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公開番号2025035306
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-03-13
出願番号2023142265
出願日2023-09-01
発明の名称ファブリペロー干渉フィルタ
出願人浜松ホトニクス株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類G02B 26/00 20060101AFI20250306BHJP(光学)
要約【課題】信頼性を確保することができるファブリペロー干渉フィルタを提供する。
【解決手段】ファブリペロー干渉フィルタ1は、第1反射膜50と、第2反射膜60と、第1電極19を含み、第1反射膜50を支持している第1層10と、第1層10上に積層された第2層20と、を備える。第2層20は、第2基板21と、第2基板21の表面21b上に配置された第2電極22と、第2基板21の表面21a上に配置された第3電極24と、第2基板21において第2電極22と第3電極24とを電気的に接続している貫通電極26と、を含む。第1層10は、第1電極19である電極部16と、第2層20と接合された支持部17と、電極部16と支持部17とを接続している弾性変形部18と、を含む。貫通電極26は、Z軸方向から見た場合に、電極部16と支持部17との間の領域のうち弾性変形部18と重ならない領域に位置している。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
第１反射膜と、
光透過領域において、空間を介して前記第１反射膜と向かい合っている第２反射膜と、
第１電極を含み、前記第１反射膜を支持している第１層と、
前記第１反射膜及び前記第２反射膜が互いに向かい合っている第１方向における一方の側において前記第１層上に積層された第２層と、を備え、
前記第２層は、
前記第１層側の第１面及び前記第１層とは反対側の第２面を有する基板と、
前記第１面上に配置されており、前記第１方向において空間を介して前記第１電極と向かい合っている第２電極と、
前記第２面上に配置された第３電極と、
前記基板に設けられており、前記第２電極と前記第３電極とを電気的に接続している貫通電極と、を含み、
前記第１層は、前記光透過領域と重なる部分が前記第１方向に移動可能な可動部として構成された可動層であり、
前記第１層は、
前記可動部に設けられており、前記第１電極が設けられた又は前記第１電極である電極部と、
前記第１方向から見た場合に前記可動部を包囲しており、前記第２層と接合された支持部と、
前記電極部と前記支持部とを接続している弾性変形部と、を含み、
前記貫通電極における前記第２電極側の端部は、前記第１方向から見た場合に、前記電極部と前記支持部との間の領域のうち前記弾性変形部と重ならない領域に位置している、ファブリペロー干渉フィルタ。
続きを表示（約 560 文字）【請求項２】
前記第１方向における他方の側において前記第１層上に積層されており、前記第２反射膜を支持している第３層を更に備える、請求項１に記載のファブリペロー干渉フィルタ。
【請求項３】
前記弾性変形部は、前記電極部と前記支持部とを接続している複数の弾性変形部であり、
前記貫通電極の前記端部は、前記第１方向から見た場合に、前記複数の弾性変形部のうち互いに隣り合っている一対の弾性変形部の間の領域に位置している、請求項１に記載のファブリペロー干渉フィルタ。
【請求項４】
前記貫通電極は、前記第２電極と前記第３電極とを電気的に接続している複数の貫通電極であり、
前記複数の貫通電極における前記第２電極側の複数の端部は、前記第１方向から見た場合に、前記一対の弾性変形部の間の前記領域に位置している、請求項３に記載のファブリペロー干渉フィルタ。
【請求項５】
前記貫通電極は、前記第１方向から見た場合に、前記電極部と前記支持部との間の前記領域のうち前記弾性変形部と重ならない前記領域に位置している、請求項１に記載のファブリペロー干渉フィルタ。
【請求項６】
前記弾性変形部は、導電性を有している、請求項１に記載のファブリペロー干渉フィルタ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ファブリペロー干渉フィルタに関する。
続きを表示（約 2,700 文字）【背景技術】
【０００２】
第１基板と、第１基板上に積層された第２基板と、第１基板における第２基板側の第１表面に形成された第１反射膜と、第１反射膜と向かい合うように第２基板における第１基板側の第２表面に形成された第２反射膜と、第１基板の第１表面に形成された第１電極と、第１電極と向かい合うように第２基板の第２表面に形成された第２電極と、第２基板における第１基板とは反対側の第３表面に形成された第１パッド及び第２パッドと、第２基板に設けられており、第１電極と第１パッドとを電気的に接続している第１貫通電極と、第２基板に設けられており、第２電極と第２パッドとを電気的に接続している第２貫通電極と、を備えるファブリペロー干渉フィルタであって、第１基板において第１反射膜を支持している部分が、第１反射膜と第２反射膜との間の距離を変化させるための可動部として構成されたものが知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１３－８３８５０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
一般的に、貫通電極が接続された膜状の電極では、貫通電極の接続箇所において膜厚が変化しやすい。そのため、上述したようなファブリペロー干渉フィルタでは、可動部を支持している第１基板の弾性変形部よりも外側に第１貫通電極及び第２貫通電極が配置される構成が採用される場合がある。しかし、そのような構成が採用されると、第１基板と第２基板との接合領域が減少し、ファブリペロー干渉フィルタの信頼性が低下するおそれがある。
【０００５】
本発明は、信頼性を確保することができるファブリペロー干渉フィルタを提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明のファブリペロー干渉フィルタは、［１］「第１反射膜と、光透過領域において、空間を介して前記第１反射膜と向かい合っている第２反射膜と、第１電極を含み、前記第１反射膜を支持している第１層と、前記第１反射膜及び前記第２反射膜が互いに向かい合っている第１方向における一方の側において前記第１層上に積層された第２層と、を備え、前記第２層は、前記第１層側の第１面及び前記第１層とは反対側の第２面を有する基板と、前記第１面上に配置されており、前記第１方向において空間を介して前記第１電極と向かい合っている第２電極と、前記第２面上に配置された第３電極と、前記基板に設けられており、前記第２電極と前記第３電極とを電気的に接続している貫通電極と、を含み、前記第１層は、前記光透過領域と重なる部分が前記第１方向に移動可能な可動部として構成された可動層であり、前記第１層は、前記可動部に設けられており、前記第１電極が設けられた又は前記第１電極である電極部と、前記第１方向から見た場合に前記可動部を包囲しており、前記第２層と接合された支持部と、前記電極部と前記支持部とを接続している弾性変形部と、を含み、前記貫通電極における前記第２電極側の端部は、前記第１方向から見た場合に、前記電極部と前記支持部との間の領域のうち前記弾性変形部と重ならない領域に位置している、ファブリペロー干渉フィルタ」である。
【０００７】
上記［１］に記載のファブリペロー干渉フィルタでは、第２層の基板において貫通電極が第２電極と第３電極とを電気的に接続しており、第１反射膜及び第２反射膜が互いに向かい合っている第１方向から見た場合に、貫通電極における第２電極側の端部が、電極部と支持部との間の領域のうち弾性変形部と重ならない領域に位置している。これにより、第２電極のうち少なくとも第１電極と向かい合っている領域の平坦性を確保することができるため、第１電極と第２電極との間に所望の静電力を確実に発生させることができる。また、貫通電極における第２電極側の端部が凸状に形成されたとしても、貫通電極における第２電極側の端部と弾性変形部との物理的な干渉を抑制することができる。また、第１層の支持部と第２層との接合領域を十分に確保することができるため、第１層と第２層との接合の安定性を向上させることができる。以上により、上記［１］に記載のファブリペロー干渉フィルタによれば、信頼性を確保することができる。
【０００８】
本発明のファブリペロー干渉フィルタは、［２］「前記第１方向における他方の側において前記第１層上に積層されており、前記第２反射膜を支持している第３層を更に備える、上記［１］に記載のファブリペロー干渉フィルタ」であってもよい。当該［２］に記載のファブリペロー干渉フィルタによれば、第１層の可動部を第２層及び第３層によって両側から保護することができる。
【０００９】
本発明のファブリペロー干渉フィルタは、［３］「前記弾性変形部は、前記電極部と前記支持部とを接続している複数の弾性変形部であり、前記貫通電極の前記端部は、前記第１方向から見た場合に、前記複数の弾性変形部のうち互いに隣り合っている一対の弾性変形部の間の領域に位置している、上記［１］又は［２］に記載のファブリペロー干渉フィルタ」であってもよい。当該［３］に記載のファブリペロー干渉フィルタによれば、第１層の電極部、支持部、及び複数の弾性変形部に対して貫通電極の端部をバランス良く配置することができる。また、複数の弾性変形部によって可動部が支持されるため、第２反射膜に対する第１反射膜の平行度をより確実に確保することがきる。
【００１０】
本発明のファブリペロー干渉フィルタは、［４］「前記貫通電極は、前記第２電極と前記第３電極とを電気的に接続している複数の貫通電極であり、前記複数の貫通電極における前記第２電極側の複数の端部は、前記第１方向から見た場合に、前記一対の弾性変形部の間の前記領域に位置している、上記［３］に記載のファブリペロー干渉フィルタ」であってもよい。当該［４］に記載のファブリペロー干渉フィルタによれば、第２層の基板に複数の貫通電極が設けられている場合にも、第１層の電極部、支持部、及び複数の弾性変形部に対して複数の貫通電極の端部をバランス良く配置することができる。また、第２電極と第３電極とが複数の貫通電極によって電気的に接続されているため、配線抵抗を下げることができ、第２電極と第３電極との間の電位差を小さくすることができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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