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公開番号2025126201
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-08-28
出願番号2025103489,2025505687
出願日2025-06-19,2024-03-08
発明の名称ミラー装置
出願人国立大学法人東海国立大学機構
代理人個人
主分類G21K 1/06 20060101AFI20250821BHJP(核物理;核工学)
要約【課題】色収差の少ない光学系の開口数を向上させる。
【解決手段】ミラー装置10は、光線20が入射する第1反射面22を有する第1ミラー12と、第1反射面22の法線方向に第1反射面22から離れて位置する第2ミラー14と、を備える。第2ミラー14は、光線20が入射する第2反射面24と、第2反射面24とは反対側の面26とを有し、反対側の面26が第1反射面22と対向し、第2反射面24が形状可変である。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
光線が入射する第１反射面を有する第１ミラーと、
前記第１反射面の法線方向に前記第１反射面から離れて位置する第２ミラーと、を備え、
前記第２ミラーは、光線が入射する第２反射面と、前記第２反射面とは反対側の面とを有し、前記反対側の面が前記第１反射面と対向し、前記第２反射面が形状可変である、ミラー装置。
続きを表示（約 700 文字）【請求項２】
前記第１反射面および前記第２反射面の少なくとも一方は、全反射ミラーである、請求項１に記載のミラー装置。
【請求項３】
前記第１反射面および前記第２反射面の少なくとも一方は、積層数が１００以下である多層膜ミラーである、請求項１に記載のミラー装置。
【請求項４】
前記第１反射面および前記第２反射面のそれぞれは、少なくとも光軸方向に曲率を有する、請求項１に記載のミラー装置。
【請求項５】
前記第２ミラーの厚さは、１０μｍ以上１ｍｍ以下である、請求項１に記載のミラー装置。
【請求項６】
前記第１ミラーと前記第２ミラーの間の間隔は、５０μｍ以上５ｍｍ以下である、請求項１に記載のミラー装置。
【請求項７】
前記第２ミラーは、
前記第２反射面および前記反対側の面を有する圧電基板と、
前記第２反射面に位置する第１電極と、
前記反対側の面に位置する第２電極と、
前記第１電極と前記第２電極の間に電圧を印加する電源と、を備える、請求項１に記載のミラー装置。
【請求項８】
前記第１電極および前記第２電極の少なくとも一方の外周形状は、角を丸めた多角形である、請求項７に記載のミラー装置。
【請求項９】
前記圧電基板の厚さは、１０μｍ以上１ｍｍ以下である、請求項７に記載のミラー装置。
【請求項１０】
前記圧電基板の厚さは、光軸方向にテーパー状に変化する、請求項７に記載のミラー装置。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
（関連出願の相互参照）
本出願は、２０２３年３月９日に出願された日本国特許出願２０２３－０３６５７９号および２０２３年４月２８日に出願された日本国特許出願２０２３－０７４８５０号の優先権を主張し、これらの全体が参照により本書に組み込まれる。
続きを表示（約 1,400 文字）【０００２】
（技術分野）
本開示は、ミラー装置、光学装置およびレーザー核融合炉に関する。
【背景技術】
【０００３】
Ｘ線分析技術は、学術分野および産業界において広く利用されている。近年では、ＸＡＦＳ（X-ray Absorption Fine Structure）や蛍光Ｘ線を利用して、対象物の元素ごとの局所構造を分析するＸ線顕微分光イメージングが注目されている。Ｘ線顕微分光イメージングでは、広範なＸ線波長を利用するため、色収差の少ないＸ線光学系が求められる。
【０００４】
Ｘ線光学系に用いられる光学素子として、屈折を利用する複合屈折レンズ、回折を利用するフレネルゾーンプレート、反射を利用する斜入射全反射ミラーなどがある。このうち、斜入射全反射ミラーは、Ｘ線の利用効率が高く、色収差が少ないという利点を有する。さらに、コマ収差のない光学系として、四つの斜入射全反射ミラーを用いたＡＫＢ（Advanced Kirkpatrick-Baez）ミラー光学系がある。また、Ｘ線光学系の光学特性を可変にするため、全反射ミラーに圧電素子を貼り付け、圧電素子の変形量によって反射面の形状を制御する形状可変ミラーも利用されている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００５】
特開２０２１－２１８９７号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００６】
Ｘ線顕微分光イメージングでは、３０ｎｍ程度の空間分解能が報告されているが、さらなる高空間分解能の実現が要請されている。空間分解能を高めるためには、Ｘ線光学系の開口数（ＮＡ）を大きくすることが有効である。しかしながら、開口数を大きくしようとすると、斜入射全反射ミラーにおけるＸ線の斜入射角が大きくなり、全反射条件を満たさなくなってしまう。ブラッグ反射を利用する多層膜ミラーを利用すれば、Ｘ線の斜入射角を大きくできるが、色収差が発生してしまう。
【０００７】
本開示はこうした課題に鑑みてなされたものであり、その例示的な目的の一つは、色収差の少ない光学系の開口数を向上させる技術を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
本開示のある態様のミラー装置は、光線が入射する第１反射面を有する第１ミラーと、第１反射面の法線方向に第１反射面から離れて位置する第２ミラーと、を備える。第２ミラーは、光線が入射する第２反射面と、第２反射面とは反対側の面とを有し、反対側の面が第１反射面と対向し、第２反射面が形状可変である。
【０００９】
本開示の別の態様のミラー装置は、光線が入射する反射面と、反射面とは反対側の面とを有する圧電基板と、反射面に設けられる第１電極と、反対側の面に設けられる第２電極と、第１電極と第２電極の間に電圧を印加する電源と、を備える。圧電基板は、反射面を有する第１圧電層と、反対側の面を有する第２圧電層とを備える。第２圧電層は、第１圧電層と同一材料であり、第１圧電層とは分極方向が反対である。
【００１０】
本開示のさらに別の態様の光学装置は、本開示のある態様のミラー装置を含む光学系と、光学系から出射する光線を検出する検出部と、を備える。
（【００１１】以降は省略されています）

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