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公開番号2024089934
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-07-04
出願番号2022205483
出願日2022-12-22
発明の名称拭取装置及び基板の製造方法
出願人日本電気硝子株式会社
代理人弁理士法人快友国際特許事務所
主分類B08B 1/32 20240101AFI20240627BHJP(清掃)
要約【課題】拭取部材に与えられる張力を調整する技術を提供する。
【解決手段】拭取装置は、拭取部材30と、前記拭取部材30が巻回されている状態で第1回転軸24a回りを第1方向に回転することによって、前記拭取部材30を送出する第1ローラ24と、前記第1ローラ24と間隔を置いて配置されており、第2回転軸22a回りを第2方向に回転することによって、前記第1ローラ24から送出される前記拭取部材を巻き取る前記第2ローラ22と、前記第1ローラ24と前記第2ローラ22との間で前記拭取部材30を対象物に接触させる接触部材32と、前記第1ローラ24と前記第2ローラ22との間の前記拭取部材30の張力を調整する制御部と、を備えていてもよい。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
拭取部材と、
前記拭取部材が巻回されている状態で第１回転軸回りを第１方向に回転することによって、前記拭取部材を送出する第１ローラと、
前記第１ローラと間隔を置いて配置されており、第２回転軸回りを第２方向に回転することによって、前記第１ローラから送出される前記拭取部材を巻き取る第２ローラと、
前記第１ローラと前記第２ローラとの間で前記拭取部材を対象物に接触させる接触部材と、
前記第１ローラと前記第２ローラとの間の前記拭取部材の張力を調整する制御部と、を備える拭取装置。
続きを表示（約 940 文字）【請求項２】
請求項１に記載の拭取装置に基板をセットするセット工程と、
前記第１ローラと前記第２ローラとの間の前記拭取部材の張力を調整する調整工程と、
前記第１ローラを前記第１方向に回転させることによって前記拭取部材を送出し、前記第２ローラを前記第２方向に回転させることによって前記第１ローラから送出される前記拭取部材を巻き取る拭取部材送出工程と、
前記基板を前記拭取部材によって拭取る拭取工程と、を備える、基板の製造方法。
【請求項３】
前記拭取工程は、前記拭取部材送出工程後、前記第１ローラと前記第２ローラとの間で前記拭取部材が停止している状態で実行される、請求項２に記載の基板の製造方法。
【請求項４】
前記調整工程は、前記第１ローラと前記第２ローラとの少なくとも一方の回転の状態を調整することによって、前記拭取部材の張力を調整する、請求項２又は３に記載の基板の製造方法。
【請求項５】
前記調整工程は、前記第１ローラと前記第２ローラの少なくとも一方の回転期間を調整することによって、前記拭取部材の張力を調整する、請求項２又は３に記載の基板の製造方法。
【請求項６】
前記調整工程は、前記第１ローラの回転の状態を調整する、請求項４に記載の基板の製造方法。
【請求項７】
前記調整工程は、前記第１ローラと前記第２ローラの少なくとも一方を回転させるモータの負荷を用いて、前記拭取部材に張力を調整する、請求項２又は３に記載の拭取装置。
【請求項８】
前記調整工程は、前記第１ローラを回転させる前記モータの負荷を用いて、前記拭取部材に張力を調整する、請求項７に記載の基板の製造方法。
【請求項９】
前記拭取部材送出工程は、前記第２ローラに前記拭取部材が巻回されている状態で、前記第２ローラを前記第２方向と反対方向である第３方向に回転させることによって前記拭取部材を送出し、前記第１ローラを前記第１方向と反対方向である第４方向に回転させることによって前記第２ローラから送出される前記拭取部材を巻き取る、請求項２又は３に記載の基板の製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本明細書が開示する技術は、拭取装置及び基板の製造方法に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、基板表面をクロス拭き取りによって洗浄するパターン形成基板洗浄装置が開示されている。装置は、クロスを基板上に押し当てながら移動するローラと、クロスをローラに供給する供給リールと、クロスをローラから巻き取って回収する回収リールと、を備える。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１５－２１５９４１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
２個のローラのうちの一方のローラを回転させることによって、クロス等の拭取部材を供給し、他方のローラを回転させることによって拭取部材を回収する構成では、２個のローラの回転状況に応じて拭取部材に与えられる張力が変動する。拭取部材の張力が小さいと、拭取部材が緩み過ぎ得る。その結果、拭取部材から基板に対して十分な力が加わらず、拭取り難くなり得る。一方、拭取部材の張力が大きいと、例えばクロスが破損し得る。その結果、拭取部材の劣化が進む事態が生じ得る。
【０００５】
本明細書では、拭取部材に与えられる張力を調整する技術を提供する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本明細書で開示される技術の第１の形態は、拭取装置である。拭取装置は、拭取部材と、前記拭取部材が巻回されている状態で第１回転軸回りを第１方向に回転することによって、前記拭取部材を送出する第１ローラと、前記第１ローラと間隔を置いて配置されており、第２回転軸回りを第２方向に回転することによって、前記第１ローラから送出される前記拭取部材を巻き取る第２ローラと、前記第１ローラと前記第２ローラとの間で前記拭取部材を対象物に接触させる接触部材と、前記第１ローラと前記第２ローラとの間の前記拭取部材の張力を調整する制御部と、を備えていてもよい。
【０００７】
この構成によると、制御部によって、拭取部材の張力を調整することができる。これにより、拭取部材に適切な張力を与え得る。
【０００８】
本明細書で開示される技術の第２の形態は、基板の製造方法である。基板の製造方法は、上記第１の形態に記載の拭取装置に基板をセットするセット工程と、前記第１ローラと前記第２ローラとの間の前記拭取部材の張力を調整する調整工程と、前記第１ローラを前記第１方向に回転させることによって前記拭取部材を送出し、前記第２ローラを前記第２方向に回転させることによって前記第１ローラから送出される前記拭取部材を巻き取る拭取部材送出工程と、前記基板を前記拭取部材によって拭取る拭取工程と、を備えていてもよい。
【０００９】
この構成によると、調整工程によって、拭取部材の張力を調整することができる。これにより、拭取部材に適切な張力を与え得る。
【００１０】
本明細書で開示される技術の第３の形態では、上記の第２の形態において、前記拭取工程は、前記拭取部材送出工程後、前記第１ローラと前記第２ローラとの間で前記拭取部材が停止している状態で実行されてもよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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