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公開番号2025165634
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-11-05
出願番号2024069814
出願日2024-04-23
発明の名称光照射装置
出願人東芝ライテック株式会社
代理人個人,個人
主分類B01J 19/12 20060101AFI20251028BHJP(物理的または化学的方法または装置一般)
要約【課題】処理物における光の積算光量に面内分布が生じるのを抑制することができ、且つ、装置の小型化を図ることができる光照射装置を提供することである。
【解決手段】実施形態に係る光照射装置は、処理物に光を照射する放電ランプと;前記放電ランプから前記処理物に向かう光を遮断する第1の位置と、前記光を透過させる第2の位置と、の間を揺動移動する第1の遮光部と;前記第1の位置と、前記光を透過させる第3の位置と、の間を揺動移動する第2の遮光部と;を具備している。前記第1の遮光部と、前記第2の遮光部と、が、交互に揺動移動することで、前記光の透過と、前記光の遮断と、を切り換える。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
処理物に光を照射する放電ランプと；
前記放電ランプから前記処理物に向かう光を遮断する第１の位置と、前記光を透過させる第２の位置と、の間を揺動移動する第１の遮光部と；
前記第１の位置と、前記光を透過させる第３の位置と、の間を揺動移動する第２の遮光部と；
を具備し、
前記第１の遮光部と、前記第２の遮光部と、が、交互に揺動移動することで、前記光の透過と、前記光の遮断と、を切り換える光照射装置。
続きを表示（約 480 文字）【請求項２】
前記放電ランプの中心軸に沿った方向から見た場合に、前記第１の遮光部と、前記第２の遮光部と、は、前記放電ランプの外方に向けて湾曲した形態を有している請求項１記載の光照射装置。
【請求項３】
筒状を呈し、前記処理物と、前記放電ランプと、の間に設けられた反射部をさらに具備し、
前記処理物に向かう前記光の一部は、前記反射部の内壁で反射されて、前記処理物に入射する請求項１または２に記載の光照射装置。
【請求項４】
前記処理物が収納される空間を内部に有する容器と；
前記容器の前記空間に不活性ガスを供給するガス供給部と；
をさらに具備した請求項１または２に記載の光照射装置。
【請求項５】
前記処理物は、半導体ウェーハと、接着シートと、を具備し、
前記放電ランプは、前記接着シートに紫外線を照射し、
前記第１の遮光部と、前記第２の遮光部と、が、交互に揺動移動することで、前記紫外線が前記接着シートに照射される時間を１０秒以下とする請求項１または２に記載の光照射装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明の実施形態は、光照射装置に関する。
続きを表示（約 1,500 文字）【背景技術】
【０００２】
処理物に光を照射して、処理物の処理を行う光照射装置がある。例えば、紫外線硬化型樹脂、紫外線硬化型接着剤、紫外線硬化型の樹脂を含む接着シートなどに紫外線を照射して、紫外線硬化型樹脂や紫外線硬化型接着剤を硬化させたり、接着シートの接着力を調整したりする光照射装置が提案されている。
【０００３】
ここで、処理物における紫外線の積算光量に面内分布があると、処理物における硬化の程度や接着力などに面内分布が生じて、処理の品質が低下するおそれがある。そのため、処理物を一方向に移動させ、一方向に移動する処理物に水銀ランプから紫外線を照射する光照射装置が提案されている。この様にすれば、処理物における紫外線の積算光量に面内分布が生じるのを抑制することができる。
【０００４】
ところが、紫外線を照射するために処理物を移動させると、処理物の移動方向における光照射装置のサイズが大きくなる。
そのため、処理物における光の積算光量に面内分布が生じるのを抑制することができ、且つ、装置の小型化を図ることができる光照射装置の開発が望まれていた。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特許第５３２４１３０号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
本発明が解決しようとする課題は、処理物における光の積算光量に面内分布が生じるのを抑制することができ、且つ、装置の小型化を図ることができる光照射装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
実施形態に係る光照射装置は、処理物に光を照射する放電ランプと；前記放電ランプから前記処理物に向かう光を遮断する第１の位置と、前記光を透過させる第２の位置と、の間を揺動移動する第１の遮光部と；前記第１の位置と、前記光を透過させる第３の位置と、の間を揺動移動する第２の遮光部と；を具備している。前記第１の遮光部と、前記第２の遮光部と、が、交互に揺動移動することで、前記光の透過と、前記光の遮断と、を切り換える。
【発明の効果】
【０００８】
本発明の実施形態によれば、処理物における光の積算光量に面内分布が生じるのを抑制することができ、且つ、装置の小型化を図ることができる光照射装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００９】
処理物を例示するための模式平面図である。
本実施形態に係る光照射装置を例示するための模式断面図である。
（ａ）～（ｃ）は、比較例に係る遮光部の揺動移動を例示するための模式図である。
（ａ）～（ｃ）は、本実施の形態に係る一対の遮光部の揺動移動を例示するための模式図である。
【発明を実施するための形態】
【００１０】
以下、図面を参照しつつ、実施の形態について例示をする。なお、各図面中、同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
本実施の形態に係る光照射装置は、例えば、赤外線や遠赤外線を照射して処理物を加熱したり、紫外線を照射して、紫外線硬化型樹脂や紫外線硬化型接着剤を硬化させたり、紫外線硬化型の樹脂を含む接着シートの接着力を調整したり、処理物を殺菌したりするものとすることができる。照射される光の波長は、光照射装置の用途や処理の目的などに応じて適宜変更することができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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