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公開番号2024140971
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-10-10
出願番号2023052370
出願日2023-03-28
発明の名称半導体集積回路
出願人ローム株式会社
代理人個人,個人
主分類H01L 21/822 20060101AFI20241003BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】電圧変調の影響を低減した抵抗を提供する。
【解決手段】半導体集積回路100は、半導体基板110上に形成される第1抵抗200を備える。第1抵抗200は、直列に接続された抵抗値が等しい第1抵抗要素r1および第2抵抗要素r2を含む。第1抵抗要素r1が形成されるウェル112と第2抵抗要素r2が形成されるウェル112は、第1抵抗要素r1と第2抵抗要素r2の接続ノード206と結線される。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
半導体基板上に形成される第１抵抗を備え、
前記第１抵抗は、直列に接続された抵抗値が等しい第１抵抗要素および第２抵抗要素を含み、
前記第１抵抗要素が形成されるウェルと前記第２抵抗要素が形成されるウェルは、前記第１抵抗要素と前記第２抵抗要素の接続ノードと結線される、半導体集積回路。
続きを表示（約 390 文字）【請求項２】
前記第１抵抗要素が形成されるウェルと前記第２抵抗要素が形成されるウェルは、同一のウェルである、請求項１に記載の半導体集積回路。
【請求項３】
前記第１抵抗要素が形成されるウェルと前記第２抵抗要素が形成されるウェルは、独立したウェルである、請求項１に記載の半導体集積回路。
【請求項４】
前記第１抵抗要素および前記第２抵抗要素は、ポリ抵抗である、請求項１から３のいずれかに記載の半導体集積回路。
【請求項５】
前記第１抵抗要素および前記第２抵抗要素は、拡散抵抗である、請求項１から３のいずれかに記載の半導体集積回路。
【請求項６】
オペアンプおよび抵抗を含む増幅回路をさらに備え、
前記第１抵抗を利用して、前記増幅回路の前記抵抗が構成される、請求項１から３のいずれかに記載の半導体集積回路。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、半導体集積回路に形成される抵抗に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
半導体集積回路の重要な構成要素のひとつに抵抗がある。抵抗の種類はさまざまであり、用途に応じて、ポリ抵抗、拡散抵抗、メタル抵抗などが使用される。
【０００３】
半導体基板に形成される抵抗は、それに印加される電圧に応じて、抵抗値がわずかに変化する。これを電圧変調という。電圧変調は、１０Ｖを超える大きな電圧を印加してせいぜい０．１％あるいはそれ以下のオーダーであるため、多くの用途で問題となることはない。
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、高精度が要求される回路では、わずかな電圧変調による抵抗値の変動が、回路の特性を大きく悪化させる。
【０００５】
本開示は係る課題に鑑みてなされたものであり、そのある態様の例示的な目的のひとつは、電圧変調の影響を低減した抵抗の提供にある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示のある態様の半導体集積回路は、半導体基板上に形成される抵抗を備える。抵抗は、直列に接続された抵抗値が等しい第１抵抗要素および第２抵抗要素を含む。第１抵抗要素が形成されるウェルと第２抵抗要素が形成されるウェルは、第１抵抗要素と第２抵抗要素の接続ノードと結線される、
【０００７】
なお、以上の構成要素を任意に組み合わせたもの、構成要素や表現を、方法、装置、システムなどの間で相互に置換したものもまた、本発明あるいは本開示の態様として有効である。さらに、この項目（課題を解決するための手段）の記載は、本発明の欠くべからざるすべての特徴を説明するものではなく、したがって、記載されるこれらの特徴のサブコンビネーションも、本発明たり得る。
【発明の効果】
【０００８】
本開示のある態様によれば、抵抗の電圧変調の影響を抑制できる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
図１は、実施形態に係る抵抗を備える半導体集積回路の断面図である。
図２は、比較技術に係る抵抗を備える半導体集積回路の断面図である。
図３は、実施形態に係る抵抗および比較技術に係る抵抗の抵抗値のシミュレーション結果を示す図である。
図４は、図３のシミュレーションに用いた回路図である。
図５は、変形例に係る抵抗を備える半導体集積回路の断面図である。
図６は、一実施例に係る増幅回路の回路図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
（実施形態の概要）
本開示のいくつかの例示的な実施形態の概要を説明する。この概要は、後述する詳細な説明の前置きとして、実施形態の基本的な理解を目的として、１つまたは複数の実施形態のいくつかの概念を簡略化して説明するものであり、発明あるいは開示の広さを限定するものではない。この概要は、考えられるすべての実施形態の包括的な概要ではなく、すべての実施形態の重要な要素を特定することも、一部またはすべての態様の範囲を線引きすることも意図していない。便宜上、「一実施形態」は、本明細書に開示するひとつの実施形態（実施例や変形例）または複数の実施形態（実施例や変形例）を指すものとして用いる場合がある。
（【００１１】以降は省略されています）

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