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公開番号2024022413
公報種別公開特許公報(A)
公開日2024-02-16
出願番号2022143333
出願日2022-09-08
発明の名称検査装置及び検査方法
出願人株式会社レイマック
代理人個人
主分類G01N 21/84 20060101AFI20240208BHJP(測定;試験)
要約【課題】正反射光によって物品を明視野観察で撮像し、しかも凹み、割れ又は隆起などを見つけ易い検査装置を提供する
【解決手段】この検査装置1は、互いに隙間を有して所定の配列パターンで基板20に搭載された複数個の光源21が設けられ、前記配列パターンに対応して複数個の光源21に対応する光パターン明部分と複数個の光源21間の前記隙間に対応する光パターン暗部分を有する光パターンPを放射して物品Mに照射する照明器2と、物品Mからの正反射光パターン明部分と正反射光パターン暗部分を有する正反射光パターンQを撮像する撮像器3と、撮像器3が撮像した正反射光パターンQの画像QIを処理する画像処理器4と、を備える。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
互いに隙間を有して所定の配列パターンで基板に搭載された複数個の光源が設けられ、前記配列パターンに対応して前記複数個の光源に対応する光パターン明部分と前記複数個の光源間の前記隙間に対応する光パターン暗部分を有する光パターンを放射して物品に照射する照明器と、
前記物品からの正反射光パターン明部分と正反射光パターン暗部分を有する正反射光パターンを撮像する撮像器と、
該撮像器が撮像した前記正反射光パターンの画像を処理する画像処理器と、
を備える検査装置。
続きを表示（約 1,100 文字）【請求項２】
請求項１に記載の検査装置において、
前記照明器は、前記光パターンを前記物品の表面に垂直になるように照射する同軸落射照明型である検査装置。
【請求項３】
請求項１に記載の検査装置において、
前記照明器は、前記光パターンを前記物品の表面に所定の入射角で入射されるように照射し、前記複数個の光源の前記配列パターンが直線状のバー照明型である検査装置。
【請求項４】
請求項１～３のいずれか１項に記載の検査装置において、
前記複数個の光源は、互いに波長が異なる第１の光と第２の光を発光可能であり、
前記照明器は、波長が長い方の前記第１の光に対して拡散率が低く波長が短い方の前記第２の光に対して拡散率が高い拡散板が設けられ、前記第１の光の前記光パターンを前記拡散板を通過させて前記物品に照射し、前記第２の光を前記拡散板により拡散させて前記物品に照射する検査装置。
【請求項５】
請求項１～３のいずれか１項に記載の検査装置において、
前記複数個の光源は、互いに波長が異なる第１の光と第２の光のうち波長が長い方の前記第１の光を発光可能であり、
前記照明器は、波長が短い方の前記第２の光を発光可能な他の複数個の光源が設けられ、更に、前記第１の光に対して拡散率が低く前記第２の光に対して拡散率が高い拡散板が設けられ、前記第１の光の前記光パターンを前記拡散板を通過させて前記物品に照射し、前記第２の光を前記拡散板により拡散させて前記物品に照射する検査装置。
【請求項６】
請求項１又は２に記載の検査装置において、
前記複数個の光源は、互いに波長が異なる第１の光と第２の光のうち前記第１の光を発光可能であり、
前記照明器は、前記第２の光を発光可能な他の複数個の光源が設けられ、更に、ハーフミラーと前記第２の光に対して拡散率が高い拡散板が設けられ、前記第１の光の前記光パターンを前記ハーフミラーにより反射又は前記ハーフミラーを透過させて前記物品に照射し、前記第２の光を前記拡散板により拡散させ、前記ハーフミラーを透過又は前記ハーフミラーにより反射させて前記物品に照射する検査装置。
【請求項７】
複数個の光源に対応する光パターン明部分と前記複数個の光源間の隙間に対応する光パターン暗部分を有する光パターンを放射して物品に照射し、
前記物品からの正反射光パターン明部分と正反射光パターン暗部分を有する正反射光パターンを撮像し、
撮像した前記正反射光パターンの画像を処理し該正反射光パターンの歪みを検査する検査方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、物品に光を照射しそれを撮像器で撮像することにより物品を検査する検査装置及び検査方法に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
従来から、工場で生産された物品（製品）について、物品に光を照射しそれを撮像器（イメージセンサ）で撮像することにより検査を行う検査装置が用いられてきた。検査装置は、物品の種類及び異常の種類（凹み（欠陥など）、割れ、隆起、表面のキズ、表面の汚れなど）に対応して様々なものが有る。その中には、一定の方向から光を物品に照射し、その物品からの正反射光が撮像器に入射することによって物品を明視野観察で撮像する検査装置がある。
【０００３】
例えば、特許文献１及び特許文献２には、光軸を撮像器の光軸と一致させるようにした光を物品に照射し、その物品からの正反射光を撮像器に入射させる同軸落射照明型の照明器を備えた検査装置が開示されている。なお、特許文献１及び特許文献２の検査装置では他の型の照明器も併用されているが、一般的に、同軸落射照明型の照明器は単一の照明器として用いることも可能である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
特開２００６－１５３５８０号公報
特開２０２０－２０４４７０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
このような正反射光によって物品を明視野観察で撮像する検査装置は、物品の表面がはっきりと見えて、表面のキズや表面の汚れを見つけ易い。しかし、凹み（欠陥など）、割れ又は隆起などを見つけにくい場合が少なくない。
【０００６】
本発明は、係る事由に鑑みてなされたものであり、その目的は、正反射光によって物品を明視野観察で撮像し、しかも凹み、割れ又は隆起などを見つけ易い検査装置及び検査方法を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
上記目的を達成するために、請求項１に記載の検査装置は、互いに隙間を有して所定の配列パターンで基板に搭載された複数個の光源が設けられ、前記配列パターンに対応して前記複数個の光源に対応する光パターン明部分と前記複数個の光源間の前記隙間に対応する光パターン暗部分を有する光パターンを放射して物品に照射する照明器と、前記物品からの正反射光パターン明部分と正反射光パターン暗部分を有する正反射光パターンを撮像する撮像器と、該撮像器が撮像した前記正反射光パターンの画像を処理する画像処理器と、を備える。
【０００８】
請求項２に記載の検査装置は、請求項１に記載の検査装置において、前記照明器は、前記光パターンを前記物品の表面に垂直になるように照射する同軸落射照明型である。
【０００９】
請求項３に記載の検査装置は、請求項１に記載の検査装置において、前記照明器は、前記光パターンを前記物品の表面に所定の入射角で入射されるように照射し、前記複数個の光源の前記配列パターンが直線状のバー照明型である。
【００１０】
請求項４に記載の検査装置は、請求項１～３のいずれか１項に記載の検査装置において、前記複数個の光源は、互いに波長が異なる第１の光と第２の光を発光可能であり、前記照明器は、波長が長い方の前記第１の光に対して拡散率が低く波長が短い方の前記第２の光に対して拡散率が高い拡散板が設けられ、前記第１の光の前記光パターンを前記拡散板を通過させて前記物品に照射し、前記第２の光を前記拡散板により拡散させて前記物品に照射する。
（【００１１】以降は省略されています）

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