電極と前記被処理物との間に電圧を印加する電源部と
を備え、
前記被覆部材は、メタルマスクを含み、
前記メタルマスクは、
前記被処理物の非処理部分を被覆するための被覆部と、
前記被処理物の処理部分を露出するためのマスク開口部と
を含み、
前記被覆部の前記イオン伝導膜側の面は、絶縁処理がされており、
前記電極と前記被処理物との間に電圧を印加することで、前記イオン伝導膜及び前記被覆部材を介した電気分解により前記被処理物の表面を処理する
ことを特徴とする表面処理装置。
続きを表示（約 1,500 文字）【請求項２】
前記電源部に電気的に接続された通電部を備え、
前記メタルマスクは、前記通電部に電気的に接続するための電源側通電部を含み、
前記被覆部は、前記被処理物側の面に前記被処理物の前記導体部と電気的に接続するための導体側通電部を有し、
前記被処理物と前記通電部は、前記メタルマスクを介して電気的に接続している
ことを特徴とする請求項１に記載の表面処理装置。
【請求項３】
前記マスク開口部の内面は、前記絶縁処理がされている
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の表面処理装置。
【請求項４】
前記被覆部の前記被処理物側の面の前記導体側通電部を除く部分には、前記絶縁処理により絶縁層が形成されている
ことを特徴とする請求項２に記載の表面処理装置。
【請求項５】
前記被覆部材は、前記絶縁層と、前記導体側通電部との高低差を埋めるような厚みに構成された導電性スペーサを含む
ことを特徴とする請求項４に記載の表面処理装置。
【請求項６】
前記被覆部材は、
前記被覆部の前記導体側通電部に設けられる導電性スペーサと、
前記被覆部の前記被処理物側の面に設けられる緩衝部と
を含み、
前記緩衝部は、前記被処理物側の面の前記導体側通電部を除く部分に配置されると共に、前記被覆部よりも前記被処理物に対する密着性を有し、
前記導電性スペーサは、前記緩衝部と、前記導体側通電部との高低差を埋めるような厚みに構成されている
ことを特徴とする請求項２に記載の表面処理装置。
【請求項７】
前記導体側通電部は、前記被覆部の前記被処理物側の面から前記被処理物に向けて突出しており、
前記被覆部の前記被処理物側の面の前記導体側通電部を除く部分には、前記導体側通電部との高低差を埋めるように絶縁層が設けられている
請求項２に記載の表面処理装置。
【請求項８】
前記被覆部材は、前記被覆部の前記被処理物側の面に緩衝部を含み、
前記導体側通電部は、前記被覆部の前記被処理物側の面から前記被処理物に向けて突出しており、
前記緩衝部は、前記被処理物側の面の前記導体側通電部を除く部分に前記導体側通電部との高低差を埋めるように設けられており、前記被覆部よりも前記被処理物に対する密着性を有する
請求項２に記載の表面処理装置。
【請求項９】
前記絶縁処理により形成された絶縁層は、前記被覆部よりも前記被処理物に対する密着性を有すると共に、耐薬品性材料で形成されている
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の表面処理装置。
【請求項１０】
導体部を含む被処理物と対向して配置され、内部に液室を形成可能なハウジングと、前記ハウジング内に配された電極と、前記電極と前記被処理物との間に配置されたイオン伝導膜と、前記電極と前記被処理物との間に電圧を印加する電源部とを備え、前記電極と前記被処理物との間に電圧を印加することで、前記イオン伝導膜を介した電気分解により前記被処理物の表面を処理する表面処理装置に用いられる被覆部材であって、
メタルマスクを含むと共に、前記被処理物と前記イオン伝導膜との間に配置可能に構成されており、
前記メタルマスクは、
前記被処理物の非処理部分を被覆するための被覆部と、
前記被処理物の処理部分を露出するためのマスク開口部と
を含み、
前記被覆部の前記イオン伝導膜側の面は、絶縁処理がされている
ことを特徴とする被覆部材。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、表面処理装置及び被覆部材に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、陽極と、陰極と、陽極と陰極との間に配置された固体電解質膜と、陽極と陰極との間に電圧を印加する電源部とを備え、陽極と陰極との間に電圧を印加して、固体電解質膜の内部に含有された金属イオンを陰極側に析出させることにより、金属被膜を基板の表面に成膜する成膜装置が知られている（例えば特許文献１）。
【０００３】
この成膜装置は、陽極と固体電解質膜との間に金属イオンを含む溶液を収容する溶液収容部を備えている。溶液収容部の底部には、開口が形成されており、開口を覆うように固体電解質膜が配置されている。また、溶液収容部の蓋部には、移動部が連結されている。移動部は、溶液収容部と共に固体電解質膜を基板に向かって移動させることにより、固体電解質膜を基板の成膜領域に加圧するものである。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１４－０５１７０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、従来の成膜装置では、例えば、固体電解質膜と基板の間に所定のパターンを有する樹脂製の被覆部材を配置して所定パターンの金属被膜を形成する等の特殊な表面処理を行う場合に、樹脂製の被覆部材では、微細なパターンの金属被膜を精度よく形成することができないという問題がある。
【０００６】
また、金属製の被覆部材では、微細なパターンを有する被覆部材を作成できても、電圧印加時に被覆部材も通電してしまい、被覆部材の表面に金属被膜が形成されるため、微細なパターンの金属被膜を精度よく基板の表面に形成することができないという問題がある。
【０００７】
本発明はこのような課題に鑑みなされたものであり、表面処理の精度を向上できる表面処理装置及び被覆部材を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明に係る表面処理装置は、導体部を含む被処理物と対向して配置され、内部に液室を形成可能なハウジングと、前記ハウジング内に配された電極と、前記電極と前記被処理物との間に配置されたイオン伝導膜と、前記被処理物と前記イオン伝導膜との間に配された被覆部材とを備え、前記被覆部材は、メタルマスクを含み、前記メタルマスクは、前記被処理物の非処理部分を被覆するための被覆部と、前記被処理物の処理部分を露出するためのマスク開口部とを含み、前記被覆部の前記イオン伝導膜側の面は、絶縁処理がされており、前記電極と前記被処理物との間に電圧を印加することで、前記イオン伝導膜及び前記被覆部材を介した電気分解により前記被処理物の表面を処理することを特徴とする。
【０００９】
本発明に係る表面処理装置は、前記電源部に電気的に接続された通電部を備え、前記メタルマスクは、前記通電部に電気的に接続するための電源側通電部を含み、前記被覆部は、前記被処理物側の面に前記被処理物の前記導体部と電気的に接続するための導体側通電部を有し、前記被処理物と前記通電部は、前記メタルマスクを介して電気的に接続してもよい。
【００１０】
本発明に係る表面処理装置において、前記マスク開口部の内面は、絶縁処理がされていてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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