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公開番号2024072373
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-28
出願番号2022183126
出願日2022-11-16
発明の名称振動片及び振動デバイス
出願人セイコーエプソン株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類H03H 9/19 20060101AFI20240521BHJP(基本電子回路)
要約【課題】支持応力による振動への影響を低減し、且つ、スプリアス振動を抑制する振動片及び振動デバイスを提供する。
【解決手段】振動片20は、第1主面21a、第2主面21b、ならびに第1励振電極31及び第2励振電極32によって挟まれて厚み滑り振動する励振部24、を含み、平面視で矩形の振動部21と、振動部21のコーナー部から第1方向に延出する連結腕22と、一方の端部側の側面が連結腕22に接続され、第1方向と交差する第2方向に延在する支持腕23と、を備え、支持腕23は、第1励振電極31と電気的に接続され、接着部材50を介して容器10に接着される第1支持電極36を含み、第2方向に沿った連結腕22の幅Wは、第1方向及び第2方向に交差する第3方向に沿った励振部24の厚さTの4倍以上であり、且つ、第2方向に沿った支持腕23の連結腕22側の端部から第1支持電極36までの長さL以下である。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
第１主面、前記第１主面と表裏関係にある第２主面、ならびに前記第１主面に設けられた第１励振電極及び前記第２主面に設けられた第２励振電極によって挟まれて厚み滑り振動する励振部、を含み、平面視で矩形の振動部と、
前記振動部のコーナー部から第１方向に延出する連結腕と、
一方の端部側の側面が前記連結腕に接続され、前記第１方向と交差する第２方向に延在する支持腕と、を備え、
前記支持腕は、前記第１励振電極と電気的に接続され、接着部材を介して容器に接着される第１支持電極を含み、
前記第２方向に沿った前記連結腕の幅は、前記第１方向及び前記第２方向に交差する第３方向に沿った前記励振部の厚さの４倍以上であり、且つ、前記第２方向に沿った前記支持腕の前記連結腕側の端部から前記第１支持電極までの長さ以下である、
振動片。
続きを表示（約 1,400 文字）【請求項２】
前記支持腕は、前記第２励振電極と電気的に接続され、前記第１支持電極より前記第２方向側に位置する第２支持電極をさらに含む、
請求項１に記載の振動片。
【請求項３】
前記第２方向に沿った前記連結腕の幅は、前記第３方向に沿った前記励振部の厚さの７倍以上である、
請求項１に記載の振動片。
【請求項４】
前記第１方向は、前記振動部の長辺方向であり、前記第２方向は、前記振動部の短辺方向である、
請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の振動片。
【請求項５】
前記第１方向は、前記振動部の短辺方向であり、前記第２方向は、前記振動部の長辺方向である、
請求項１乃至請求項３のいずれか一項に記載の振動片。
【請求項６】
振動片と、前記振動片を収容する容器と、前記振動片と前記容器とを接着する接着部材と、を備え、
前記振動片は、
第１主面、前記第１主面と表裏関係にある第２主面、ならびに前記第１主面に設けられた第１励振電極及び前記第２主面に設けられた第２励振電極によって挟まれて厚み滑り振動する励振部、を含み、平面視で矩形の振動部と、
前記振動部のコーナー部から第１方向に延出する連結腕と、
一方の端部側の側面が前記連結腕に接続され、前記第１方向と交差する第２方向に延在する支持腕と、を備え、
前記支持腕は、前記第１励振電極と電気的に接続され、前記接着部材を介して前記容器に接着される第１支持電極を含み、
前記第２方向に沿った前記連結腕の幅は、前記第１方向及び前記第２方向に交差する第３方向に沿った前記励振部の厚さの４倍以上であり、且つ、前記第２方向に沿った前記支持腕の前記連結腕側の端部から前記第１支持電極までの長さ以下である、
振動デバイス。
【請求項７】
前記支持腕は、前記接着部材を介して前記容器に接着される第１支持主面と、前記第１支持主面と表裏関係にある第２支持主面と、前記第２励振電極と電気的に接続されて前記第１支持電極より前記第２方向側に位置する第２支持電極と、を含み、
前記第１支持電極及び前記第２支持電極は、前記第１支持主面に設けられており、
前記接着部材は、第１接着剤と、前記第１接着剤から離間して配置された第２接着剤と、を含み、
前記第１接着剤及び前記第２接着剤は、導電性接着剤であり、
前記第１支持電極は、前記第１接着剤を介して前記容器と接着され、
前記第２支持電極は、前記第２接着剤を介して前記容器と接着される、
請求項６に記載の振動デバイス。
【請求項８】
前記支持腕は、前記接着部材を介して前記容器に接着される第１支持主面と、前記第１支持主面と表裏関係にある第２支持主面と、前記第２励振電極と電気的に接続された第２支持電極と、を含み、
前記第１支持電極は、前記第１支持主面に設けられており、
前記第２支持電極は、前記第２支持主面に設けられており、
前記接着部材は、導電性接着剤であり、
前記第１支持電極は、前記接着部材を介して前記容器に電気的に接続されており、
前記第２支持電極は、ボンディングワイヤーを介して前記容器に電気的に接続されている、
請求項６に記載の振動デバイス。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動片及び振動デバイスに関する。
続きを表示（約 2,100 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１には、一対の励振電極が設けられた振動部と、振動部から離間して伸びる支持部と、支持部の一端と振動部の端部とを連結するように伸びる連結部と、を備え、一対の励振電極から支持部の接合面までそれぞれ引出電極が引き出された構成とすることで、支持応力による振動への影響が抑制された圧電振動片が記載されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１５－１８６１９６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１の圧電振動片は、主振動である厚み滑り振動への支持応力による影響を抑制することはできるが、スプリアス振動を効率的に逃すような連結部の幅については一切考慮されていない。そのため、スプリアス振動によって主振動の振動特性が悪化する虞があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
振動片は、第１主面、前記第１主面と表裏関係にある第２主面、ならびに前記第１主面に設けられた第１励振電極及び前記第２主面に設けられた第２励振電極によって挟まれて厚み滑り振動する励振部、を含み、平面視で矩形の振動部と、前記振動部のコーナー部から第１方向に延出する連結腕と、一方の端部側の側面が前記連結腕に接続され、前記第１方向と交差する第２方向に延在する支持腕と、を備え、前記支持腕は、前記第１励振電極と電気的に接続され、接着部材を介して容器に接着される第１支持電極を含み、前記第２方向に沿った前記連結腕の幅は、前記第１方向及び前記第２方向に交差する第３方向に沿った前記励振部の厚さの４倍以上であり、且つ、前記第２方向に沿った前記支持腕の前記連結腕側の端部から前記第１支持電極までの長さ以下である。
【０００６】
振動デバイスは、振動片と、前記振動片を収容する容器と、前記振動片と前記容器とを接着する接着部材と、を備え、前記振動片は、第１主面、前記第１主面と表裏関係にある第２主面、ならびに前記第１主面に設けられた第１励振電極及び前記第２主面に設けられた第２励振電極によって挟まれて厚み滑り振動する励振部、を含み、平面視で矩形の振動部と、前記振動部のコーナー部から第１方向に延出する連結腕と、一方の端部側の側面が前記連結腕に接続され、前記第１方向と交差する第２方向に延在する支持腕と、を備え、前記支持腕は、前記第１励振電極と電気的に接続され、前記接着部材を介して前記容器に接着される第１支持電極を含み、前記第２方向に沿った前記連結腕の幅は、前記第１方向及び前記第２方向に交差する第３方向に沿った前記励振部の厚さの４倍以上であり、且つ、前記第２方向に沿った前記支持腕の前記連結腕側の端部から前記第１支持電極までの長さ以下である。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
第１実施形態に係る振動デバイスの構成を示す平面図。
図１中のＡ－Ａ線断面図。
図１中のＢ－Ｂ線断面図。
連結腕の幅とスプリアスＱ値との関係を示す図。
連結腕の幅と支持電極の位置関係とを示す平面図。
第２実施形態に係る振動デバイスの構成を示す平面図。
第３実施形態に係る振動デバイスの構成を示す平面図。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
１．第１実施形態
先ず、第１実施形態に係る振動デバイス１について、図１～図３を参照して説明する。本実施形態の振動デバイス１では、振動片２０としてＡＴカットの水晶振動片を一例として挙げ説明する。
【０００９】
尚、図１において、振動デバイス１の内部構成を説明する便宜上、リッド１３を取り外した状態を図示している。また、振動片２０としてのＡＴカット水晶振動片は、ＸＺ面の主面がＸ、Ｙ、Ｚの結晶軸のＸ軸を中心としてＺ軸からＹ軸方向に約３５度１５分傾斜されている。以下の説明では、ＡＴカット水晶振動片の軸方向を基準とし、傾斜された新たな軸をＹ’軸及びＺ’軸として用い、図４を除く各図には、説明の便宜上、互いに直交するＸ軸、Ｙ’軸、及びＺ’軸を図示している。また、Ｘ軸に沿った方向を「Ｘ方向」、振動片２０の厚み方向であるＹ’軸に沿った方向を「Ｙ’方向」、Ｚ’軸に沿った方向を「Ｚ’方向」と言う。また、各軸の矢印側を「プラス側」、矢印と反対側を「マイナス側」とも言う。また、Ｙ’方向のプラス側を「上」、Ｙ’方向のマイナス側を「下」とも言う。また、本明細書では、第１方向がＸ方向又はプラスＸ方向であり、第１方向と交差する第２方向がＺ’方向又はマイナスＺ’方向であり、第１方向及び第２方向と交差する第３方向がＹ’方向又はプラスＹ’方向である。
【００１０】
本実施形態の振動デバイス１は、図１、図２、及び図３に示すように、振動片２０と、振動片２０を収容する容器１０と、振動片２０と容器１０とを接着する接着部材５０と、を有する。
（【００１１】以降は省略されています）

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