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公開番号2025103808
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-07-09
出願番号2023221452
出願日2023-12-27
発明の名称弾性波デバイス、フィルタおよびマルチプレクサ
出願人太陽誘電株式会社
代理人個人
主分類H03H 9/17 20060101AFI20250702BHJP(基本電子回路)
要約【課題】小型化することが可能な弾性波デバイスを提供すること。
【解決手段】弾性波デバイスは、基板10と、基板上に設けられた下部電極12と、下部電極上に設けられた圧電膜14と、圧電膜の厚さ方向から見て圧電膜の少なくとも一部を挟み下部電極と第1上部電極とが重なる共振領域50を形成するように圧電膜上に設けられた第1上部電極16aと、共振領域の周縁部52から共振領域を囲む外部領域56にかけて下部電極上に設けられた絶縁膜20と、外部領域において、厚さ方向から見て圧電膜を挟まずに絶縁膜の少なくとも一部を挟み下部電極と第2上部電極とが重なる領域58を形成するように設けられた第2上部電極16bとを備える。
【選択図】図2

特許請求の範囲【請求項１】
基板と、
前記基板上に設けられた下部電極と、
前記下部電極上に設けられた圧電膜と、
前記圧電膜の厚さ方向から見て前記圧電膜の少なくとも一部を挟み前記下部電極と第１上部電極とが重なる共振領域を形成するように前記圧電膜上に設けられた第１上部電極と、
前記共振領域の周縁部から前記共振領域を囲む外部領域にかけて前記下部電極上に設けられた絶縁膜と、
前記外部領域において、前記厚さ方向から見て前記圧電膜を挟まずに前記絶縁膜の少なくとも一部を挟み前記下部電極と第２上部電極とが重なる領域を形成するように設けられた第２上部電極と、
を備える弾性波デバイス。
続きを表示（約 830 文字）【請求項２】
前記第１上部電極と前記第２上部電極とは、一体として設けられている請求項１に記載の弾性波デバイス。
【請求項３】
前記重なる領域は、前記外部領域のうち前記共振領域から前記下部電極が引き出される引き出し領域と前記共振領域との間に設けられている請求項２に記載の弾性波デバイス。
【請求項４】
前記第１上部電極と前記第２上部電極とは、前記引き出し領域と前記共振領域との間において接続されている請求項３に記載の弾性波デバイス。
【請求項５】
前記第１上部電極と前記第２上部電極とが接続する領域は、前記重なる領域が前記共振領域を囲む領域のうち一部に設けられ、前記囲む領域のうち残部に設けられていない請求項２から４のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。
【請求項６】
前記第１上部電極と前記第２上部電極とは電気的に接続されていない請求項１に記載の弾性波デバイス。
【請求項７】
前記重なる領域は、前記下部電極が前記共振領域を囲む領域のうち一部に設けられ、前記囲む領域のうち残部に設けられていない請求項６に記載の弾性波デバイス。
【請求項８】
前記共振領域において、前記絶縁膜は前記下部電極と前記圧電膜との間に設けられている請求項１から４、６および７のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。
【請求項９】
前記絶縁膜は、前記共振領域の中央部には設けられておらず、前記中央部の少なくとも一部を囲むように設けられている請求項１から４、６および７のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。
【請求項１０】
前記基板と前記下部電極との間に空隙が設けられ、前記厚さ方向から見て前記共振領域および前記重なる領域は、前記空隙に重なる請求項１から４、６および７のいずれか一項に記載の弾性波デバイス。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、弾性波デバイス、フィルタおよびマルチプレクサに関する。
続きを表示（約 1,100 文字）【背景技術】
【０００２】
携帯電話等の無線端末の高周波回路用に圧電薄膜共振器を有するフィルタやマルチプレクサが用いられている。基板上に圧電薄膜共振器に並列に接続されたキャパシタを設けることが知られている（例えば特許文献１、２）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１８－０２６７３５号公報
特開２００７－２９５０２５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
基板上に圧電薄膜共振器とキャパシタとを形成することにより、キャパシタを別部品として設ける場合に比べ、製造工程の削減および小型化が可能となる。しかしながら、基板上に圧電薄膜共振器とキャパシタとを形成する場合においても、小型化が求められている。
【０００５】
本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、小型化することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、基板と、前記基板上に設けられた下部電極と、前記下部電極上に設けられた圧電膜と、前記圧電膜の厚さ方向から見て前記圧電膜の少なくとも一部を挟み前記下部電極と第１上部電極とが重なる共振領域を形成するように前記圧電膜上に設けられた第１上部電極と、前記共振領域の周縁部から前記共振領域を囲む外部領域にかけて前記下部電極上に設けられた絶縁膜と、前記外部領域において、前記厚さ方向から見て前記圧電膜を挟まずに前記絶縁膜の少なくとも一部を挟み前記下部電極と第２上部電極とが重なる領域を形成するように設けられた第２上部電極と、を備える弾性波デバイスである。
【０００７】
上記構成において、前記第１上部電極と前記第２上部電極とは、一体として設けられている構成とすることができる。
【０００８】
上記構成において、前記重なる領域は、前記外部領域のうち前記共振領域から前記下部電極が引き出される引き出し領域と前記共振領域との間に設けられている構成とすることができる。
【０００９】
上記構成において、前記第１上部電極と前記第２上部電極とは、前記引き出し領域と前記共振領域との間において接続されている構成とすることができる。
【００１０】
上記構成において、前記第１上部電極と前記第２上部電極とが接続する領域は、前記重なる領域が前記共振領域を囲む領域のうち一部に設けられ、前記囲む領域のうち残部に設けられていない構成とすることができる。
（【００１１】以降は省略されています）

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