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公開番号2025019811
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-02-07
出願番号2023123639
出願日2023-07-28
発明の名称バーンイン装置
出願人株式会社アドバンテスト
代理人弁理士法人とこしえ特許事務所
主分類G01R 31/26 20200101AFI20250131BHJP(測定;試験)
要約【課題】装置の占有面積当たりのDUTの測定個数の増加および信号の伝送ロスの抑制を図ることができるバーンイン装置を提供する。
【解決手段】バーンイン装置1は、バーンインボード20と、バーンインチャンバ11と、壁115aによってバーンインチャンバ11と仕切られ、壁60によって外気と仕切られた断熱室30と、ファンクションボード50と、を備え、壁115aは、トップボード40を含み、コネクタ23とコネクタ42が嵌合することで、バーンインボード20とトップボード40とが電気的に接続されており、ファンクションボード50は、壁60に形成された開口61を介して断熱室30の内部に進入し、コネクタ52とコネクタ43とが嵌合することで、ファンクションボード50とトップボード40とが電気的に接続されている。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
ＤＵＴが装着されるソケットと、前記ソケットが実装された第１の基板と、前記第１の基板に実装された第１のコネクタと、を備えたバーンインボードと、
前記バーンインボードを収容するチャンバと、
第１の壁によって前記チャンバと仕切られ、第２の壁によって外気と仕切られた断熱室と、
第２の基板と、前記第２の基板に実装された第２のコネクタと、を備えたファンクションボードと、を備え、
前記第１の壁は、第３の基板と、前記第３の基板の一方の主面に実装された第３のコネクタと、前記第３の基板の他方の主面に実装された第４のコネクタと、を備えたトップボードを含み、
前記第１のコネクタと前記第３のコネクタが嵌合することで、前記バーンインボードと前記トップボードとが電気的に接続されており、
前記ファンクションボードは、前記第２の壁に形成された開口を介して前記断熱室の内部に進入し、
前記第２のコネクタと前記第４のコネクタとが嵌合することで、前記ファンクションボードと前記トップボードとが電気的に接続されているバーンイン装置。
続きを表示（約 950 文字）【請求項２】
請求項１に記載のバーンイン装置であって、
前記バーンイン装置は、前記断熱室にドライエアを供給するドライエア供給装置を備えたバーンイン装置。
【請求項３】
請求項２に記載のバーンイン装置であって、
前記バーンイン装置は、前記ドライエアを加熱する加熱装置を備えたバーンイン装置。
【請求項４】
請求項３に記載のバーンイン装置であって、
前記バーンイン装置は、
前記チャンバ内の温度を測定する温度センサと、
前記温度センサの測定結果に基づいて、前記加熱装置を制御する制御装置と、を備えたバーンイン装置。
【請求項５】
請求項４に記載のバーンイン装置であって、
前記制御装置は、前記チャンバ内の温度が所定温度未満である場合に前記ドライエアを加熱し、前記チャンバ内の温度が前記所定温度以上である場合に前記ドライエアを加熱しないように、前記加熱装置を制御するバーンイン装置。
【請求項６】
請求項４又は５に記載のバーンイン装置であって、
前記所定温度は、０℃以下の温度値であるバーンイン装置。
【請求項７】
請求項１または２に記載のバーンイン装置であって、
前記バーンイン装置は、前記第２の壁の前記開口と前記ファンクションボードとの間を封止する封止部材を備えたバーンイン装置。
【請求項８】
請求項１または２に記載のバーンイン装置であって、
前記ファンクションボードは、
前記開口を介して前記断熱室の内部に進入している第１の部分と、
前記断熱室の外部に位置している第２の部分と、を含むバーンイン装置。
【請求項９】
請求項８に記載のバーンイン装置であって、
前記バーンイン装置は、前記第２の部分に送風して、前記ファンクションボードを冷却するファンを備えたバーンイン装置。
【請求項１０】
請求項１または２に記載のバーンイン装置であって、
前記ファンクションボードは、前記第２の基板に実装され、前記ＤＵＴに信号を入出力する制御回路を備えたバーンイン装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、バーンイン装置に関するものである。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
初期不良のある電子部品を除去することを目的として、高温または低温環境下でＤＵＴ（Device Under Test）の試験を行うバーンイン装置が知られている（例えば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２２－１３８６０９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
上記のバーンイン装置では、バーンインボードを収容し当該バーンインボードに装着されたＤＵＴを加熱する加熱層の断熱を図るために、バーンインボードとドライバーボードを中継ボードで接続している。このようなバーンイン装置では、中継ボードがあることで装置サイズが大きくなり、装置の占有面積当たりのＤＵＴの測定個数に制限があるという問題がある。また、信号が中継ボードを経由するために、バーンインボードとドライバーボードとの間で信号の伝送ロスが生じるという問題がある。
【０００５】
本発明が解決しようとする課題は、装置の占有面積当たりのＤＵＴの測定個数の増加および信号の伝送ロスの抑制を図ることができるバーンイン装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
［１］本発明の態様１は、ＤＵＴが装着されるソケットと、前記ソケットが実装された第１の基板と、前記第１の基板に実装された第１のコネクタと、を備えたバーンインボードと、前記バーンインボードを収容するチャンバと、第１の壁によって前記チャンバと仕切られ、第２の壁によって外気と仕切られた断熱室と、第２の基板と、前記第２の基板に実装された第２のコネクタと、を備えたファンクションボードと、を備え、前記第１の壁は、第３の基板と、前記第３の基板の一方の主面に実装された第３のコネクタと、前記第３の基板の他方の主面に実装された第４のコネクタと、を備えたトップボードを含み、前記第１のコネクタと前記第３のコネクタが嵌合することで、前記バーンインボードと前記トップボードとが電気的に接続されており、前記ファンクションボードは、前記第２の壁に形成された開口を介して前記断熱室の内部に進入し、前記第２のコネクタと前記第４のコネクタとが嵌合することで、前記ファンクションボードと前記トップボードとが電気的に接続されているバーンイン装置である。
【０００７】
［２］本発明の態様２は、態様１のバーンイン装置において、前記バーンイン装置は、前記断熱室にドライエアを供給するドライエア供給装置を備えたバーンイン装置であってもよい。
【０００８】
［３］本発明の態様３は、態様２のバーンイン装置において、前記バーンイン装置は、前記ドライエアを加熱する加熱装置を備えたバーンイン装置であってもよい。
【０００９】
［４］本発明の態様４は、態様３のバーンイン装置において、前記バーンイン装置は、前記チャンバ内の温度を測定する温度センサと、前記温度センサの測定結果に基づいて、前記加熱装置を制御する制御装置と、を備えたバーンイン装置であってもよい。
【００１０】
［５］本発明の態様５は、態様４のバーンイン装置において、前記制御装置は、前記チャンバ内の温度が所定温度未満である場合に前記ドライエアを加熱し、前記チャンバ内の温度が前記所定温度以上である場合に前記ドライエアを加熱しないように、前記加熱装置を制御するバーンイン装置であってもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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