特許ウォッチ

公開番号2024066767
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-05-16
出願番号2022176435
出願日2022-11-02
発明の名称測定装置、加工装置及び測定方法
出願人株式会社東京精密
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/301 20060101AFI20240509BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ウェーハを個々のチップに切断するダイシング加工が施された後のウェーハ上のチップの形状又は寸法を測定することができる測定装置、加工装置及び測定方法を提供する。
【解決手段】ウェーハを個々のチップに切断するダイシング加工が施された後のウェーハ上のチップの形状又は寸法を測定する測定装置は、ウェーハ上のチップの少なくとも1箇所の角部を含む範囲を測定する測定部と、測定部が測定した測定結果に基づき、チップの形状又は寸法に関するチップ情報を算出する算出部と、算出部が算出したチップ情報を出力する出力部と、を備える。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
ウェーハを個々のチップに切断するダイシング加工が施された後の前記ウェーハ上のチップの形状又は寸法を測定する測定装置であって、
前記ウェーハ上のチップの少なくとも１箇所の角部を含む範囲を測定する測定部と、
前記測定部が測定した測定結果に基づき、前記チップの形状又は寸法に関するチップ情報を算出する算出部と、
前記算出部が算出した前記チップ情報を出力する出力部と、
を備える測定装置。
続きを表示（約 720 文字）【請求項２】
前記測定部は、前記チップの複数の角部のうち、１つの角部を含む範囲と、前記１つの角部の対角にある他の角部を含む範囲と、をそれぞれ個別に測定し、
前記算出部は、前記測定部がそれぞれ個別に測定した測定結果に基づき、前記チップ情報を算出する、
請求項１に記載に測定装置。
【請求項３】
前記測定部は、前記ダイシング加工により互いに交差する溝の交差部で対角に位置する２つのチップのそれぞれの角部を含む範囲を一括して測定し、
前記算出部は、前記測定部が一括して測定した測定結果に基づき、前記チップ情報を算出する、
請求項１に記載の測定装置。
【請求項４】
前記測定部は、走査型白色干渉計を含み、前記チップの少なくとも１箇所の角部における３次元形状データを取得可能である、
請求項１から３のいずれか１項に記載の測定装置。
【請求項５】
請求項１から３のいずれか１項に記載の測定装置を備える加工装置であって、
ウェーハを個々のチップに切断するダイシング加工部と、
前記ダイシング加工部を制御する加工制御部と、
を備える加工装置。
【請求項６】
ウェーハを個々のチップに切断するダイシング加工が施された後の前記ウェーハ上のチップの形状又は寸法を測定する測定方法であって、
前記ウェーハ上のチップの少なくとも１箇所の角部を含む範囲を測定し、
測定された測定結果に基づき、前記チップの形状は寸法又に関するチップ情報を算出し、
算出された前記チップ情報を出力する、
測定方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、測定装置、加工装置及び測定方法に関し、特に、ウェーハをダイシングした後のチップの形状又は寸法を測定する測定装置、その測定装置を備える加工装置及び測定方法に関する。
続きを表示（約 1,000 文字）【背景技術】
【０００２】
加工装置によりウェーハをダイシングした後、形成された加工溝の３次元画像から、溝の形状、寸法又は位置のデータを取得し、加工状態を検証する加工装置が知られている（たとえば、特許文献１等）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１５－８５３９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、加工装置の使用者にとって、ウェーハをダイシングした後の溝の形状、寸法及び位置のデータから、加工後のチップの形状又は寸法を把握することは難しかった。
【０００５】
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、ウェーハをダイシングした後のウェーハ上のチップの形状又は寸法を測定できる測定装置、加工装置及び測定方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
第１態様の測定装置は、ウェーハを個々のチップに切断するダイシング加工が施された後のウェーハ上のチップの形状又は寸法を測定する測定装置であって、ウェーハ上のチップの少なくとも１箇所の角部を含む範囲を測定する測定部と、測定部が測定した測定結果に基づき、チップの形状又は寸法に関するチップ情報を算出する算出部と、算出部が算出したチップ情報を出力する出力部と、を備える。
【０００７】
第２態様の測定装置において、測定部は、チップの複数の角部のうち、１つの角部を含む範囲と、１つの角部の対角にある他の角部を含む範囲と、をそれぞれ個別に測定し、算出部は、測定部がそれぞれ個別に測定した測定結果に基づき、チップ情報を算出する。
【０００８】
第３態様の測定装置において、測定部は、ダイシング加工により互いに交差する溝の交差部で対角に位置する２つのチップのそれぞれの角部を含む範囲を一括して測定し、算出部は、測定部が一括して測定した測定結果に基づき、チップ情報を算出する。
【０００９】
第４態様の測定装置において、測定部は、走査型白色干渉計を含み、チップの少なくとも１箇所の角部における３次元形状データを取得可能である。
【００１０】
第５態様の上記測定装置を備える加工装置は、ウェーハを個々のチップに切断するダイシング加工部と、ダイシング加工部を制御する加工制御部と、を備える。
（【００１１】以降は省略されています）

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