特許ウォッチ

公開番号2025014608
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-30
出願番号2023117301
出願日2023-07-19
発明の名称部品検査装置
出願人上野精機株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類H01L 21/677 20060101AFI20250123BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】装置振動等に起因して真の荷重値以外に計測されてしまう外乱値を低減して電子部品に加わる荷重を高精度に計測する。
【解決手段】部品検査装置は、電子部品を搬送しつつ検査し、良品と不良品とに分類したうえで、電子部品を収容部材に収容する装置である。この部品検査装置は、表面と裏面とを有し、表面に電子部品が貼付されたシートを保持するシート保持部と、シート保持部に保持されたシートの表面に対向し、電子部品を保持する部品保持部と、シート保持部に保持されたシートの裏面の突上げ位置に対向する突上げ部材と、部品保持部に向かうように突上げ部材を所定方向に沿って移動させる駆動部と、シート保持部に保持されたシートの裏面における突上げ位置の周辺の領域を吸着するステージと、突上げ部材に加わる荷重を検出する荷重検出部と、所定方向における突上げ部材の位置を検出する位置検出部と、を備える。
【選択図】図1

特許請求の範囲【請求項１】
電子部品を搬送しつつ検査し、良品と不良品とに分類したうえで、前記電子部品を収容部材に収容する部品検査装置であって、
表面と裏面とを有し、前記表面に前記電子部品が貼付されたシートを保持するシート保持部と、
前記シート保持部に保持された前記シートの前記表面に対向し、前記電子部品を保持する部品保持部と、
前記シート保持部に保持された前記シートの前記裏面の突上げ位置に対向する突上げ部材と、
前記部品保持部に向かうように前記突上げ部材を所定方向に沿って移動させる駆動部と、
前記シート保持部に保持された前記シートの前記裏面における前記突上げ位置の周辺の領域を吸着するステージと、
前記突上げ部材に加わる荷重を検出する荷重検出部と、
前記所定方向における前記突上げ部材の位置を検出する位置検出部と、を備える、部品検査装置。
続きを表示（約 610 文字）【請求項２】
前記部品保持部を含む複数の部品保持部と、
前記シートから前記電子部品を受け取るための受渡領域を通る円軌道に位置するように前記複数の部品保持部を支持する支持部と、
前記円軌道に沿って前記複数の部品保持部を移動させるように前記支持部を回転させる回転駆動部と、
前記円軌道の中心軸まわりの周方向における前記支持部の回転位置を検出する回転位置検出部と、を更に備え、
前記複数の部品保持部それぞれが、前記受渡領域において前記シートから前記電子部品を受け取るように構成されている、請求項１に記載の部品検査装置。
【請求項３】
前記ステージは、前記所定方向において移動可能に設けられており、
前記部品検査装置は、
前記部品保持部に向かうように前記ステージを前記所定方向に沿って移動させる第２駆動部と、
前記所定方向における前記ステージの位置を検出する第２位置検出部と、を更に備える、請求項１に記載の部品検査装置。
【請求項４】
前記ステージに加わる荷重を検出する第２荷重検出部を更に備える、請求項３に記載の部品検査装置。
【請求項５】
前記位置検出部による検出結果に基づいて、前記ステージに対する前記突上げ部材の位置を取得するコントローラを更に備える、請求項１～４のいずれか一項に記載の部品検査装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、部品検査装置に関する。
続きを表示（約 2,000 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、ウェハシートに貼り付けられた電子部品をコレットに吸着させる電子部品受渡し装置が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１９－４１００７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
本開示は、電子部品に加わる荷重を荷重センサで計測する場合において、装置振動等に起因して真の荷重値以外に計測されてしまう外乱値を低減して電子部品に加わる荷重を高精度に計測することが可能な部品検査装置を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
本開示の一側面に係る部品検査装置は、電子部品を搬送しつつ検査し、良品と不良品とに分類したうえで、電子部品を収容部材に収容する装置である。この部品検査装置は、表面と裏面とを有し、表面に電子部品が貼付されたシートを保持するシート保持部と、シート保持部に保持されたシートの表面に対向し、電子部品を保持する部品保持部と、シート保持部に保持されたシートの裏面の突上げ位置に対向する突上げ部材と、部品保持部に向かうように突上げ部材を所定方向に沿って移動させる駆動部と、シート保持部に保持されたシートの裏面における突上げ位置の周辺の領域を吸着するステージと、突上げ部材に加わる荷重を検出する荷重検出部と、所定方向における突上げ部材の位置を検出する位置検出部と、を備える。
【発明の効果】
【０００６】
本開示によれば、電子部品に加わる荷重を荷重センサで計測する場合において、装置振動等に起因して真の荷重値以外に計測されてしまう外乱値を低減して電子部品に加わる荷重を高精度に計測することが可能な部品検査装置が提供される。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
図１は、部品検査装置の一例を模式的に示す側面図である。
図２は、コントローラの機能構成の一例を示すブロック図である。
図３は、コントローラのハードウェア構成の一例を示すブロック図である。
図４は、コントローラが実行する一連の処理の一例を示すフローチャートである。
図５（ａ）及び図５（ｂ）は、突上げ時の動作の一例を示す模式図である。
図６（ａ）及び図６（ｂ）は、突上げ時の動作の一例を示す模式図である。
図７は、突上げ時の動作の一例を示す模式図である。
図８は、コントローラが実行する一連の処理の一例を示すフローチャートである。
図９は、コントローラが実行する一連の処理の一例を示すフローチャートである。
図１０（ａ）及び図１０（ｂ）は、突上げ時の動作の一例を示す模式図である。
図１１は、位置及び荷重それぞれの検出値の一例を示すグラフである。
図１２（ａ）、図１２（ｂ）、及び図１２（ｃ）は、突上げ時の動作の一例を示す模式図である。
図１３は、コントローラが実行する一連の処理の一例を示すフローチャートである。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
以下、図面を参照して一実施形態について説明する。説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【０００９】
［部品検査装置］
図１は、一実施形態に係る部品検査装置を模式的に示す側面図である。図１に示される部品検査装置１は、ダイソータであり、電子部品Ｗを搬送しつつ検査し、良品と不良品とに分類したうえで、電子部品Ｗを収容部材に収容する装置である。部品検査装置１は、検査により良品と判定された電子部品Ｗを収容部材に収容してもよい。部品検査装置１は、取り出し可能な状態で電子部品Ｗを収容部材に収容してもよい。例えば、部品検査装置１において収容部材に収容された後の電子部品Ｗは、部品検査装置１とは別の装置において、収容部材から取り出されて処理される。
【００１０】
部品検査装置１が行う検査は、例えば、外観検査、又は電気特性検査等を含む。部品検査装置１は、電子部品Ｗの検査に加えて、マーキングを行ってもよい。部品検査装置１による検査後の電子部品Ｗを収容する収容部材は、例えば、キャリアテープ、トレイ、又はウェハシートである。部品検査装置１による検査対象の電子部品Ｗは、半導体製造の前工程で形成された後にダイシング等によって個片化された部品であってもよい。プリント基板に電子部品を実装するマウンター又はボンダーに比べて、ダイソータである部品検査装置１は高速で動作する。すなわち、マウンター又はボンダーに比べて、部品検査装置１において単位時間あたりに処理される部品の個数は多い。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許