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公開番号2024114347
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-08-23
出願番号2023020051
出願日2023-02-13
発明の名称検査装置、および、検査方法
出願人株式会社デンソー
代理人弁理士法人服部国際特許事務所
主分類G01R 31/28 20060101AFI20240816BHJP(測定;試験)
要約【課題】液媒体を高効率に回収可能な検査装置、および、検査方法を提供する。
【解決手段】検査装置1は、所定の検査温度にてワークWの電気検査を行うものであって、高温検査槽20と、電気検査部30と、回収部50と、を備える。高温検査槽20は、ワークWの液媒体LMによる調温、および、槽内部の真空引きが可能である。電気検査部30は、ワークWの電気検査を行う。回収部50は、高温検査槽20から排出された液媒体LM、および、真空引きにより排出された揮発ガスを回収する。検査装置1は、高温検査槽20において、ワークWの電気検査および真空乾燥を行う。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
所定の検査温度にてワーク（Ｗ）の電気検査を行う検査装置であって、
前記ワークの液媒体による調温、および、槽内部の真空引きが可能である調温槽（２０）と、
前記ワークの電気検査を行う電気検査部（３０、８５）と、
前記調温槽から排出された液媒体、および、真空引きにより排出された揮発ガスを回収する回収部（５０）と、
を備え、
前記調温槽において、前記ワークの電気検査および真空乾燥を行う、検査装置。
続きを表示（約 1,300 文字）【請求項２】
前記調温槽は、槽本体（２１）の内部空間を、液媒貯留室（２１２）と、前記ワークが配置されるワーク室（２１３）とに区画する隔壁（２１５）を有し、
前記ワーク室は、前記ワークが配置された状態にて、液媒体で満たされている状態と真空状態とを切替可能である請求項１に記載の検査装置。
【請求項３】
前記電気検査部は、前記ワーク室の真空引きと並行して電気検査を行う請求項２に記載の検査装置。
【請求項４】
前記調温槽は、前記ワークを加熱する高温槽であって、
前記高温槽とは別に、前記ワークを冷却する低温槽（１０）を備え、
前記低温槽で冷却された前記ワークの低温での電気検査を真空引きされた前記ワーク室にて行った後、前記ワーク室を液媒体で満たして前記ワークを加熱し、高温での電気検査を行う請求項２または３に記載の検査装置。
【請求項５】
前記調温槽は、前記ワークを加熱する高温槽であって、
前記高温槽とは別に、前記ワークを冷却する低温槽（８０）を備え、
前記低温槽で冷却された前記ワークの低温での電気検査を前記低温槽で行った後、前記ワークを前記高温槽に搬送して液媒体にて前記ワークを加熱し、高温での電気検査を前記高温槽で行う請求項１～３のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項６】
前記回収部は、揮発ガスを凝縮する凝縮器（５１）、および、揮発ガスを貯留するガスホルダ（６０）を有し、前記調温槽の復圧時に揮発ガスを戻す請求項１～３のいずれか一項に記載の検査装置。
【請求項７】
所定の検査温度にてワーク（Ｗ）の電気検査を行う検査方法であって、
液媒体にて前記ワークを調温する調温工程（Ｓ１３、Ｓ１７、Ｓ３３、Ｓ３７）と、
前記ワークの電気検査を行う電気検査工程（Ｓ１６、Ｓ１８、Ｓ３４、Ｓ３８）と、
前記ワークの真空乾燥を行う真空乾燥工程（Ｓ１８、Ｓ３９）と、
を含む検査方法。
【請求項８】
前記調温工程には、前記ワークを冷却する冷却工程（Ｓ１３、Ｓ３３）、および、前記ワークを加熱する加熱工程（Ｓ１７、Ｓ３７）が含まれ、
低温槽（１０）にて前記冷却工程を行い、
冷却された前記ワークを高温槽（２０）に搬送し、真空引きされた前記高温槽にて低温での前記電気検査工程を行った後、前記加熱工程にて前記ワークを加熱し、当該高温槽にて高温での前記電気検査工程および前記真空乾燥工程を行う請求項７に記載の検査方法。
【請求項９】
前記調温工程には、前記ワークを冷却する冷却工程（Ｓ１３、Ｓ３３）、および、前記ワークを加熱する加熱工程（Ｓ１７、Ｓ３７）が含まれ、
低温槽（８０）にて前記冷却工程、および、低温での前記電気検査工程を行い、
低温での前記電気検査工程の後、前記ワークを高温槽（２０）に搬送し、前記高温槽にて前記加熱工程、高温での前記電気検査工程、および、前記真空乾燥工程を行う請求項７に記載の検査方法。
【請求項１０】
前記電気検査工程と前記真空乾燥工程とは、同時並行で実施される請求項７～９のいずれか一項に記載の検査方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査装置、および、検査方法に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、半導体装置等の被測定物の温度特性を所定温度下で試験を行う温度特性試験装置が知られている。例えば特許文献１では、測定室内に所定温度に温度制御された熱媒体であるフッ素系不活性液体を注入し、ハンドラにより半導体装置を搬送して熱媒体に浸漬して加熱、冷却し、電気的な温度特性試験を行う。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開平５－１１０１７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
温度処理を行う液媒体は、熱伝導性、電気絶縁性に優れる流体である一方、地球温暖化係数が高いというデメリットがある。
【０００５】
本発明は、上述の課題に鑑みてなされたものであり、その目的は、液媒体を高効率に回収可能な検査装置、および、検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明の検査装置は、所定の検査温度にてワーク（Ｗ）の電気検査を行うものであって、調温槽（２０）と、電気検査部（３０、８５）と、回収部（５０）と、を備える。調温槽は、ワークの液媒体による調温、および、槽内部の真空引きが可能である。電気検査部は、ワークの電気検査を行う。回収部は、調温槽から排出された液媒体、および、真空引きにより排出された揮発ガスを回収する。検査装置は、調温槽において、ワークの電気検査および真空乾燥を行う。これにより、ワークの調温に用いる液媒体を高効率に回収可能である。
【０００７】
本発明の検査方法は、所定の検査温度にてワーク（Ｗ）の電気検査を行うものであって、調温工程（Ｓ１３、Ｓ１７、Ｓ３３、Ｓ３７）と、電気検査工程（Ｓ１６、Ｓ１８、Ｓ３４、Ｓ３８）と、真空乾燥工程（Ｓ１８、Ｓ３９）と、を含む。調温工程では、液媒体にてワークを調温する。電気検査工程では、ワークの電気検査を行う。真空乾燥工程では、ワークの真空乾燥を行う。これにより、検査装置と同様の効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
第１実施形態による検査装置を示すシステム図である。
第１実施形態による低温処理槽および高温検査槽を示す模式図である。
第１実施形態による高温検査槽を示す平面図である。
図３のＩＶ－ＩＶ線断面図である。
第１実施形態による高温検査槽において、下治具設置前の状態を示す図である。
第１実施形態による高温検査槽において、上蓋ユニット設置前の状態を示す図である。
第１実施形態による高温検査槽において、上室の真空引きを行っているときの状態を示す図である。
第１実施形態による検査方法を示すフローチャートである。
第１実施形態による低温処理槽内におけるワークの温度推移を示すタイムチャートである。
第１実施形態による高温検査槽内におけるワークの温度推移を示すタイムチャートである。
第２実施形態による低温検査槽および高温検査槽を示す模式図である。
第２実施形態による検査方法を示すフローチャートである。
第２実施形態による低温検査槽内におけるワークの温度推移を示すタイムチャートである。
第２実施形態による高温検査槽内におけるワークの温度推移を示すタイムチャートである。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
以下、本発明による検査装置を図面に基づいて説明する。以下、複数の実施形態において、実質的に同一の構成には同一の符号を付して説明を省略する。
【００１０】
（第１実施形態）
第１実施形態による検査装置を図１～図１０に示す。図１に示すように、検査装置１は、低温処理槽１０と、高温検査槽２０と、電気検査部３０と、回収部５０と、を備え、ＥＣＵ基板製品やセンセミ製品等であるワークＷの温度特性検査を行う。
（【００１１】以降は省略されています）

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