特許ウォッチ

公開番号2025091819
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-19
出願番号2023207290
出願日2023-12-07
発明の名称保持用治具、保持用治具を用いた板状のガラス部材の製造方法および保持用治具を備えるスパッタリング装置
出願人日本電気硝子株式会社
代理人弁理士法人矢野内外国特許事務所
主分類C23C 14/50 20060101AFI20250612BHJP(金属質材料への被覆;金属質材料による材料への被覆;化学的表面処理;金属質材料の拡散処理;真空蒸着,スパッタリング,イオン注入法,または化学蒸着による被覆一般;金属質材料の防食または鉱皮の抑制一般)
要約【課題】ガラス部材を出し入れしやすく、ガラス部材を保持した際に、ガラス部材の移動を抑えることができる保持用治具を提供する
【解決手段】板状のガラス部材である基板Gaをインライン搬送する際に、基板Gaを直立状態に保持する保持用治具101であって、基板Gaの上部を保持する上側保持部材111と、基板Gaの下部を保持する下側保持部材112と、を備え、上側保持部材111は、前後方向へ揺動可能な抑え部材121と、抑え部材121の後側に配置されたブロック122と、を有し、基板Gaの上部を保持するとき、抑え部材121とブロック122との間で基板Gaを保持する。
【選択図】図3
特許請求の範囲【請求項１】
板状のガラス部材をインライン搬送する際に、前記ガラス部材を直立状態に保持する保持用治具であって、
前記ガラス部材の上部を保持する上側保持部材と、
前記ガラス部材の下部を保持する下側保持部材と、を備え、
前記上側保持部材は、前後方向へ揺動可能な抑え部材と、前記抑え部材の後側に配置されたブロックと、を有し、
前記ガラス部材の上部を保持するとき、前記抑え部材とブロックとの間で前記ガラス部材を保持する
保持用治具。
続きを表示（約 490 文字）【請求項２】
前記下側保持部材は、前後方向へ揺動可能な支持部材と、前記支持部材の後側に配置されたブロックと、を有する、
請求項１に記載の保持用治具。
【請求項３】
前記支持部材は、断面視Ｕ字状の支持溝を有する、
請求項２に記載の保持用治具。
【請求項４】
前記抑え部材を後方向へ付勢する付勢部材を有する、
請求項１に記載の保持用治具。
【請求項５】
請求項１から４のいずれか一項に記載の保持用治具を用いた板状のガラス部材の製造方法において、
前記板状のガラス部材をインライン搬送する際に、前記保持用治具を用いて前記ガラス部材を直立状態に保持し、
前記直立状態の板状のガラス部材にスパッタリングによって膜を形成する成膜工程を備える、
板状のガラス部材の製造方法。
【請求項６】
請求項１から４のいずれか一項に記載の保持用治具を備えるスパッタリング装置であって、
前記板状のガラス部材を一方向に搬送する搬送コンベアを備える、
スパッタリング装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、板状のガラス部材を直立状態に保持する保持用治具、保持用治具を用いた板状のガラス部材の製造方法および保持用治具を備えるスパッタリング装置に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、スパッタリング装置において、真空室内に設けられた平板状の電極からなる取付部材の前面に、板状のガラス部材を直立状態に保持した保持用治具の一種である基板ホルダを配置し、基板ホルダで保持したガラス部材の表面にスパッタリングを施す板状のガラス部材の製造方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【０００３】
また、板状のガラス部材を保持する保持用治具として、溝を有し、当該溝の両側面でガラス部材を挟むように保持する構成が公知となっている（例えば、特許文献２参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
実開昭６１－９０８５４号公報
特開２０１３－２３７５７９号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、従来技術においては、保持するための保持用治具がガラス部材を確実に保持するためには保持用治具の大きさが大きくなるため保持用治具の陰となる部分が発生していた。保持用治具の陰となる部分には成膜が施され難く、所望のガラス部材の光学特性を発揮することができない部分ができる可能性があった。また、従来技術においては、ガラス部材の出し入れの作業性を考慮して保持するための保持用治具の溝に遊びを設けていた。この場合、遊びを設けたことにより、ガラス部材が遊びの中で移動してしまい、光学特性のばらつきやダスト付着による成膜欠陥が増加する可能性があった。
【０００６】
本発明は、斯かる現状の課題に鑑みてなされたものであり、ガラス部材を出し入れしやすく、ガラス部材を保持した際に、ガラス部材の移動を抑えることができる保持用治具、保持用治具を用いた板状のガラス部材の製造方法および保持用治具を備えるスパッタリング装置を提供することを課題とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明の解決しようとする課題は以上の如くであり、次にこの課題を解決するための手段を説明する。
【０００８】
本発明の態様１に係る保持用治具では、板状のガラス部材を縦搬送する際に、前記ガラス部材を直立状態に保持する保持用治具であって、
前記ガラス部材の上部を保持する上側保持部材と、
前記ガラス部材の上部を保持する下側保持部材と、を備え、
前記上側保持部材は、前後方向へ揺動可能な抑え部材と、前記抑え部材の後側に配置されたブロックと、を有し、
前記ガラス部材の上部を保持するとき、前記抑え部材とブロックとの間で前記ガラス部材を保持することを特徴とする。
【０００９】
このような構成によれば、抑え部材を前側へ開いた状態でガラス部材をセットすることにより、ガラス部材を配置しやすくなり、また、抑え部材を後側に閉じた状態でブロックと挟持することにより、ガラス部材の移動を防止しつつ支持することができる。
【００１０】
また、態様２の保持用治具では、態様１において、前記下側保持部材は、前後方向へ揺動可能な支持部材と、前記支持部材の後側に配置されたブロックと、を有することが好ましい。
（【００１１】以降は省略されています）

関連特許