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公開番号2024150855
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-24
出願番号2023063852
出願日2023-04-11
発明の名称流体機器
出願人株式会社PILLAR
代理人弁理士法人サンクレスト国際特許事務所
主分類F04B 45/053 20060101AFI20241017BHJP(液体用容積形機械;液体または圧縮性流体用ポンプ)
要約【課題】帯電した流体が薄膜部材に接しても、薄膜部材にピンホールが発生するのを抑制することができる流体機器を提供する。
【解決手段】流体が接する一面を有する樹脂製の薄膜部材と、前記薄膜部材の他面と対向する対向部材と、を備え、前記薄膜部材における前記一面と前記他面との間の厚みが、前記流体に帯電した電荷が通過する程度に薄く形成された、流体機器であって、前記対向部材は、前記薄膜部材の前記他面が接触又は近接する電気絶縁性の絶縁部を有する、流体機器。
【選択図】図5
特許請求の範囲【請求項１】
流体が接する一面を有する樹脂製の薄膜部材と、前記薄膜部材の他面と対向する対向部材と、を備え、前記薄膜部材における前記一面と前記他面との間の厚みが、前記流体に帯電した電荷が通過する程度に薄く形成された、流体機器であって、
前記対向部材は、前記薄膜部材の前記他面が接触又は近接する電気絶縁性の絶縁部を有する、流体機器。
続きを表示（約 310 文字）【請求項２】
前記対向部材は、金属製の本体部と、前記本体部に設けられた樹脂製の前記絶縁部と、を有する、請求項１に記載の流体機器。
【請求項３】
前記絶縁部は、前記薄膜部材の前記他面における前記絶縁部に接触又は近接する部分の長さよりも長く形成されている、請求項１又は請求項２に記載の流体機器。
【請求項４】
前記流体機器は、前記流体を吐出するローリングダイアフラムポンプであり、
前記薄膜部材は、前記ローリングダイアフラムポンプのローリングダイアフラムの薄膜部であり、
前記対向部材は、前記ローリングダイアフラムポンプのシリンダである、請求項１又は請求項２に記載の流体機器。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、流体機器に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、半導体、液晶、有機ＥＬ、太陽電池等の製造プロセスにおいて、薬液を塗布又は調合するときに当該薬液を送給するポンプとして、例えば特許文献１に記載されたローリングダイアフラムポンプが知られている。このローリングダイアフラムポンプは、金属製のシリンダと、シリンダ内に往復移動可能に設けられたピストンと、シリンダとピストンとを連結する薄膜部（繋ぎ部）を有する樹脂製のローリングダイアフラムと、を備えている。
【０００３】
シリンダ内でピストンが往復移動すると、ローリングダイアフラムの薄膜部が変形する。薄膜部が変形すると、ポンプ室の容積が変化することで、移送流体がポンプ室に吸い込まれて外部へ吐出される。ローリングダイアフラムの薄膜部の一面は、シリンダの内周面に密着する密着面とされている。薄膜部の他面は、ポンプ室内の移送流体が接する接触面とされている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２０１９－１２４２０７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
上記ローリングダイアフラムポンプでは、ポンプ室に吸入される移送流体が帯電している場合がある。その場合、移送流体に帯電した電荷が、ローリングダイアフラムの薄膜部の接触面から密着面を介してシリンダに放電されることによって、薄膜部にピンホールが発生するおそれがある。
【０００６】
本開示は、このような事情に鑑みてなされたものであり、帯電した流体が薄膜部材に接しても、薄膜部材にピンホールが発生するのを抑制することができる流体機器を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
（１）本開示の流体機器は、流体が接する一面を有する樹脂製の薄膜部材と、前記薄膜部材の他面と対向する対向部材と、を備え、前記薄膜部材における前記一面と前記他面との間の厚みが、前記流体に帯電した電荷が通過する程度に薄く形成された、流体機器であって、前記対向部材は、前記薄膜部材の前記他面が接触又は近接する電気絶縁性の絶縁部を有する。
【０００８】
本開示の流体機器によれば、薄膜部材の他面は、当該他面と対向する対向部材の絶縁部に接触又は近接するので、帯電した流体が薄膜部材の一面に接しても、流体に帯電した電荷が薄膜部材を通過して対向部材に放電されるのを、絶縁部によって抑制することができる。これにより、薄膜部材にピンホールが発生するのを抑制することができる。
【０００９】
（２）前記（１）の流体機器において、前記対向部材は、金属製の本体部と、前記本体部に設けられた樹脂製の前記絶縁部と、を有するのが好ましい。
この場合、対向部材の全体が樹脂製の絶縁部だけで構成される場合と比較して、対向部材の強度を高めることができる。
【００１０】
（３）前記（１）又は（２）の流体機器において、前記絶縁部は、前記薄膜部材の前記他面における前記絶縁部に接触又は近接する部分の長さよりも長く形成されているのが好ましい。
流体に帯電した電荷が、薄膜部材の他面における絶縁部に接触又は近接する部分の端から、対向部材に直接放電されるのを抑制することができる。これにより、薄膜部材にピンホールが発生するのをさらに抑制することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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