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公開番号2025141325
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-29
出願番号2024041210
出願日2024-03-15
発明の名称エキシマランプ、光照射器およびエキシマランプの点灯状態表示方法
出願人株式会社オーク製作所
代理人個人,個人
主分類H01J 65/00 20060101AFI20250919BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】可視光導出用の光学部材やセンサなどを設けることなく、エキシマランプの点灯状態を視認できるようにする。
【解決手段】エキシマランプ10は、放電空間Sを形成し、放電容器15の端部から延びる延伸部37を設け、保持部材95によって照射容器90内に配置される。また、延伸部37の少なくとも一部が保持部材95から突出するように、エキシマランプ10が保持される。放電容器15と保持部材95は、放電容器15を包み、囲い込み、放電によって放射された光(可視光)を遮る不透明な遮蔽部材98を構成する。延伸部37の保持部材95から突出する突出部38の一部には、放電によって延伸部37を透過した光を視認可能なように放出する露出面ER(光放出部14)が、設けられている。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
放電空間を形成し、放電によって放射された光が透過する放電容器と、
前記放電容器の端部から延び、放電によって放射された光が透過する延伸部とを備え、
前記延伸部に、前記放電容器と前記延伸部を包含し、前記放電容器を透過した光を遮る遮蔽部材から突出する、突出部が設けられ、
前記突出部の少なくとも一部に、前記延伸部を透過した光を視認できる光放出部が、設けられていることを特徴とするエキシマランプ。
続きを表示（約 1,200 文字）【請求項２】
前記遮蔽部材の外部から前記突出部への光の入射を妨げるように覆う被覆部材が、前記光放出部の少なくとも一方の側に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。
【請求項３】
前記光放出部が、前記延伸部の先端部よりも前記放電容器側の外周面に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。
【請求項４】
前記光放出部が、前記延伸部を前記放電容器に保持する保持部材と、前記延伸部の先端との間の外周面に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。
【請求項５】
前記光放出部が、前記延伸部を覆い、放電によって放射される光を反射する反射膜と、前記延伸部の先端との間の外周面に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のエキシマランプ。
【請求項６】
前記放電容器が、内側管と外側管とを有し、
前記内側管が、前記放電容器内に配設される内側電極を覆う小径部と、
前記外側管が溶着する鍔状部分と前記延伸部とが形成された大径部とを有し、
前記小径部の外径が、前記延伸部の外径より小さいことを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載のエキシマランプ。
【請求項７】
前記内側電極が、箔状電極であって、
前記大径部が、前記箔状電極と接続する給電棒を接触せずに覆う管状部を有し、
前記管状部の内径が、前記箔状電極の幅よりも小さいことを特徴とする請求項６に記載のエキシマランプ。
【請求項８】
前記放電空間の放電によって放射された光の波長範囲において、前記延伸部の透過率が、前記放電容器の透過率よりも低いことを特徴とする請求項１乃至５のいずれかに記載のエキシマランプ。
【請求項９】
放電空間を形成し、放電によって放射された光が透過する放電容器と、
前記放電容器の端部から延び、放電によって放射された光が透過する延伸部とを備えたエキシマランプと、
前記放電容器と前記延伸部の一部を包含し、前記放電容器を透過した光を遮る遮蔽部材とを備え、
前記延伸部の前記遮蔽部材から突出する突出部の少なくとも一部に、前記延伸部を透過した光を視認できる光放出部が、設けられていることを特徴とする光照射器。
【請求項１０】
放電空間を形成し、放電によって放射された光が透過する放電容器と、前記放電容器の端部から延び、放電によって放射された光が透過する延伸部とを備えたエキシマランプを、遮蔽部材によって覆い、前記延伸部を透過した光を視認できるように、前記遮蔽部材からに突出した突出部の少なくとも一部に、光放出部を設け、
前記エキシマランプを点灯させたときに、放電によって放射された光を、前記遮蔽部材から放出させず、前記光放出部から放出させることを特徴とするエキシマランプの点灯状態表示方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、エキシマランプに関し、特に、紫外線を照射する紫外線照射モジュール、オゾン生成用モジュールなどに組み込み可能なエキシマランプに関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
エキシマランプは、紫外線照射装置、オゾン生成装置などに紫外線照射ランプとして使用可能であって、紫外線照射による滅菌処理、オゾン生成などを行うため、ランプハウスなどの容器（以下、照射容器という）に収容される。このような照射容器では、窓以外から紫外線が漏出しないように遮光するか、あるいは、窓を設けずに紫外線を遮る構成になることが多い。そのため、ランプが正常に点灯しているか、それとも異常放電が生じているのか、ランプ点灯状態を確認することが難しい。
【０００３】
ランプ点灯状態を視認できるようにするため、例えば、紫外線放射とともにランプから放射される可視光を取り出す光学部材（ガラスロッドやガラスファイバー）を容器内に設け、窓を通じてランプハウス外部へ可視光を導出させる（特許文献１参照）。また、脱臭機などのオゾン生成装置、あるいは紫外線照射装置において、放電発生領域を視認できるように、筐体（ケーシング）の側面に窓を形成する（特許文献２参照）。これによって、紫外線とともに放射される可視光を視認することができる。
【０００４】
一方、エキシマランプの放電容器の傍に、可視光を検出するセンサを設け、紫外線とともに放電容器外へ放射される可視光をセンサによって検出し、ランプ点灯状態を確認する手法も知られている（特許文献３参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開平７－２２０６８７号公報
特許第７０５３１９１号公報
特開２００３－０９２０８４号公報
特願２０２３－１１９０８０号
特願２０２３－１８４５０１号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
例えば、エキシマランプ、電源部などを備えた紫外線照射用モジュール、オゾン生成用モジュールを、紫外線照射処理やオゾン生成を行う装置内に組み込む場合、使用条件、使用環境などに起因して、照射容器に対するエキシマランプの配置構成、設置スペースなどが制約される。そのため、照射容器内への可視光導出用光学部材の配置、放電容器近傍へのセンサ設置などが難しい。
【０００７】
したがって、可視光導出用の光学部材やセンサなどを設けることなく、エキシマランプの点灯状態を視認できることが求められる。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本発明のエキシマランプは、放電空間を形成し、放電によって放射された光が透過する放電容器と、放電容器の端部から延び、放電によって放射された光が透過する延伸部とを備える。延伸部には、放電容器と延伸部を包含する部材（以下、包含部材ともいう）であって、放電容器を透過した光を遮る遮蔽部材から突出する部分（ここでは、突出部という）が設けられている。
【０００９】
ここでの「遮蔽部材」は、放電容器を透過した光、放電容器から延伸部に伝わった光（可視光）、延伸部を透過する光などを、視認できないように遮る不透明な部材を表す。例えば、内部に反射表面をもつ容器が含まれる。また、反射面をもつ膜状の素材など、一般的に部材と称されないものについても、その機能（視認できないように光を遮る）を有する限り、遮蔽部材に含まれるものとする。例えば、光を反射する電極膜などの金属も、遮蔽部材に含まれる。
【００１０】
包含部材（遮蔽部材）は、放電容器と延伸部の一部とを囲む構成であればよい。また、包含部材は、複数の部材で構成することも可能であり、単一の部材で構成することも可能である。放電容器及び延伸部の一部を一体的に包み込むような構成であればよい。
（【００１１】以降は省略されています）

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