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公開番号2024045817
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-04-03
出願番号2022150819
出願日2022-09-22
発明の名称光学装置及び検査装置
出願人レーザーテック株式会社
代理人個人,個人
主分類G02B 5/26 20060101AFI20240327BHJP(光学)
要約【課題】EUV光のモニタリング機能を向上させることができる光学装置及び検査装置を提供する。
【解決手段】本開示に係る光学装置1は、第1面11及び第1面11の反対側の第2面12を有し、第1面11側に配置されたミラー13及び第2面12側に配置されたシンチレータ14を含む光学部材10と、EUV光の光路L1へ光学部材10を挿入するとともに、EUV光の光路L1から光学部材10を外す駆動部20と、を備え、光学部材10は、第1面11から入射したEUV光の一部をセンサ50に対してミラー13で反射するとともに、第1面11から入射したEUV光の他の一部をシンチレータ14まで透過させ、第2面12から可視光を含む光を放射させる。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
第１面及び前記第１面の反対側の第２面を有し、第１面側に配置されたミラー及び第２面側に配置されたシンチレータを含む光学部材と、
ＥＵＶ光の光路へ前記光学部材を挿入するとともに、前記ＥＵＶ光の前記光路から前記光学部材を外す駆動部と、
を備え、
前記光学部材は、前記第１面から入射した前記ＥＵＶ光の一部をセンサに対して前記ミラーで反射するとともに、前記第１面から入射した前記ＥＵＶ光の他の一部を前記シンチレータまで透過させ、前記第２面から可視光を含む光を放射させる、
光学装置。
続きを表示（約 300 文字）【請求項２】
前記ミラーは、多層膜を含み、
前記多層膜は、シンチレータ上に積層された、
請求項１に記載の光学装置。
【請求項３】
前記ミラーは、モリブデンとシリコンとが交互に積層された多層膜を含み、
前記シンチレータは、酸化亜鉛を含む、
請求項１または２に記載の光学装置。
【請求項４】
前記多層膜は、前記モリブデンと前記シリコンとが５対以下に積層された、
請求項３に記載の光学装置。
【請求項５】
請求項１または２に記載の前記光学装置を備え、
前記ＥＵＶ光を用いた露光用のマスクを検査する検査装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、光学装置及び検査装置に関する。
続きを表示（約 1,000 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１～３には、スズ（Ｓｎ）等のターゲットに、ＩＲ（ＩｎｆｒａＲｅｄ）レーザ光を照射することにより、ターゲットを励起させ、発生したプラズマからＥＵＶ光を発光させる光源が記載されている。光源から取り出したＥＵＶ光は、半導体基板の検査装置及び露光装置等に利用される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－００１９２４号公報
特開２０１４－０８６５２３号公報
特開２０１１－００３８８７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
ＥＵＶ光を検査及び露光等に用いるためには、ＥＵＶ光をモニタする必要がある。ＥＵＶ光の安定化のために、例えば、ＥＵＶ光のパワー、プラズマ分布、ミラーの反射率等をモニタする機能を向上させることが所望されている。
【０００５】
本開示の目的は、このような問題を解決するためになされたものであり、ＥＵＶ光のモニタリング機能を向上させることができる光学装置及び検査装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示に係る光学装置は、第１面及び前記第１面の反対側の第２面を有し、第１面側に配置されたミラー及び第２面側に配置されたシンチレータを含む光学部材と、ＥＵＶ光の光路へ前記光学部材を挿入するとともに、前記ＥＵＶ光の前記光路から前記光学部材を外す駆動部と、を備え、前記光学部材は、前記第１面から入射した前記ＥＵＶ光の一部をセンサに対して前記ミラーで反射するとともに、前記第１面から入射した前記ＥＵＶ光の他の一部を前記シンチレータまで透過させ、前記第２面から可視光を含む光を放射させる。
【０００７】
上記光学装置では、前記ミラーは、多層膜を含み、前記多層膜は、シンチレータ上に積層されてもよい。
【０００８】
上記光学装置では、前記ミラーは、モリブデンとシリコンとが交互に積層された多層膜を含み、前記シンチレータは、酸化亜鉛を含んでもよい。
【０００９】
上記光学装置では、前記多層膜は、前記モリブデンと前記シリコンとが５対以下に積層されてもよい。
【００１０】
本開示に係る検査装置は、上記記載の光学装置を備え、前記ＥＵＶ光を用いた露光用のマスクを検査する。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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