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公開番号2025179020
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-12-09
出願番号2025077300
出願日2025-05-07
発明の名称表示パネルの製造装置
出願人三星ディスプレイ株式會社,Samsung Display Co.,Ltd.
代理人個人
主分類G09F 9/00 20060101AFI20251202BHJP(教育;暗号方法;表示;広告;シール)
要約【課題】表示パネルの製造装置において、マイクロLEDにのみ正確にレーザビームを印加可能とし、加圧力の均一度を上昇可能とする。
【解決手段】表示パネルの製造装置に関し、一実施形態による表示パネルの製造装置は、表示基板が安着する支え部、レーザビームの透過領域に対応する開口部を定義するマスクおよび、前記マスクを加圧する加圧部材を含む加圧部、前記支え部の前面に配置され、前記マスクを介して前記表示基板にレーザ光を照射するレーザ照射部を含み、前記マスクはレーザ光を透光させるベース層と、前記ベース層上に配置され、前記開口部を含む遮光パターン層を含み得る。
【選択図】図7
特許請求の範囲【請求項１】
表示基板が安着する支え部；
レーザビームの透過領域に対応する開口部を定義するマスクおよび、前記マスクを加圧する加圧部材を含む加圧部；
前記支え部の前面に配置され、前記マスクを介して前記表示基板にレーザ光を照射するレーザ照射部を含み、
前記マスクはレーザ光を透光させるベース層と、前記ベース層上に配置され、前記開口部を含む遮光パターン層を含む、表示パネルの製造装置。
続きを表示（約 820 文字）【請求項２】
前記加圧部材は前記マスク上に配置され、互いに厚さ方向に重なる透光部材と弾性部材を含み、前記透光部材と前記弾性部材の間に密閉空間を形成し、前記密閉空間のガス圧を調節するガス圧調整器をさらに含む、請求項１に記載の表示パネルの製造装置。
【請求項３】
前記弾性部材は前記マスク上に配置され、前記密閉空間のガス圧が高くなると前記弾性部材が膨張して前記マスクを加圧する、請求項２に記載の表示パネルの製造装置。
【請求項４】
前記加圧部材は前記ガス圧調整器と前記密閉空間の間に連結されたガス導管をさらに含む、請求項２に記載の表示パネルの製造装置。
【請求項５】
前記マスクはフォトマスクであり、
前記フォトマスクは、
透明または半透明の平面プレート状のベース層；および
前記ベース層に配置され、遮光性を持つ遮光パターンを有する遮光パターン層を含む、請求項１に記載の表示パネルの製造装置。
【請求項６】
前記フォトマスクは前記表示基板と対向するように配置される、請求項５に記載の表示パネルの製造装置。
【請求項７】
前記フォトマスクは前記レーザ照射部と対向するように配置される、請求項５に記載の表示パネルの製造装置。
【請求項８】
前記遮光パターンは前記表示基板の発光素子が配列された表示領域に対応する領域に形成された開口部を含む、請求項５に記載の表示パネルの製造装置。
【請求項９】
前記遮光パターンは前記表示基板に配列された発光素子と対応する領域に形成された開口部を含む、請求項５に記載の表示パネルの製造装置。
【請求項１０】
前記マスクの外側の一面に結着されて前記マスクを支持する載置部材を含む、請求項２に記載の表示パネルの製造装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は表示パネルの製造装置に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
マイクロＬＥＤ（ＭｉｃｒｏＬＥＤ）はバックライトなしで自ら光を出す超小型無機発光物質である。具体的には、マイクロＬＥＤは有機発光ダイオードチップと比較して長さが１０分の１、面積は１００分の１程度で小さい。一例として、マイクロＬＥＤは横、縦、高さが約１０μｍ～１００μｍの範囲の超小型ＬＥＤを指す。
【０００３】
マイクロＬＥＤはエピ工程などによりウェハなどの成長基板上において、多数のチップ形態で成長させて製造することができる。このように製造されたマイクロＬＥＤは、通常中継基板に移送された後、ターゲット基板に転写されることによりディスプレイモジュールが用いられる。
【０００４】
マイクロＬＥＤの転写工程は、中継基板の背面（中継基板の前面には複数のマイクロＬＥＤが配列される）にレーザビームを照射して中継基板のマイクロＬＥＤをターゲット基板に転写するレーザ転写方式を用いることができる。
【０００５】
しかし、レーザ転写方式は、中継基板の背面に照射されるレーザビームがマイクロＬＥＤの間の領域と中継基板の外側領域にも通過することによって、マイクロＬＥＤ以外の領域のターゲット基板にも印加されるという問題があった。ターゲット基板にレーザビームが印加されると、ターゲット基板の温度が上昇してターゲット基板がダメージを受けるという問題が生じる。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００６】
特許第6691576号明細書
韓国公開特許第2022-0097716号公報
米国特許出願公開第2021-0398938号明細書
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００７】
本発明が解決しようとする課題は、マイクロＬＥＤ以外の周辺領域に照射されるレーザビームを反射させてマイクロＬＥＤにのみ正確にレーザビームを印加可能とし、レーザ透光部材の加圧により生成される加圧力の均一度を上昇可能とする表示パネルの製造装置を提供することにある。
【０００８】
本発明の課題は以上で言及した課題に制限されず、言及されていないまた他の技術的課題は以下の記載から当業者に明確に理解されるものである。
【課題を解決するための手段】
【０００９】
前記課題を解決するための一実施形態による表示パネルの製造装置は、表示基板が安着する支え部、レーザビームの透過領域に対応する開口部を定義するマスクおよび、前記マスクを加圧する加圧部材を含む加圧部、前記支え部の前面に配置され、前記マスクを介して前記表示基板にレーザ光を照射するレーザ照射部を含み、前記マスクはレーザ光を透光させるベース層と、前記ベース層上に配置され、前記開口部を含む遮光パターン層を含む。
【００１０】
前記加圧部材は前記マスク上に配置され、互いに厚さ方向に重なる透光部材と弾性部材を含み、前記透光部材と前記弾性部材の間に密閉空間を形成し、前記密閉空間のガス圧を調節するガス圧調整器をさらに含み得る。
（【００１１】以降は省略されています）

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