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公開番号2024106799
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-08-08
出願番号2023011243
出願日2023-01-27
発明の名称歪みセンサ
出願人日東電工株式会社
代理人弁理士法人いくみ特許事務所
主分類G01B 7/00 20060101AFI20240801BHJP(測定;試験)
要約【課題】感度に優れながら、小型である歪みセンサを提供すること。
【解決手段】歪みセンサ1は、基材フィルム2と、歪みゲージ線部3と、接続線部4とを備える。歪みゲージ線部3は、厚み方向における基材フィルム2の一方面に配置される。歪みゲージ線部3は、第1線部31Aおよび第2線部32Aを有する。第1線部31Aおよび第2線部32Aは、互いに間隔が隔てられるように並んで延びる。接続線部4は、厚み方向における基材フィルムの一方面に配置される。接続線部4は、第1線部31Aおよび第2線部32Aを接続する。接続線部4の表面抵抗率Rcは、歪みゲージ線部3の表面抵抗率Rsより低い。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
基材フィルムと、
厚み方向における前記基材フィルムの一方面に配置される歪みゲージ線部であって、互いに間隔が隔てられるように並んで延びる第１線部および第２線部を有する歪みゲージ線部と、
厚み方向における前記基材フィルムの一方面に配置される接続線部であって、前記第１線部および前記第２線部を接続する接続線部と、を備え、
前記接続線部の表面抵抗率Ｒｃは、前記歪みゲージ線部の表面抵抗率Ｒｓより低い、歪みセンサ。
続きを表示（約 760 文字）【請求項２】
前記第１線部および前記第２線部のそれぞれにおいて前記第１線部および前記第２線部のそれぞれが延びる方向に直交する方向の長さＬＬに対する、前記接続線部において前記接続線部が延びる方向に直交する方向の長さＬＣの比（ＬＣ／ＬＬ）は、２．０以下、０．５以上である、請求項１に記載の歪みセンサ。
【請求項３】
前記接続線部は、前記第１線部および前記第２線部が延びる方向に交差する方向に延びる、請求項１または２に記載の歪みセンサ。
【請求項４】
前記接続線部は、前記第１線部および前記第２線部が延びる方向に直交する方向に延びる、請求項３に記載の歪みセンサ。
【請求項５】
前記接続線部の材料は、前記歪みゲージ線部の材料と異なる、請求項１または請求項２に記載の歪みセンサ。
【請求項６】
前記接続線部のゲージ率は、前記歪みゲージ線部のゲージ率より低い、請求項１または請求項２に記載の歪みセンサ。
【請求項７】
前記歪みゲージ線部の表面抵抗率Ｒｓに対する前記接続線部の表面抵抗率Ｒｃの比（Ｒｃ／Ｒｓ）は、０．１０以下である、請求項１または請求項２に記載の歪みセンサ。
【請求項８】
前記第１線部および前記第２線部のそれぞれの電気抵抗に対する前記接続線部の電気抵抗の比は、０．００５以下である、請求項１または請求項２に記載の歪みセンサ。
【請求項９】
前記歪みゲージ線部の材料は、窒化クロムを含む、請求項１または請求項２に記載の歪みセンサ。
【請求項１０】
前記接続線部の材料は、銅、および／または、ニッケルを含む、請求項１または請求項２に記載の歪みセンサ。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、歪みセンサに関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
基材フィルムと、歪みゲージ線部と、接続線部と、を備える歪みセンサが知られている（例えば、特許文献１参照。）。特許文献１に記載の歪みセンサでは、歪みゲージ線部は、厚み方向における基材フィルムの一方面に配置される。歪みゲージ線部は、第１線部および第２線部を有する。第１線部および第２線部は、互いに間隔が隔てられるように並んで延びる。また、接続線部は、厚み方向における基材フィルムの一方面に配置される。接続線部は、第１線部および第２線部を接続する。
【０００３】
基材フィルムがセンサ対象に取り付けられて、センサ対象が伸縮すると、これに連動して、第１線部および第２線部は、伸縮する。すると、歪みゲージ線部の抵抗が変動する。歪みセンサでは、歪みゲージ線部の抵抗の変動と、歪みゲージ線部のゲージ率とから、歪みゲージ線部の伸縮量が求められるとともに、センサ対象の伸縮量、すなわち、センサ対象の歪み量が求められる。以上より、歪みゲージ線部のゲージ率が高いと、歪みセンサの感度が高くなる。
【０００４】
一方、接続線部のゲージ率は、センタ対象の伸縮のセンシングに実質的に寄与しない。接続線部の電気抵抗は、低いことが求められる。そこで、接続線部の幅を、歪みゲージ線部の幅より広くすることが提案されている（例えば、特許文献２参照。）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
ＷＯ２０２２／０９２２０４号
特開平１－２１９６０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
歪みセンサには、用途および目的に応じて、小型であることが求められる。
【０００７】
しかし、特許文献２では、接続線部の幅が歪みゲージ線部の幅より広いため、歪みセンサは、小型にできないという不具合がある。
【０００８】
本発明は、感度に優れながら、小型である歪みセンサを提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
本発明［１］は、基材フィルムと、厚み方向における前記基材フィルムの一方面に配置される歪みゲージ線部であって、互いに間隔が隔てられるように並んで延びる第１線部および第２線部を有する歪みゲージ線部と、厚み方向における前記基材フィルムの一方面に配置される接続線部であって、前記第１線部および前記第２線部を接続する接続線部と、を備え、前記接続線部の表面抵抗率Ｒｃは、前記歪みゲージ線部の表面抵抗率Ｒｓより低い、歪みセンサを含む。
【００１０】
この歪みセンサでは、接続線部の表面抵抗率Ｒｃが歪みゲージ線部の表面抵抗率Ｒｓより低い。そのため、接続線部の幅を拡げることなく、接続線部の電気抵抗を歪みゲージ線部の電気抵抗より低くできる。そのため、歪みセンサは、感度に優れながら、小型にできる。
（【００１１】以降は省略されています）

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