特許ウォッチ

公開番号2024055339
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-18
出願番号2022162178
出願日2022-10-07
発明の名称駆動ステージ
出願人セイコーエプソン株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類H02N 2/12 20060101AFI20240411BHJP(電力の発電,変換,配電)
要約【課題】振動子への負荷バランスが良く、故障が発生し難い駆動ステージを提供する。
【解決手段】駆動ステージ10は、駆動面16を有するベース部11と、押圧されて駆動面16に駆動力を伝達する2つの振動子20a,20bを有し、ベース部11に対して相対移動するテーブル部12と、テーブル部12の移動方向を案内する第1案内部13と第2案内部14と、を備え、第1案内部13と第2案内部14との間に2つの振動子20a,20bが配置され、2つの振動子20a,20bが押圧される方向が、第1案内部13と第2案内部14とが並ぶ方向で互いに逆である。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
駆動面を有するベース部と、
押圧されて前記駆動面に駆動力を伝達する２つの振動子を有し、前記ベース部に対して相対移動するテーブル部と、
前記テーブル部の移動方向を案内する第１案内部と第２案内部と、を備え、
前記第１案内部と前記第２案内部との間に前記２つの振動子が配置され、
前記２つの振動子が押圧される方向が、前記第１案内部と前記第２案内部とが並ぶ方向で互いに逆である、
駆動ステージ。
続きを表示（約 200 文字）【請求項２】
前記２つの振動子が押圧される方向が、互いに向かい合う方向である、
請求項１に記載の駆動ステージ。
【請求項３】
前記２つの振動子が押圧される方向が、互いに背中合わせの方向である、
請求項１に記載の駆動ステージ。
【請求項４】
前記第１案内部と前記第２案内部とは、円環状に繋がっている、
請求項１に記載の駆動ステージ。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、駆動ステージに関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
例えば、特許文献１に固定部に設けられた圧電素子により振動する第１の振動子及び第２の振動子を摩擦部材が設けられた可動部に押圧し、案内部材に沿った方向に可動部を動かす振動型モーターが開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１９－９７３４６号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかしながら、特許文献１に記載の振動型モーターは、案内部材を挟み第１の振動子と第２の振動子とが配置され、摩擦部材を押圧する方向が同じ方向であるため、第１の振動子と第２の振動子との負荷バランスが悪くなった場合、故障する虞があった。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
駆動ステージは、駆動面を有するベース部と、押圧されて前記駆動面に駆動力を伝達する２つの振動子を有し、前記ベース部に対して相対移動するテーブル部と、前記テーブル部の移動方向を案内する第１案内部と第２案内部と、を備え、前記第１案内部と前記第２案内部との間に前記２つの振動子が配置され、前記２つの振動子が押圧される方向が、前記第１案内部と前記第２案内部とが並ぶ方向で互いに逆である。
【図面の簡単な説明】
【０００６】
第１実施形態に係る駆動ステージの全体構成を示す斜視図。
第１実施形態に係る駆動ステージの構成を示す平面図。
図２中のＡ１－Ａ１線断面図。
圧電モーターの構成を示す斜視図。
振動子の構成を示す平面図。
第２実施形態に係る駆動ステージの構成を示す平面図。
図６中のＡ２－Ａ２線断面図。
第３実施形態に係る駆動ステージの構成を示す平面図。
図８中のＡ３－Ａ３線断面図。
【発明を実施するための形態】
【０００７】
１．第１実施形態
先ず、第１実施形態に係る駆動ステージ１０について、図１～図３を参照して説明する。
尚、説明の便宜上、以降の図４及び図５を除く各図には、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸を図示している。また、Ｘ軸に沿った方向を「Ｘ方向」、Ｙ軸に沿った方向を「Ｙ方向」、Ｚ軸に沿った方向を「Ｚ方向」と言う。また、各軸の矢印側を「プラス側」、矢印と反対側を「マイナス側」とも言う。また、Ｚ方向プラス側を「上」、Ｚ方向マイナス側を「下」とも言う。
【０００８】
本実施形態の駆動ステージ１０は、図１～図３に示すように、駆動面１６を有するベース部１１と、押圧されて駆動面１６に駆動力を伝達する２つの振動子２０ａ，２０ｂを有し、ベース部１１に対して相対移動するテーブル部１２と、を備えている。
【０００９】
ベース部１１は、テーブル部１２側である上面に、テーブル部１２をテーブル部１２の移動方向である矢印Ｌ方向に案内する第１案内部１３及び第２案内部１４と、テーブル部１２に設けられた第１圧電モーター１８及び第２圧電モーター１９の突起部３０が接触する駆動面１６を有する受圧部１７と、を備えている。
【００１０】
第１案内部１３及び第２案内部１４は、矢印Ｌ方向であるＸ方向に延在し、Ｙ方向に並んで配置されている。第１案内部１３及び第２案内部１４の側面には、テーブル部１２を正確に移動方向に移動させるためのガイドレール１５が設けられている。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許