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公開番号2025135978
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-09-19
出願番号2024034092
出願日2024-03-06
発明の名称ガラスシートの製造方法およびガラスキャップの製造方法
出願人株式会社テクニスコ
代理人弁理士法人ATEN,弁理士法人愛宕綜合特許事務所
主分類C03B 23/035 20060101AFI20250911BHJP(ガラス;鉱物またはスラグウール)
要約【課題】ドーム状のガラスキャップを量産する際の生産性の向上が可能となるガラスシートの製造方法を提供する。
【解決手段】ガラスシートの製造方法は、複数の円形凹部18を形成した基板16にガラスシート2の第1面2aと反対側の第2面2bを仮接合する仮接合工程と、ガラスシート2の軟化点を上回る温度にガラスシート2および基板16を加熱するとともにガラスシート2および基板16の周囲の圧力を低下させることによってガラスシート2における複数の円形凹部18に対応する部分をガラスシート2の第1面2a側にドーム状に突出させて複数の突出部4をガラスシート2に形成する突出部形成工程と、ガラスシート2に仮接合された基板16を研削または研磨することによってガラスシート2に仮接合された基板16を除去する除去工程とを含む。
【選択図】図10
特許請求の範囲【請求項１】
ドーム状に突出する複数の突出部を有する平面状のガラスシートであって、
前記ガラスシートの前記複数の突出部を有する第１面に直交する方向に見て、前記突出部の直径が５０ｍｍより小さいガラスシート。
続きを表示（約 810 文字）【請求項２】
前記複数の突出部は前記ガラスシートの前記第１面側に突出しており、前記ガラスシートの前記第１面と反対側の第２面のうち前記複数の突出部の周囲の前記複数の突出部が形成されていない部分に、はんだ材で被覆された少なくとも１つのはんだ部を有する、請求項１に記載のガラスシート。
【請求項３】
前記はんだ部の数量は前記複数の突出部の数量と同じであり、
複数の前記はんだ部は、前記複数の突出部のそれぞれの周囲に形成される、請求項１または２に記載のガラスシート。
【請求項４】
第１面にドーム状に突出する複数の突出部を有する平面状のガラスシートの製造方法であって、
複数の円形凹部を形成した基板に前記ガラスシートの前記第１面と反対側の第２面を仮接合する仮接合工程と、
前記ガラスシートの軟化点を上回る温度に前記ガラスシートおよび前記基板を加熱するとともに、前記ガラスシートおよび前記基板の周囲の圧力を低下させることによって、前記ガラスシートにおける前記複数の円形凹部に対応する部分を前記ガラスシートの前記第１面側に前記ドーム状に突出させて前記複数の突出部を前記ガラスシートに形成する突出部形成工程と、
前記ガラスシートに仮接合された前記基板を研削または研磨することによって、前記ガラスシートに仮接合された前記基板を除去する除去工程と、を含むガラスシートの製造方法。
【請求項５】
前記除去工程を実施した後、前記ガラスシートの前記第２面のうち前記複数の突出部の周囲の前記複数の突出部が形成されていない部分に、はんだ材で被覆されたはんだ部を形成する被覆工程を実施する、請求項４に記載のガラスシートの製造方法。
【請求項６】
前記基板はガラス製またはシリコン製である、請求項４または５に記載のガラスシートの製造方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、ドーム状（中空の半球状）のガラスキャップを量産する際の生産性の向上を可能とするガラスシートおよびガラスシートの製造方法に関する。
続きを表示（約 1,600 文字）【背景技術】
【０００２】
近年、ドーム状のガラスキャップが様々な装置（たとえば、レーザダイオード、フォトダイオード、発光ダイオード、ＭＥＭＳミラー等）に搭載されている。一般的にドーム状のガラスキャップは、封止用はんだ材によって各種装置に装着される（たとえば特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０２１－１７４８５２号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
しかし、ドーム状のガラスキャップは、モールド工法によりチップ単位で製造されているため、量産には不向きである。また、封止用はんだ材をガラスキャップに被覆する工程もチップ単位で行わなくてはならない。さらに、ガラスキャップの寸法または形状を変更する場合には、新たな金型を作製する必要がある。そして、金型を用いる場合は、金型材料とガラス材料の膨張係数の違いによる影響があり、量産できるガラスキャップの大きさ（例えば、ガラスキャップの直径が５０ｍｍ以上）に限界があった。このようなことから、ドーム状のガラスキャップを量産する際の生産性の向上が求められている。
【０００５】
本発明の課題は、ドーム状のガラスキャップを量産する際の生産性の向上が可能となるガラスシートおよびガラスシートの製造方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明によれば、上記課題を解決する以下のガラスシートが提供される。すなわち、
「ドーム状に突出する複数の突出部を有する平面状のガラスシートであって、前記ガラスシートの前記複数の突出部を有する第１面に直交する方向に見て、前記突出部の直径が５０ｍｍより小さいガラスシート」が提供される。
【０００７】
前記複数の突出部は前記ガラスシートの前記第１面側に突出しており、前記ガラスシートの前記第１面と反対側の第２面のうち前記複数の突出部の周囲の前記複数の突出部が形成されていない部分に、はんだ材で被覆された少なくとも１つのはんだ部を有するのが好適である。前記はんだ部の数量は前記複数の突出部の数量と同じであり、複数の前記はんだ部は、前記複数の突出部のそれぞれの周囲に形成されるのが好都合である。
【０００８】
また、本発明によれば、上記課題を解決する以下のガラスシートの製造方法が提供される。すなわち、
「第１面にドーム状に突出する複数の突出部を有する平面状のガラスシートの製造方法であって、
複数の円形凹部を形成した基板に前記ガラスシートの前記第１面と反対側の第２面を仮接合する仮接合工程と、
前記ガラスシートの軟化点を上回る温度に前記ガラスシートおよび前記基板を加熱するとともに、前記ガラスシートおよび前記基板の周囲の圧力を低下させることによって、前記ガラスシートにおける前記複数の円形凹部に対応する部分を前記ガラスシートの前記第１面側に前記ドーム状に突出させて前記複数の突出部を前記ガラスシートに形成する突出部形成工程と、
前記ガラスシートに仮接合された前記基板を研削または研磨することによって、前記ガラスシートに仮接合された前記基板を除去する除去工程と、を含むガラスシートの製造方法」が提供される。
【０００９】
前記除去工程を実施した後、前記ガラスシートの前記第２面のうち前記複数の突出部の周囲の前記複数の突出部が形成されていない部分に、はんだ材で被覆されたはんだ部を形成する被覆工程を実施するのが望ましい。前記基板はガラス製またはシリコン製でよい。
【発明の効果】
【００１０】
本発明のガラスシートおよび本発明の製造方法によれば、ドーム状のガラスキャップを量産する際の生産性の向上が可能となる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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