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公開番号2025011275
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-01-23
出願番号2024181536,2022512584
出願日2024-10-17,2021-03-30
発明の名称エンコーダ用反射型光学式スケール及び反射型光学式エンコーダ
出願人大日本印刷株式会社
代理人個人,個人
主分類G01D 5/347 20060101AFI20250116BHJP(測定;試験)
要約【課題】低反射領域での反射率を十分に低減することが可能なエンコーダ用反射型光学式スケールを提供する。
【解決手段】基材1上に高反射領域12と低反射領域11とが交互に配置されたエンコーダ用反射型光学式スケールであって、上記低反射領域は、上記基材上に形成された金属クロム膜2と、上記金属クロム膜上に順不同に形成された、酸化クロム膜4及び窒化クロム膜3と、からなる低反射部20を含み、上記高反射領域は、上記エンコーダ用反射型光学式スケールの上記基材とは反対側から入射する光の反射率が上記低反射領域よりも高い、エンコーダ用反射型光学式スケールを提供することにより上記課題を解決する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
基材上に高反射領域と低反射領域とが交互に配置されたエンコーダ用反射型光学式スケールであって、
前記低反射領域は、前記基材の一方の表面に配置された金属クロム膜と、前記金属クロム膜の前記基材とは反対側の表面に順不同に配置された、酸化クロム膜及び窒化クロム膜と、を有する低反射部を含み、
前記高反射領域は、前記エンコーダ用反射型光学式スケールの前記基材とは反対側から入射する光の反射率が前記低反射領域よりも高い、エンコーダ用反射型光学式スケール。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、エンコーダ用反射型光学式スケール及びエンコーダに関するものである。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、測定機等の分野において、高精度に寸法等の測定ができる光学式エンコーダが使用されている。光学式エンコーダには、透過型エンコーダと反射型エンコーダがあるが、反射型エンコーダは透過型エンコーダに比べて光路が短く、小型化、薄型化が容易であり、また、発光素子や受光素子の位置決めが不要であり組み立てが容易であるという利点を有する。
【０００３】
反射型光学式エンコーダは、反射型光学式スケール、スケールに光を照射するＬＥＤ等の光源、及びスケールからの反射光を検出する光検出器を含む。反射型光学式スケールは、反射領域（高反射領域）と非反射領域（低反射領域）が交互に配置され、反射領域における光の反射率は、非反射領域における光の反射率よりも高い。これにより、スケールから反射し光検出器に入射する光の強さは、スケールの位置の変化により強弱を生じる。光検出器は、スケールの位置が測長方向に移動することによって生じる光の強弱を検出する。反射型光学式エンコーダは、検出された光の強弱にしたがって、このスケールの位置の変位情報を処理し、位置情報を取得しうる。
【０００４】
反射型光学式スケールに形成されている反射領域および非反射領域において、光検出器による誤検出を防ぎ、信号の検出精度を高めるためには反射領域の反射率を高く、非反射領域の反射率を低くする必要がある。
【０００５】
例えば、特許文献１には、反射型光学式スケールの非反射領域を、金属Ｔｉ、ＳｉＯ
２
、ＴｉＯ
２
、およびＳｉＯ
２
がこの順に積層された多層膜構造とし、低反射化し、高反射領域での反射光の強度と、低反射領域での反射光の強度との差を大きくした反射型光学式スケールが開示されている。しかしながら、使用されるＳｉＯ
２
膜が高コストであり、成膜用原料もＴｉとＳｉの２種類必要であり、コストの面で不利であった。
【０００６】
また、特許文献２では、表面反射率の高い基板の片面の一部領域を、金属酸化膜や金属窒素物からなる非反射パターンで被覆した反射型光学式スケールが開示されている。
【０００７】
特許文献３には、反射膜よりも光の反射率が低いパターン形成膜を形成する材料として、クロム、若しくはクロム酸化物及びクロム窒化物等のクロム化合物を用いることが記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００８】
特開２０１９－１５８７１０号公報
実開昭６１－１９７５１０号公報
特開２００５－２４１２４８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
上述したように反射型光学式スケールの様々な構成が提案されているが、本発明者らは、従来のエンコーダ用反射型光学式スケールの低反射領域の構成では、赤色/近赤外領域での反射率を十分に低減することができないことを知見した。そのため、低反射領域の更なる反射率の低減が望まれる。
【００１０】
本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、低反射領域での反射率を十分に低減することが可能なエンコーダ用反射型光学式スケールを提供することを主目的とする。
【課題を解決するための手段】
（【００１１】以降は省略されています）

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