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公開番号2025088967
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-12
出願番号2023203847
出願日2023-12-01
発明の名称基板処理装置の健康指標を決定するための方法、および基板処理装置
出願人株式会社荏原製作所
代理人個人,個人,個人,個人
主分類H01L 21/02 20060101AFI20250605BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】複数のモジュールを備えた基板処理装置において、基板処理装置全体の健康状態を把握する。
【解決手段】基板処理装置の健康指標を決定するための方法が提供される。前記基板処理装置は、複数のモジュール群を備え、各モジュール群は、1または複数のモジュールから構成される。前記方法は、前記基板処理装置における各モジュールについて、それぞれ複数の動作パラメータ値を取得するステップと、前記複数の動作パラメータ値に基づいて、前記各モジュールのモジュール状態を決定するステップと、前記各モジュールのモジュール状態と、各モジュールの重み係数とに基づいて、前記基板処理装置の健康指標を決定するステップと、を含む。
【選択図】図4
特許請求の範囲【請求項１】
基板処理装置の健康指標を決定するための方法であって、前記基板処理装置は、複数のモジュール群を備え、各モジュール群は、１または複数のモジュールから構成され、前記方法は、
前記基板処理装置における各モジュールについて、それぞれ複数の動作パラメータ値を取得するステップと、
前記複数の動作パラメータ値に基づいて、前記各モジュールのモジュール状態を決定するステップと、
前記各モジュールのモジュール状態と、各モジュールの重み係数とに基づいて、前記基板処理装置の健康指標を決定するステップと、
を含む、方法。
続きを表示（約 1,700 文字）【請求項２】
前記各モジュールの重み係数は、当該モジュールの前記健康指標に対する第１の種類の寄与を表す第１の重み係数と、当該モジュールの前記健康指標に対する第２の種類の寄与を表す第２の重み係数とを含む、請求項１に記載の方法。
【請求項３】
前記基板処理装置は、前記各モジュール群がそれぞれ固有の機能的動作を実施することにより基板に一連の処理を行うように構成されており、
前記第１の重み係数は、前記一連の処理における各モジュール群の機能的動作の重要度に対応する値に設定され、
前記第２の重み係数は、前記各モジュール群に含まれる使用可能なモジュールの数に応じた値に設定される、
請求項２に記載の方法。
【請求項４】
前記各モジュールのモジュール状態に基づいて、各モジュールの使用または不使用を制御するステップと、
いずれかのモジュールが使用から不使用にされた場合または不使用から使用にされた場合に、前記使用可能なモジュール数の変化に応じて前記第２の重み係数を変更するステップと、
をさらに含む、請求項３に記載の方法。
【請求項５】
前記健康指標を決定するステップは、モジュールごとに、前記モジュール状態の値と、前記第１の重み係数と、前記第２の重み係数との積を計算することを含む、請求項２から４のいずれか１項に記載の方法。
【請求項６】
前記健康指標を決定するステップは、前記モジュールごとの積の、全モジュールについての総和を計算することを含む、請求項５に記載の方法。
【請求項７】
前記各モジュールのモジュール状態に基づいて、各モジュールの使用または不使用を制御するステップをさらに含む、請求項１に記載の方法。
【請求項８】
前記各モジュールの前記複数の動作パラメータ値をそれぞれ所定の閾値に基づき離散化するステップをさらに含み、
前記各モジュールのモジュール状態を決定するステップは、当該モジュールの前記離散化された複数の動作パラメータ値の総和または当該モジュールの前記複数の動作パラメータ値の総和を計算することを含む、
請求項７に記載の方法。
【請求項９】
前記各モジュールのうち不使用に制御されたモジュールについて、前記複数の動作パラ
メータ値または前記離散化された複数の動作パラメータ値に基づいて、異常な動作パラメータを識別するステップをさらに含む、請求項７または８に記載の方法。
【請求項１０】
基板処理装置の健康指標を決定するための方法であって、前記基板処理装置は、複数のモジュール群を備え、各モジュール群は、１または複数のモジュールから構成され、前記方法は、
前記基板処理装置における各モジュールについて、それぞれ複数の動作パラメータ値を取得するステップと、
前記基板処理装置の複数のモジュールについての前記複数の動作パラメータ値が入力されたときに前記基板処理装置の健康指標に関する値を出力するように、機械学習によって学習モデルを訓練するステップと、
前記訓練済みの学習モデルを用いて、現在の前記複数のモジュールの複数の動作パラメータ値から現在の前記基板処理装置の健康指標を推定するステップと、
を含み、
機械学習によって前記学習モデルを訓練する前記ステップは、
前記各モジュールについて前記複数の動作パラメータ値またはそれを離散化した値の総和を計算することにより、前記各モジュールのモジュール状態を算出するステップと、
前記各モジュールのモジュール状態と、各モジュールの重み係数との積の総和を計算することにより、前記基板処理装置の健康指標を算出するステップと、
前記基板処理装置の複数のモジュールについての前記複数の動作パラメータ値と、前記算出された健康指標とを訓練データとして、前記学習モデルを訓練するステップと、
を含む、方法。
（【請求項１１】以降は省略されています）
発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、基板処理装置の健康指標を決定するための方法、および基板処理装置に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、基板処理装置に設けられた搬送ユニットのモータ毎に健康度を算出する方法が知られている（例えば特許文献１（請求項１）参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特許第７２３３２０１号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
複数のモジュールを備えた基板処理装置において、基板処理装置全体の健康状態を把握することが望まれる。基板処理装置全体の健康状態を把握することで、例えば、基板処理装置のダウンタイムの長期化を予防することが可能となる。
【課題を解決するための手段】
【０００５】
［形態１］形態１によれば、基板処理装置の健康指標を決定するための方法であって、前記基板処理装置は、複数のモジュール群を備え、各モジュール群は、１または複数のモジュールから構成され、前記方法は、前記基板処理装置における各モジュールについて、それぞれ複数の動作パラメータ値を取得するステップと、前記複数の動作パラメータ値に基づいて、前記各モジュールのモジュール状態を決定するステップと、前記各モジュールのモジュール状態と、各モジュールの重み係数とに基づいて、前記基板処理装置の健康指標を決定するステップと、を含む、方法が提供される。
【０００６】
［形態２］形態２によれば、形態１の方法において、前記各モジュールの重み係数は、当該モジュールの前記健康指標に対する第１の種類の寄与を表す第１の重み係数と、当該モジュールの前記健康指標に対する第２の種類の寄与を表す第２の重み係数とを含む。
【０００７】
［形態３］形態３によれば、形態２の方法において、前記基板処理装置は、前記各モジュール群がそれぞれ固有の機能的動作を実施することにより基板に一連の処理を行うように構成されており、前記第１の重み係数は、前記一連の処理における各モジュール群の機能的動作の重要度に対応する値に設定され、前記第２の重み係数は、前記各モジュール群に含まれる使用可能なモジュールの数に応じた値に設定される。
【０００８】
［形態４］形態４によれば、形態３の方法において、前記各モジュールのモジュール状態に基づいて、各モジュールの使用または不使用を制御するステップと、いずれかのモジュールが使用から不使用にされた場合または不使用から使用にされた場合に、前記使用可能なモジュール数の変化に応じて前記第２の重み係数を変更するステップと、をさらに含む。
【０００９】
［形態５］形態５によれば、形態２から４のいずれか１の方法において、前記健康指標を決定するステップは、モジュールごとに、前記モジュール状態の値と、前記第１の重み係数と、前記第２の重み係数との積を計算することを含む。
【００１０】
［形態６］形態６によれば、形態５の方法において、前記健康指標を決定するステップは、前記モジュールごとの積の、全モジュールについての総和を計算することを含む。
（【００１１】以降は省略されています）

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