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公開番号2024127457
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-09-20
出願番号2023036621
出願日2023-03-09
発明の名称外観検査装置、及び外観検査方法
出願人オムロン株式会社
代理人弁理士法人秀和特許事務所
主分類G01N 21/956 20060101AFI20240912BHJP(測定;試験)
要約【課題】基板の表面における検査領域及び非検査領域の設定が適切にされているか否かを容易に確認することを可能とする外観検査装置、及び外観検査方法を提供する。
【解決手段】外観検査装置は、良品基板の画像を蓄積するデータベースと、不良品基板の画像を蓄積する不良データベースと、不良品基板における不良の画像を抽出する抽出部と、不良の画像を、良品基板の画像に転写し、転写画像を生成する転写部と、良品基板の画像、不良品基板の画像、不良の画像、及び転写画像の少なくとも何れかを表示する表示部と、検査領域及び非検査領域を用いて、転写画像の外観検査が設定通りに実行または除外されているかを確認する作動確認処理を実行する作動確認処理部と、を備え、転写部は、複数の不良の画像を、指定されたパターンで一括して転写することが可能である。
【選択図】図2

特許請求の範囲【請求項１】
基板の外観検査が実行される検査領域、及び当該基板の表面において当該外観検査が除外される非検査領域を設定することが可能である外観検査装置であって、
良品基板の画像を蓄積するデータベースと、
不良品基板の画像を蓄積する不良データベースと、
前記不良データベースに蓄積された前記不良品基板の画像から、前記不良品基板における不良の画像を抽出する抽出部と、
前記抽出部が抽出した前記不良の画像を、前記データベースに蓄積された前記良品基板の画像に転写し、転写画像を生成する転写部と、
前記データベースに蓄積された前記良品基板の画像、前記不良データベースに蓄積された前記不良品基板の画像、前記抽出部が抽出した前記不良の画像、及び前記転写部が生成した前記転写画像の少なくとも何れかを表示する表示部と、
前記検査領域及び前記非検査領域を用いて、前記転写部が生成した前記転写画像の前記外観検査が設定通りに実行または除外されているかを確認する作動確認処理を実行する作動確認処理部と、を備え、
前記転写部は、複数の前記不良の画像を、指定されたパターンで一括して転写することが可能であることを特徴とする、外観検査装置。
続きを表示（約 1,400 文字）【請求項２】
前記検査領域においては、検査対象とする前記不良の種類を指定することが可能であり、
前記作動確認処理部が前記作動確認処理を実行した際に、前記表示部は、前記非検査領域において前記不良が検出された箇所、及び前記検査領域において指定された前記種類と異なる種類の不良が検出された箇所の少なくとも一方に対して、設定が適切でないとして所定のマークを表示することを特徴とする、請求項１に記載の外観検査装置。
【請求項３】
前記検査領域及び前記非検査領域を設定した前記基板に対して、前記作動確認処理部が前記作動確認処理を実行した場合、その旨を通知することを特徴とする、請求項１に記載の外観検査装置。
【請求項４】
前記検査領域及び前記非検査領域を設定した前記基板に対して、前記作動確認処理部が前記作動確認処理を実行していない場合、その旨を通知することを特徴とする、請求項１に記載の外観検査装置。
【請求項５】
前記抽出部は、実際の前記不良を指定することによって、類似の前記不良の画像を抽出可能であることを特徴とする、請求項１に記載の外観検査装置。
【請求項６】
前記検査領域においては、指定された前記不良の前記種類が誤っていた場合に、修正処理が実行されることを特徴とする、請求項２に記載の外観検査装置。
【請求項７】
前記作動確認処理部による前記作動確認処理が設定通りに実行されなかった場合、その旨を記録する記録部をさらに備えることを特徴とする、請求項１に記載の外観検査装置。
【請求項８】
基板の外観検査が実行される検査領域、及び当該基板の表面において当該外観検査が除外される非検査領域を設定することが可能である外観検査方法であって、
不良品基板の画像から、当該不良品基板における不良の画像を抽出する抽出工程と、
前記抽出工程において抽出された前記不良の画像を、良品基板の画像に転写し、転写画像を生成する転写工程と、
前記良品基板の画像、前記不良品基板の画像、前記抽出工程において抽出された前記不良の画像、及び前記転写工程において生成された前記転写画像の少なくとも何れかを表示
する表示工程と、を有し、
前記検査領域及び前記非検査領域を用いて、前記転写工程において生成された前記転写画像の前記外観検査が設定通りに実行または除外されているかを確認する作動確認処理を実行することが可能であり、
前記転写工程においては、複数の前記不良の画像を、指定されたパターンで一括して転写することが可能であることを特徴とする、外観検査方法。
【請求項９】
前記検査領域においては、検査対象とする前記不良の種類を指定することが可能であり、
前記作動確認処理を実行した際に、前記表示工程においては、前記非検査領域において前記不良が検出された箇所、及び前記検査領域において指定された前記種類と異なる種類の不良が検出された箇所の少なくとも一方に対して、設定が適切でないとして所定のマークが表示されることを特徴とする、請求項８に記載の外観検査方法。
【請求項１０】
前記検査領域及び前記非検査領域を設定した前記基板に対して、前記作動確認処理を実行した場合、その旨を通知する第１の通知工程をさらに有することを特徴とする、請求項８に記載の外観検査方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板の外観検査が実行される検査領域、及び当該基板の表面において当該外観検査が除外される非検査領域を設定することが可能である外観検査装置、及び外観検査方法に関する。
続きを表示（約 2,200 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、欠陥を含む不良品を撮影した不良品画像において欠陥に対応する欠陥画像を指定し、指定された欠陥画像の周辺に存在する画像から周辺画像を決定し、指定された欠陥画像に決定された周辺画像を合成する画像処理装置が公知である。（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
また、基板の外観検査を実行する際には、基板の外観検査が実行される検査領域、及び当該基板の表面において当該外観検査が除外される非検査領域を設定し、設定が適切にされているかを確認することがある。ここで、設定が適切にされているとは、検査領域においては、基板の表面の不良が正確に検査され、非検査領域においては、外観検査が除外されることをいう。また、検査領域においては、検査閾値の設定間違い等により、基板の表面の不良が正確に検査されない虞がある。これらの問題に起因して、不良基板を見落とし、流出させてしまう虞がある。設定が適切にされているかの確認にあたっては、基板に関して上記のような画像の合成技術によって不良画像を作成し、この合成された不良画像に、検査領域及び非検査領域を適用することが考えられる。
【０００４】
しかしながら、新たな品番が増える度に不良品基板の画像を生成するには工数が増大する。また、不良品基板の画像を生成することには微細な作業が伴い、熟練者でないとその作業をこなすことは困難である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０２０－００８４８８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本件開示の技術は、上記の問題を解決するためになされたものであり、その目的は、基板の表面における検査領域及び非検査領域の設定が適切にされているか否かを容易に確認することを可能とする外観検査装置、及び外観検査方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記の課題を解決するための本開示は、データベースと、不良データベースと、抽出部と、転写部と、表示部と、作動確認処理部と、を備える外観検査装置を含む。本開示においては、基板の外観検査が実行される検査領域、及び当該基板の表面において当該外観検査が除外される非検査領域を設定した後に、それらを用いて、外観検査が設定通りに実行または除外されているかを確認することを可能とする転写画像を疑似的に生成する。データベースには、撮像された良品基板の画像が蓄積される。不良データベースには、撮像された不良品基板の画像が蓄積される。抽出部は、不良データベースに蓄積された不良品基板の画像から、不良品基板における不良の画像を抽出する。当該不良の一例としては、はんだボール等が挙げられる。
【０００８】
転写部は、抽出部が抽出した不良の画像を、データベースに蓄積された良品基板の画像
に転写し、転写画像を生成する。ここで、転写とは、ある画像に元の画像の一部を移動させ、両者の画像の間の解像度の差異等に起因して不自然な画像が生成されないように、疑似的に合成画像を生成することをいう。この合成画像は、転写画像に相当する。表示部は、上記の、良品基板の画像、不良品基板の画像、不良の画像、及び転写画像の少なくとも何れかを、外観検査装置のユーザが認識可能に表示する。作動確認処理部は、検査領域及び非検査領域を用いて、転写部が生成した転写画像の外観検査が設定通りに実行または除外されているかを確認する作動確認処理を実行する。
【０００９】
また、転写部が不良の画像を転写する際には、転写のパターンを指定することが可能である。当該パターンの例としては、良品基板の画像の一部に不良の画像を転写するパターンや、良品基板の画像の全体に不良の画像を転写するパターン等が挙げられる。また、転写部は、複数の不良の画像を一括して転写することが可能である。
【００１０】
より詳細には、
基板の外観検査が実行される検査領域、及び当該基板の表面において当該外観検査が除外される非検査領域を設定することが可能である外観検査装置であって、
良品基板の画像を蓄積するデータベースと、
不良品基板の画像を蓄積する不良データベースと、
前記不良データベースに蓄積された前記不良品基板の画像から、前記不良品基板における不良の画像を抽出する抽出部と、
前記抽出部が抽出した前記不良の画像を、前記データベースに蓄積された前記良品基板の画像に転写し、転写画像を生成する転写部と、
前記データベースに蓄積された前記良品基板の画像、前記不良データベースに蓄積された前記不良品基板の画像、前記抽出部が抽出した前記不良の画像、及び前記転写部が生成した前記転写画像の少なくとも何れかを表示する表示部と、
前記検査領域及び前記非検査領域を用いて、前記転写部が生成した前記転写画像の前記外観検査が設定通りに実行または除外されているかを確認する作動確認処理を実行する作動確認処理部と、を備え、
前記転写部は、複数の前記不良の画像を、指定されたパターンで一括して転写することが可能であることを特徴とする、外観検査装置を含む。
（【００１１】以降は省略されています）

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