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公開番号2024085494
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-06-27
出願番号2022200021
出願日2022-12-15
発明の名称振動デバイス
出願人セイコーエプソン株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類H03H 9/10 20060101AFI20240620BHJP(基本電子回路)
要約【課題】延伸電極が小さくなると、導電性接着剤を介した接合では導通状態が不安定になりやすい。
【解決手段】圧電基板を収容するケースの内壁は、接続電極が位置する角部で交差する第1内壁と第2内壁とを含み、圧電基板は、ケースの底面に対向する第1面と、第1面の反対の面である第2面と、第1内壁に対向する第1側面と、第2内壁に対向する第2側面とを含み、圧電基板に形成された延伸電極は、第1側面に重なる第1側面電極と、第2側面に重なる第2側面電極とを含み、導電性接着剤が、ケースに形成された接続電極から圧電基板の第1側面電極及び第2側面電極に達しており、さらに第1側面電極と第1内壁との間を接合し、且つ第2側面電極と第2内壁との間を接合する、振動デバイス。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
圧電基板と、
前記圧電基板に形成された励振電極と、
前記圧電基板に形成され、前記励振電極から延伸する延伸電極と、
前記圧電基板を収容するケースと、
前記ケースの内部に形成された接続電極と、
前記延伸電極と前記接続電極とを接合する導電性接着剤と、を備え、
前記ケースは、底面と、前記底面から突出し、且つ前記底面を枠状に囲む内壁と、を有し、
前記底面を平面視したとき、前記内壁によって囲まれる領域が四辺形であり、前記四辺形の角部に前記接続電極が位置し、
前記内壁は、前記角部で互いにつながる第１内壁と第２内壁とを含み、
前記圧電基板は、前記底面に対向する第１面と、前記第１面の反対の面である第２面と、前記第１面及び前記第２面をつなぐ側面と、を有し、
前記側面は、前記第１内壁に対向する第１側面と、前記第２内壁に対向する第２側面と、を含み、
前記延伸電極は、前記第１面で前記接続電極に対向し、且つ前記第１面から前記第１側面と前記第２側面とに延伸し、
前記延伸電極のうち、前記第１側面に重なる部分を第１側面電極とし、前記第２側面に重なる部分を第２側面電極とし、
前記導電性接着剤が、前記接続電極から前記第１側面電極及び前記第２側面電極に達しており、さらに前記第１側面電極と前記第１内壁との間を接合し、且つ前記第２側面電極と前記第２内壁との間を接合する、
振動デバイス。
続きを表示（約 610 文字）【請求項２】
前記第１側面及び前記第２側面は、それぞれ、前記第１面に対して傾斜する第１傾斜面及び第２傾斜面を含み、
前記第１傾斜面は、前記第１内壁に向かって前記第１面からの垂直距離が短くなる方向に傾斜し、
前記第２傾斜面は、前記第２内壁に向かって前記第１面からの垂直距離が短くなる方向に傾斜し、
前記導電性接着剤が、前記第１傾斜面に位置する前記第１側面電極と、前記第２傾斜面に位置する前記第２側面電極とに達する、
請求項１に記載の振動デバイス。
【請求項３】
前記延伸電極は、前記第１側面電極及び前記第２側面電極のそれぞれから前記第２面に延伸し、
前記導電性接着剤が、前記第１側面電極及び前記第２側面電極のそれぞれから、前記第２面に位置する前記延伸電極に達する、
請求項１又は２に記載の振動デバイス。
【請求項４】
前記内壁は、前記底面から突出する第１部分と、前記第１部分の前記底面側とは反対側に位置する第２部分とを含み、
前記ケースを前記底面に直交する面で切断した断面を見たとき、前記底面に平行な距離において、前記第２部分と前記圧電基板との間の距離が、前記第１部分と前記圧電基板との間の距離よりも短く、
前記第２部分は、前記接続電極の前記底面側とは反対側に位置する、
請求項１に記載の振動デバイス。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、振動デバイスに関する。
続きを表示（約 2,400 文字）【背景技術】
【０００２】
従来から、パッケージ内に振動素子が実装された振動デバイスが知られている。特許文献１は、パッケージのキャビティー内に振動素子を導電性接着剤によって実装する技術を開示する。振動素子は、水晶基板に形成された励振電極と、励振電極から延伸するリード電極とを有する。振動素子のリード電極とパッケージ底面のパッドとが導電性接着剤によって互いに接合される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０００－２４４０９０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
振動デバイスの小型化の要望によって、振動素子の小型化、ひいてはリード電極の小型化も要求される。リード電極が小さくなると、導電性接着剤を介した接合では導通状態が不安定になりやすい。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
振動デバイスは、圧電基板と、前記圧電基板に形成された励振電極と、前記圧電基板に形成され、前記励振電極から延伸する延伸電極と、前記圧電基板を収容するケースと、前記ケースの内部に形成された接続電極と、前記延伸電極と前記接続電極とを接合する導電性接着剤と、を備え、前記ケースは、底面と、前記底面から突出し、且つ前記底面を枠状に囲む内壁と、を有し、前記底面を平面視したとき、前記内壁によって囲まれる領域が四辺形であり、前記四辺形の角部に前記接続電極が位置し、前記内壁は、前記角部で互いにつながる第１内壁と第２内壁とを含み、前記圧電基板は、前記底面に対向する第１面と、前記第１面の反対の面である第２面と、前記第１面及び前記第２面をつなぐ側面と、を有し、前記側面は、前記第１内壁に対向する第１側面と、前記第２内壁に対向する第２側面と、を含み、前記延伸電極は、前記第１面で前記接続電極に対向し、且つ前記第１面から前記第１側面と前記第２側面とに延伸し、前記延伸電極のうち、前記第１側面に重なる部分を第１側面電極とし、前記第２側面に重なる部分を第２側面電極とし、前記導電性接着剤が、前記接続電極から前記第１側面電極及び前記第２側面電極に達しており、さらに前記第１側面電極と前記第１内壁との間を接合し、且つ前記第２側面電極と前記第２内壁との間を接合する。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
振動デバイスを示す斜視図。
図１中のＡ－Ａ線における断面図。
ケースを示す平面図。
ケースとケースに収容された振動素子と導電性接着剤とを示す平面図。
振動素子を示す底面図。
図４中のＢ－Ｂ線における断面図。
図６中のＣ－Ｃ線における断面図。
図４中のＤ－Ｄ線における断面図。
実施形態２の振動デバイスを図１中のＡ－Ａ線で切断したときの断面図。
図９中のＥ－Ｅ線における断面図。
実施形態３の振動デバイスを図１中のＡ－Ａ線で切断したときの断面図。
実施形態３の振動デバイスを図４中のＤ－Ｄ線で切断したときの断面図。
図１１中のＦ－Ｆ線における断面図。
実施形態４の振動デバイスを図１中のＡ－Ａ線で切断したときの断面図。
図１４中のＧ－Ｇ線における断面図。
実施形態５の振動デバイスを図１中のＡ－Ａ線で切断したときの断面図。
図１６中のＨ－Ｈ線における断面図。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
実施形態の振動デバイス１は、図１に示すように、ケース２と、リッド３とを有する。リッド３は、ケース２に重ねられている。図１には、Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸が付されている。Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸は、相互に直交する座標軸である。図１以降に示す図についても必要に応じてＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸が付される。この場合、各図におけるＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸は、図１におけるＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸に対応する。図１は、Ｘ軸とＹ軸とによって規定されるＸＹ平面に振動デバイス１を載置した状態を示す。さらに、図１では、ケース２の辺２Ａの延在方向がＸ軸に沿っている。
【０００８】
以下において、振動デバイス１の構成部品やユニットを示す図や説明にＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸が表記されている場合には、その構成部品やユニットを振動デバイス１に組み込んだ状態でのＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸を意味する。Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸には、それぞれ、矢印が付される。Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸のそれぞれにおいて、矢印の向きが＋（正）の方向を示し、矢印の向きとは反対の向きが－（負）の方向を示す。Ｚ軸は、ＸＹ平面に直交する軸である。振動デバイス１を＋Ｙ方向に見たときの図が正面図である。
【０００９】
図１中のＡ－Ａ線における断面図である図２に示すように、ケース２に凹状のキャビティー４が形成されている。ケース２は、底面５と、底面５から突出する内壁６とを有する。キャビティー４は、リッド３によって塞がれる。キャビティー４は、底面５と、内壁６と、リッド３とによって区画される。
【００１０】
振動デバイス１は、振動素子１１と、導電性接着剤１２とを有する。振動素子１１は、圧電基板１３と、第１励振電極１５と、第２励振電極１６とを含む。振動素子１１及び導電性接着剤１２は、キャビティー４に収容される。圧電基板１３は、第１面１７と、第２面１８と、側面１９とを有する。第１面１７は、キャビティー４の底面５に対向する。第２面１８は、第１面１７の反対の面であり、リッド３に対向する。側面１９は、第１面１７と第２面１８とをつなぐ面である。
（【００１１】以降は省略されています）

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