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公開番号2025091826
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-19
出願番号2023207308
出願日2023-12-07
発明の名称アミド結合を有する前駆体および感光性樹脂組成物
出願人住友ベークライト株式会社
代理人個人,個人,個人
主分類C08G 69/26 20060101AFI20250612BHJP(有機高分子化合物;その製造または化学的加工;それに基づく組成物)
要約【課題】異物の析出が抑制され、均一性に優れる樹脂膜を形成可能な感光性樹脂組成物、および、その製造に用いられるアミド結合を有する前駆体、を提供すること。
【解決手段】本発明のアミド結合を有する前駆体は、一般式(1)により示される繰り返し単位を有するアミド結合を有する前駆体であって、NMPの質量濃度が0.1ppm以上30ppm以下であり、炭素数が2以上6以下のアルコールの質量濃度が0.01%以上7.0%以下である。
【化32】
<com:Image com:imageContentCategory="Drawing"> <com:ImageFormatCategory>TIFF</com:ImageFormatCategory> <com:FileName>2025091826000034.tif</com:FileName> <com:HeightMeasure com:measureUnitCode="Mm">24</com:HeightMeasure> <com:WidthMeasure com:measureUnitCode="Mm">112</com:WidthMeasure> </com:Image> (一般式(1)中、XおよびYは、有機基である。R₁は、水酸基、-O-R₃、アルキル基、アシルオキシ基、またはシクロアルキル基であり、複数有する場合にはそれぞれ同一であっても異なってもよい。R₂は、水酸基、カルボキシル基、-O-R₃、または-COO-R₃であり、複数有する場合にはそれぞれ同一であっても異なってもよい。)
【選択図】なし
特許請求の範囲【請求項１】
一般式（１）により示される繰り返し単位を有するアミド結合を有する前駆体であって、
Ｎ－メチル－２－ピロリドン（ＮＭＰ）の質量濃度が０．１ｐｐｍ以上３０ｐｐｍ以下であり、
炭素数が２以上６以下のアルコールの質量濃度が０．０１％以上７．０％以下であることを特徴とするアミド結合を有する前駆体。
TIFF
2025091826000033.tif
33
150
（一般式（１）中、ＸおよびＹは、有機基である。Ｒ
１
は、水酸基、－Ｏ－Ｒ
３
、アルキル基、アシルオキシ基、またはシクロアルキル基であり、複数有する場合にはそれぞれ同一であっても異なってもよい。Ｒ
２
は、水酸基、カルボキシル基、－Ｏ－Ｒ
３
、または－ＣＯＯ－Ｒ
３
であり、複数有する場合にはそれぞれ同一であっても異なってもよい。Ｒ
１
およびＲ
２
におけるＲ
３
は、炭素数１～１５の有機基である。Ｒ
１
として水酸基がない場合、Ｒ
２
の少なくとも１つはカルボキシル基である。Ｒ
２
としてカルボキシル基がない場合は、Ｒ
１
の少なくとも１つは水酸基である。ｍは０～８の整数であり、ｎは０～８の整数である。）
続きを表示（約 190 文字）【請求項２】
重量平均分子量Ｍｗが７，０００以上５０，０００以下であり、
数平均分子量をＭｎとするとき、分子量分布Ｍｗ／Ｍｎが、１．００以上２．００以下である請求項１に記載のアミド結合を有する前駆体。
【請求項３】
請求項１または２に記載のアミド結合を有する前駆体と、
感光剤と、
を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、アミド結合を有する前駆体および感光性樹脂組成物に関する。
続きを表示（約 1,700 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、ポリイミド樹脂に感光特性を付与した感光性ポリイミドや、ポリベンゾオキサゾール前駆体にナフトキノンジアジド化合物を含有させた感光性ポリベンゾオキサゾールを含む感光性樹脂組成物が知られている。
【０００３】
一方で、近年、感光性樹脂組成物の分野においても地球環境負荷軽減の観点からの新たな研究開発が進んでいる。例えば、特許文献１には、環境負荷が高いことで知られるＮ－メチル－２－ピロリドン（ＮＭＰ）に着目し、感光性樹脂組成物中のＮＭＰ含有量を０．１質量％以下に低減した場合であっても、時間の変化に伴うゲル化を抑制し、感度、機械特性について満足できる感光性樹脂組成物を得るための技術が開示されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
国際公開公報第２０１４／１１５２３３号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、本発明者の検討によれば、ＮＭＰを全く含まない感光性ポリマー前駆体では、結晶化という課題が生じることが判明した。特に感光性ポリマー前駆体の製造において副生する低分子化合物は、結晶化を生じやすい。結晶化した低分子化合物は、感光性樹脂組成物のワニスを調製したとき、異物として析出することが懸念される。
【０００６】
一方、このような低分子化合物は、ワニスを対象物に塗布した後、加熱されたときに分解され、除去される。しかしながら、この除去が円滑に進まず、結果としてワニスから得られる樹脂膜に異物が生じてしまうことが課題となっている。
【０００７】
本発明の目的は、異物の析出が抑制され、均一性に優れる樹脂膜を形成可能な感光性樹脂組成物、および、その製造に用いられるアミド結合を有する前駆体、を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００８】
このような目的は、下記（１）～（３）に記載の本発明により達成される。
（１）一般式（１）により示される繰り返し単位を有するアミド結合を有する前駆体であって、
Ｎ－メチル－２－ピロリドン（ＮＭＰ）の質量濃度が０．１ｐｐｍ以上３０ｐｐｍ以下であり、
炭素数が２以上６以下のアルコールの質量濃度が０．０１％以上７．０％以下であることを特徴とするアミド結合を有する前駆体。
JPEG
2025091826000001.jpg
33
150
（一般式（１）中、ＸおよびＹは、有機基である。Ｒ
１
は、水酸基、－Ｏ－Ｒ
３
、アルキル基、アシルオキシ基、またはシクロアルキル基であり、複数有する場合にはそれぞれ同一であっても異なってもよい。Ｒ
２
は、水酸基、カルボキシル基、－Ｏ－Ｒ
３
、または－ＣＯＯ－Ｒ
３
であり、複数有する場合にはそれぞれ同一であっても異なってもよい。Ｒ
１
およびＲ
２
におけるＲ
３
は、炭素数１～１５の有機基である。Ｒ
１
として水酸基がない場合、Ｒ
２
の少なくとも１つはカルボキシル基である。Ｒ
２
としてカルボキシル基がない場合は、Ｒ
１
の少なくとも１つは水酸基である。ｍは０～８の整数であり、ｎは０～８の整数である。）
【０００９】
（２）重量平均分子量Ｍｗが７，０００以上５０，０００以下であり、
数平均分子量をＭｎとするとき、分子量分布Ｍｗ／Ｍｎが、１．００以上２．００以下である上記（１）に記載のアミド結合を有する前駆体。
【００１０】
（３）上記（１）または（２）に記載のアミド結合を有する前駆体と、
感光剤と、
を含むことを特徴とする感光性樹脂組成物。
【発明の効果】
（【００１１】以降は省略されています）

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