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公開番号2024147324
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-16
出願番号2023060260
出願日2023-04-03
発明の名称蛍光X線分析装置およびそれに用いられる治具
出願人株式会社島津製作所
代理人弁理士法人深見特許事務所
主分類G01N 23/223 20060101AFI20241008BHJP(測定;試験)
要約【課題】蛍光X線分析装置において、精度良く試料を分析する。
【解決手段】蛍光X線分析装置は、X線源と、検出器と、分析部と、試料台2と、治具1とを備える。検出器は、X線源から出射した一次X線L1が分析対象の試料Sに照射されることによって、試料Sから出射する蛍光X線L2を検出する。分析部は、検出器において検出された蛍光X線L2を分析する。試料台2には、試料Sが配置される。治具1は、試料台2の上面22の上に載置され、試料Sを保持する。治具1には、貫通孔10が形成される。試料Sの分析時には、試料Sを貫通孔10を覆うように配置することが可能であり、X線源から出射された一次X線L1は貫通孔10を通過して試料に照射される。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
Ｘ線源と、
前記Ｘ線源から出射した一次Ｘ線が分析対象の試料に照射されることによって、前記試料から出射する蛍光Ｘ線を検出する検出器と、
前記検出器において検出された蛍光Ｘ線を分析する分析部と、
前記試料を配置するための試料台と、
前記試料台の上面の上に載置され、前記試料を保持するための治具とを備え、
前記治具には、貫通孔が形成され、
前記試料の分析時には、前記試料を前記貫通孔を覆うように配置することが可能であり、前記Ｘ線源から出射された一次Ｘ線は前記貫通孔を通過して前記試料に照射される、蛍光Ｘ線分析装置。
続きを表示（約 820 文字）【請求項２】
前記試料台には、開口部が形成されており、
前記試料の分析時には、前記Ｘ線源から出射された一次Ｘ線は、前記開口部と前記貫通孔とを通過して、直接試料に照射される、請求項１に記載の蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項３】
前記治具のサイズは、前記開口部のサイズより大きい、請求項２に記載の蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項４】
前記開口部は、前記試料台の法線方向から見たときに円形を有し、
前記治具は円板状に形成され、
前記治具の直径は、前記開口部の直径より大きい、請求項３に記載の蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項５】
前記貫通孔のサイズは、前記試料のサイズおよび前記Ｘ線源から照射される一次Ｘ線の照射範囲に対応する、請求項１または２に記載の蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項６】
前記治具は、平板状の保持部を含み、
前記貫通孔は、前記保持部に形成され、
前記貫通孔は、前記保持部の法線方向から見たときに円形を有し、
前記貫通孔の直径は、前記試料のサイズより小さく、前記照射範囲より大きい、請求項５に記載の蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項７】
前記貫通孔のサイズは、１ｍｍ以上１０ｍｍ以下である、請求項５に記載の蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項８】
前記治具において前記試料を設置する部分の厚みは、１０～５００μｍである、請求項１または２に記載の蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項９】
前記治具の前記貫通孔の周囲は、前記分析対象の前記試料から発生する分析対象の蛍光Ｘ線と同じ波長の蛍光Ｘ線を発生させない素材で形成される、請求項１または２に記載の蛍光Ｘ線分析装置。
【請求項１０】
前記素材は、透明である、請求項９に記載の蛍光Ｘ線分析装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は蛍光Ｘ線分析装置およびそれに用いられる治具に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
エネルギー分散型蛍光Ｘ線分析装置（ＥＤＸ：Energy Dispersive X-ray Spectrometry）の用途の一つとして、宝石鑑定が知られている。宝石鑑定においては、Ｘ線源から照射された一次Ｘ線源を宝石に照射し、宝石から発生した蛍光Ｘ線を分析することにより、宝石の種類および／または産地が判別される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第４３９８９０１号公報
特許第４８５４００５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、宝石は、ＥＤＸの試料台に載置するには、そのサイズが小さすぎる場合がある。このようにサイズの小さい試料を分析したい場合、特許第４３９８９０１号公報（特許文献１）に開示されるような、底部にフィルムを貼った筒状のホルダを用いることが可能である。より具体的には、底部のフィルムの上に試料を設置し、当該ホルダを試料台に載置することにより、フィルム越しに試料を分析することが可能である。
【０００５】
しかしながら、フィルム越しに試料を分析した場合、試料から発生した特定の元素の蛍光Ｘ線がフィルムに吸収されてしまい、当該特定の元素の蛍光Ｘ線のピーク強度が大きく減衰し、正しく測定できない場合がある。これにより、試料の分析精度が低下するおそれがある。特に、試料が宝石の場合には、鑑定精度が低下するおそれがある。
【０００６】
また、特許第４８５４００５号公報（特許文献２）には、試料台の窓部の外周に段部を形成し、段部に嵌合する保持具を用いることにより、小さい試料を検査位置に配置する技術が開示されている。しかし、このような保持具を使用する場合、保持具の取り外しに手間がかかるおそれがある。
【０００７】
本開示は、かかる課題を解決するためになされたものであり、その目的は、蛍光Ｘ線分析装置において、簡便かつ精度良く試料を分析することである。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明の第１の態様は、蛍光Ｘ線分析装置に関する。蛍光Ｘ線分析装置は、Ｘ線源と、検出器と、分析部と、試料台と、治具とを備える。検出器は、Ｘ線源から出射した一次Ｘ線が分析対象の試料に照射されることによって、試料から出射する蛍光Ｘ線を検出する。分析部は、検出器において検出された蛍光Ｘ線を分析する。試料台には、試料が配置される。治具は、試料台の上面の上に載置され、試料を保持する。治具には、貫通孔が形成される。試料の分析時には、試料を貫通孔を覆うように配置することが可能であり、Ｘ線源から出射された一次Ｘ線は貫通孔を通過して試料に照射される。
【０００９】
本発明の他の態様は、治具に関する。治具は、Ｘ線源から出射した一次Ｘ線が試料台に配置される試料に照射されることによって、試料から出射する蛍光Ｘ線を分析する蛍光Ｘ線分析装置において、試料台の上面の上に載置され、試料を保持する。治具は、試料を保持するための保持部を含む。保持部には、貫通孔が形成されている。蛍光Ｘ線分析装置における試料の分析時には、試料を貫通孔を覆うように配置することが可能であり、Ｘ線源から出射された一次Ｘ線を貫通孔を通過して試料に照射することが可能である。
【発明の効果】
【００１０】
本開示によれば、蛍光Ｘ線分析装置において、精度良く試料を分析することができる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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