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公開番号2025088104
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-06-11
出願番号2023202568
出願日2023-11-30
発明の名称ウエハ保持台
出願人住友電気工業株式会社
代理人個人,個人
主分類H01L 21/683 20060101AFI20250604BHJP(基本的電気素子)
要約【課題】ウエハ保持台における外周領域と内周領域との吸熱特性のばらつきが小さいウエハ保持台を提供する。
【解決手段】ウエハが載置される上面を有するプレートを備え、前記プレートは、前記プレートの内部に冷媒流路を備え、前記冷媒流路は、前記プレートの外周領域に配置された第一冷媒流路と、前記プレートの内周領域に配置されて前記第一冷媒流路につながる第二冷媒流路と、を備え、前記第一冷媒流路の断面積は、前記第二冷媒流路の断面積よりも小さい、ウエハ保持台。
【選択図】図2
特許請求の範囲【請求項１】
ウエハが載置される上面を有するプレートを備え、
前記プレートは、前記プレートの内部に冷媒流路を備え、
前記冷媒流路は、
前記プレートの外周領域に配置された第一冷媒流路と、
前記プレートの内周領域に配置されて前記第一冷媒流路につながる第二冷媒流路と、を備え、
前記第一冷媒流路の断面積は、前記第二冷媒流路の断面積よりも小さい、
ウエハ保持台。
続きを表示（約 880 文字）【請求項２】
前記外周領域は、前記プレートの外周縁から所定幅を有する円環状の領域であり、
前記所定幅は、前記上面と前記第一冷媒流路の下面との間の距離以上である、請求項１に記載のウエハ保持台。
【請求項３】
前記第一冷媒流路の断面積は、前記第二冷媒流路の断面積の１／５倍以上１／２倍以下である、請求項１または請求項２に記載のウエハ保持台。
【請求項４】
前記第一冷媒流路は、前記上面に平行な面内に配置された１つの第一流路であり、
前記第二冷媒流路は、前記面内に並列に配置された複数の第二流路を有する第二並列流路である、請求項３に記載のウエハ保持台。
【請求項５】
前記第一冷媒流路は、前記上面に平行な面内に並列に配置された複数の第一流路を有する第一並列流路であり、
前記第二冷媒流路は、前記面内に並列に配置された複数の第二流路を有する第二並列流路であり、
前記複数の第二流路の数は、前記複数の第一流路の数よりも多い、請求項３に記載のウエハ保持台。
【請求項６】
前記冷媒流路は、
前記プレートの外周に配置された入口から前記プレートの中心部に向かう往路と、
前記中心部から前記プレートの外周に配置された出口に向かう復路と、を有し、
前記往路は、
円弧状の前記第一流路が第一の回転方向と第二の回転方向に交互に折り返しながら前記外周領域から前記内周領域に向かって延びる前記第一冷媒流路と、
円弧状の前記第二流路が前記第一の回転方向と前記第二の回転方向に交互に折り返しながら前記内周領域の前記外周領域に近い箇所から前記プレートの中心に向かって延びる前記第二冷媒流路と、を備え、
前記復路は、前記中心部から前記往路の折り返し箇所の間を通って前記外周領域に向かって延びていて、
前記第一の回転方向と前記第二の回転方向は、前記プレートの中心を中心とする回転方向であり、互いに逆方向である、請求項４に記載のウエハ保持台。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、ウエハ保持台に関する。
続きを表示（約 1,200 文字）【背景技術】
【０００２】
特許文献１は、基板載置台を開示する。基板載置台は、本開示におけるウエハ保持台に相当する。基板載置台は例えばプローバに用いられる。プローバは、複数の回路が形成されたウエハを個々のチップに切断する前に、各チップの電気性能を測定する検査装置である。特許文献１の基板載置台は、円板形状を有するチャックトップを備える。チャックトップは、ウエハが載せられる上面を有するプレートである。プレートの内部には冷媒が流通される冷媒流路が設けられている。冷媒流路の断面積は、冷媒流路の入口から出口まで一様である。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２０１９－２１８４５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特許文献１のように冷媒流路の断面積が冷媒流路の入口から出口まで一様である場合、プレートの上面の外周領域は、プレートの上面の内周領域に比較して冷え難い。
【０００５】
本開示の目的の一つは、ウエハ保持台における外周領域と内周領域との吸熱特性のばらつきが小さいウエハ保持台を提供することにある。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示のウエハ保持台は、ウエハが載置される上面を有するプレートを備える。前記プレートは、前記プレートの内部に冷媒流路を備える。前記冷媒流路は、前記プレートの外周領域に配置された第一冷媒流路と、前記プレートの内周領域に配置されて前記第一冷媒流路につながる第二冷媒流路と、を備える。前記第一冷媒流路の断面積は、前記第二冷媒流路の断面積よりも小さい。
【発明の効果】
【０００７】
本開示のウエハ保持台は、ウエハ保持台における外周領域と内周領域との吸熱特性のばらつきが小さい。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
図１は、実施形態のウエハ保持台を示す断面模式図である。
図２は、実施形態のウエハ保持台に備わるプレートの冷媒流路を示す断面模式図である。
図３は、図２のＩＩＩ－ＩＩＩ断面図である。
図４は、試験例における第一冷媒流路および第二冷媒流路の断面積比と、外周領域および内周領域の熱抵抗比との関係を示すグラフである。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
《本開示の実施形態の説明》
最初に本開示の実施態様を列記して説明する。
【００１０】
（１）本開示の一態様のウエハ保持台は、ウエハが載置される上面を有するプレートを備える。前記プレートは、前記プレートの内部に冷媒流路を備える。前記冷媒流路は、前記プレートの外周領域に配置された第一冷媒流路と、前記プレートの内周領域に配置されて前記第一冷媒流路につながる第二冷媒流路と、を備える。前記第一冷媒流路の断面積は、前記第二冷媒流路の断面積よりも小さい。
（【００１１】以降は省略されています）

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