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公開番号2025169241
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-11-12
出願番号2025113429,2023554352
出願日2025-07-04,2022-03-08
発明の名称ガス保管計量分配コンテナおよび当該ガス保管計量分配コンテナからの計量分配の方法
出願人インテグリス・インコーポレーテッド
代理人園田・小林弁理士法人
主分類F17C 13/04 20060101AFI20251105BHJP(ガスまたは液体の貯蔵または分配)
要約【課題】本開示は、保管される加圧ガスを低減された圧力で計量分配するガス保管計量分配コンテナに関する。
【解決手段】ガス保管計量分配コンテナは、保管容器と、第1のガス圧力レギュレータと、第2のガス圧力レギュレータとを有し、加圧ガスを収容するように構成される。ガス保管計量分配コンテナは、加圧ガスを排出するための排出流路を有する。第1のガス圧力レギュレータは保管容器内に配設され、第2のガス圧力レギュレータは保管容器の外部にある。排出流路は第1のガス圧力レギュレータおよび第2のガス圧力レギュレータを通って延在する。ガス保管計量分配コンテナからガスを排出する方法は、第1のガス圧力レギュレータにより加圧ガスの圧力を第1の圧力まで低減することと、第2のガス圧力レギュレータにより加圧ガスの圧力を第2の圧力まで低減することとを含む。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
ガス保管計量分配コンテナであって、
加圧ガスを保持するための内部ボリュームを有する保管容器と、
前記内部ボリューム内にある第１のガス圧力レギュレータと、
前記保管容器の外部にある第２のガス圧力レギュレータと、
前記ガス保管計量分配コンテナから前記加圧ガスを排出するための排出流路であって、前記排出流路が前記第１のガス圧力レギュレータおよび前記第２のガス圧力レギュレータを通って延在する、排出流路と
を備えるガス保管計量分配コンテナ。
続きを表示（約 1,000 文字）【請求項２】
前記保管容器の開口部に連結されたガスレギュレータ組立体であって、前記ガスレギュレータ組立体が前記第１のガス圧力レギュレータおよび前記第２のガス圧力レギュレータを有し、前記排出流路を形成する、ガスレギュレータ組立体
をさらに備える、請求項１に記載のガス保管計量分配コンテナ。
【請求項３】
前記ガスレギュレータ組立体が、前記保管容器の前記開口部内にシールを形成する上側部分と、前記上側部分から前記保管容器の前記内部ボリュームの中まで延在する下側部分と、をさらに有し、前記上側部分が前記第１のガス圧力レギュレータを有し、前記下側部分が前記第２のガス圧力レギュレータを有する、請求項２に記載のガス保管計量分配コンテナ。
【請求項４】
前記第１のガス圧力レギュレータが第１の圧力で前記ガスを排出し、
前記第２のガス圧力レギュレータが前記第１の圧力より低い第２の圧力で前記ガスを排出する、
請求項１に記載のガス保管計量分配コンテナ。
【請求項５】
前記第２のガス圧力レギュレータが前記排出流路内で前記第１のガス圧力レギュレータに対して下流にあり、前記第１の圧力でまたは概して前記第１の圧力で前記ガスを受け取る、請求項４に記載のガス保管計量分配コンテナ。
【請求項６】
前記保管容器が、少なくとも３７９２ｋＰａ（５５０ｐｓｉｇ）以上の圧力で前記内部ボリューム内に前記加圧ガスを収容するように構成されている、請求項１に記載のガス保管計量分配コンテナ。
【請求項７】
前記第１のガス圧力レギュレータが前記保管容器内では調整不可能となるように構成されている、請求項１に記載のガス保管計量分配コンテナ。
【請求項８】
前記第２のガス圧力レギュレータの圧力設定が調整可能である、請求項１に記載のガス保管計量分配コンテナ。
【請求項９】
前記第２のガス圧力レギュレータの圧力設定が使用中に調整可能である、請求項８に記載のガス保管計量分配コンテナ。
【請求項１０】
前記第２のガス圧力レギュレータの圧力設定が１７２ｋＰａ（２５ｐｓｉｇ）の低さに設定可能である、請求項８に記載のガス保管計量分配コンテナ。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、加圧ガスを保管するためのガス保管計量分配コンテナに関する。より詳細には、本開示は、保管される加圧ガスを低減された圧力で計量分配するガス保管計量分配コンテナに関する。
続きを表示（約 2,800 文字）【背景技術】
【０００２】
ガス保管計量分配コンテナは産業プロセスでガスを供給するのに使用され得る。このようなコンテナは、収容されるガスの量を増大させるために高い圧力を収容するように構成され得る。ガス保管計量分配コンテナはその加圧ガスを有意に低い圧力で供給するように構成され得る。例えば、半導体製造プロセスなどの産業プロセスは、危険であり（例えば、有毒である、酸性である、可燃性である、など）、および／または高価である、ガスを利用し得る。ガス保管計量分配コンテナは、このような危険であるおよび／または高価であるガスを移送するのにも使用され得る。
【発明の概要】
【０００３】
本開示は、加圧ガスを保管するためのガス保管計量分配コンテナ、および保管されるガスをコンテナから計量分配する方法に関する。ガス保管計量分配コンテナは、コンテナの保管容器の内部にあるガス圧力レギュレータと、コンテナの容器の外側にある別のガス圧力レギュレータと、を有するガスレギュレータ組立体を有する。
【０００４】
実施形態では、ガス保管計量分配コンテナは、保管容器と、第１のガス圧力レギュレータと、第２のガス圧力レギュレータと、を有する。保管容器は、加圧ガスを保持するための内部ボリュームを有する。第１のガス圧力レギュレータは保管容器の内部ボリューム内に配設され、第２のガス圧力レギュレータは保管容器の外部に配設される。コンテナは、ガス保管計量分配コンテナから加圧ガスを排出するための排出流路をさらに有する。排出流路は第１のガス圧力レギュレータおよび第２のガス圧力レギュレータを通って延在する。
【０００５】
実施形態では、ガス保管計量分配コンテナからガスを排出する方法は、ガス保管計量分配コンテナの保管容器の内部ボリューム内に保管される加圧ガスを計量分配するためのものである。本方法は、第１のガス圧力レギュレータを有するコンテナが加圧ガスの圧力を第１の圧力まで低減することと、第２のガス圧力レギュレータが加圧ガスの圧力を第１の圧力から第２の圧力まで低減することと、を含む。第１のガス圧力レギュレータが保管容器の内部ボリューム内に配設される。第２の圧力レギュレータが保管容器の外部に位置する。
【０００６】
本明細書で説明されるガス保管計量分配コンテナが実践され得る実施形態を示している、本開示の一部を形成する添付図面を参照する。
【図面の簡単な説明】
【０００７】
ガス保管計量分配コンテナの実施形態を示す断面図である。
ガス保管計量分配コンテナの別の実施形態を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００８】
図１は、ガス保管計量分配コンテナ１の実施形態の断面図である。コンテナ１が、加圧ガスを収容するように、および、例えば加圧ガスの圧力より低い圧力である、所定の圧力でガスを排出するように、構成される。コンテナ１は、加圧ガスを保管するための保管容器１０と、保管されるガスをより低い圧力で排出するためのガスレギュレータ組立体２０と、を有する。ガスレギュレータ組立体２０は、保管容器１０内から保管容器１０の外側まで延在する。ガスレギュレータ組立体２０は、コンテナ１内のその保管圧力より低い圧力でコンテナ１からガスが排出されるように、ガスレギュレータ組立体２０を通ってガスが流れるときに加圧ガスの圧力を低減するように構成される。ガスレギュレータ組立体２０は、ガスがガスレギュレータ組立体２０を通って流れてコンテナ１から排出されるときにガスの圧力を低減する、調整可能であるかまたは調整不可能である第１のガス圧力レギュレータ３０および第２のガス圧力レギュレータ４０を有する。第２のガス圧力レギュレータは、第２のガス圧力レギュレータの設定に基づいて、２５％、３５％、４５％、またはそれ以上でガスの圧力をさらに低減することができる。第１の圧力レギュレータ３０は、保管容器１０内で第１の量でガスの圧力を低減する内部圧力レギュレータ（例えば、保管容器１０内に配設される）であり、第２の圧力レギュレータ４０は、保管容器１０の外側で加圧ガスの圧力を第２の量でさらに低減する外部圧力レギュレータ（例えば、保管容器１０の外部に位置する）である。
【０００９】
第１のガス圧力レギュレータと直列である第２のガス圧力レギュレータを有することには複数の利点が存在する。例えば、直列である第１のガス圧力レギュレータおよび第２のガス圧力レギュレータは、ガス排出保管コンテナの全寿命にわたってプロセスツール／インプラントツールに対して安定した（一定の）供給圧力を提供する。この改善された安定性は、ガス排出保管コンテナ内の圧力が高い圧力から低い圧力へと移行するときに第２の段階のレギュレータへの入口圧力の範囲を低減することにより、達成される。別の利点には、圧力を低減する一連のガス圧力レギュレータがさらにガスの放出流量を低減し、それによりガス排出保管容器内での問題またはガス漏出のための安全性に関する利点を得るのを可能にする、ということが含まれる。別の例には、一連のガス圧力レギュレータのおかげで、第２のガス圧力レギュレータから放出されるガスの余剰量の不足により、ガス流量がより制御される、ということがある。これにより、結果として、ガス排出保管コンテナをそこに接続するところであるシステムの複雑さを低減することができる。別の利点には、ガス排出保管コンテナの用途の柔軟性を得るのを可能にする第２のガス圧力レギュレータの調整可能性が含まれる。これにより、顧客または供給業者が、限定しないが、インプラント、太陽光電池パネル、平面パネル（ｆｌａｔｐａｎｅｌ）、またはＬＥＤ、を含めた複数の産業に対して適用可能となるように、ガス排出保管コンテナの供給圧力を調整することが可能となる。
【００１０】
コンテナ１は、コンテナ１から加圧ガスを排出するための排出流路２を有する。図１に示されるように、ガスレギュレータ組立体２０は排出流路２を有し、排出流路２を形成する。排出流路２は、ガスレギュレータ組立体２０を通って延在する。排出流路２は、ガスレギュレータ組立体２０内で直列である第１のガス圧力レギュレータ３０および第２の圧力レギュレータ４０を通って延在する。コンテナ１は、コンテナ１から排出流路２を通ってのみ加圧ガスが排出され得るようになるように、構成される。実施形態では、加圧ガスは、ガスレギュレータ組立体２０のみを通過することによりコンテナ１から外に流れることができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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