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公開番号2025079535
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-22
出願番号2023192270
出願日2023-11-10
発明の名称プラズマ処理装置
出願人株式会社ダイヘン
代理人弁理士法人深見特許事務所
主分類H05H 1/34 20060101AFI20250515BHJP(他に分類されない電気技術)
要約【課題】回転筒部の絶縁性の確保が可能なプラズマ処理装置を提供すること。
【解決手段】プラズマ処理装置1は、内側電極100と、電極保持体200と、筒状に形成されており、内側電極及び電極保持体を包囲する外側電極400と、内側電極及び電極保持体と外側電極との間に配置されており、内側電極及び電極保持体を包囲する絶縁パイプ500と、絶縁材料からなるとともに外側電極を取り囲む筒状に形成されており、内側電極の中心軸AXまわりに外側電極に対して相対回転可能な回転筒部600と、回転筒部を回転させる駆動機構700と、を備える。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
電圧の印加を受ける内側電極と、
前記内側電極を保持する電極保持体と、
筒状に形成されており、前記内側電極及び前記電極保持体を包囲する外側電極と、
前記内側電極及び前記電極保持体と前記外側電極との間に配置されており、前記内側電極及び前記電極保持体を包囲する絶縁パイプと、
絶縁材料からなるとともに前記外側電極を取り囲む筒状に形成されており、前記内側電極の中心軸まわりに前記外側電極に対して相対回転可能な回転筒部と、
前記回転筒部を回転させる駆動機構と、を備える、プラズマ処理装置。
続きを表示（約 740 文字）【請求項２】
前記電極保持体及び前記外側電極を支持する支持体をさらに備え、
前記電極保持体は、前記中心軸と平行な方向における一方側から前記支持体に固定されており、
前記外側電極は、前記中心軸と平行な方向における他方側から前記支持体に固定されている、請求項１に記載のプラズマ処理装置。
【請求項３】
前記絶縁パイプは、前記外側電極と前記支持体とによって前記中心軸と平行な方向における両側から挟持されている、請求項２に記載のプラズマ処理装置。
【請求項４】
前記駆動機構は、
モータと、
前記モータの出力軸に接続された第１ギアと、
前記第１ギアに噛み合うように配置された第２ギアと、を有し、
前記第２ギアは、前記外側電極を包囲するように配置されており、
前記回転筒部は、前記中心軸と平行な方向に前記第２ギアを受ける受け面を有し、
前記第２ギアは、当該第２ギアを前記受け面に押し付ける軸力を作用させる締結部材によって前記回転筒部に固定されている、請求項１に記載のプラズマ処理装置。
【請求項５】
前記電極保持体は、前記内側電極の先端部が前記絶縁パイプの先端面と面一となる退避位置と、前記外側電極の先端面と面一となる突出位置と、の間で移動可能となるように、前記内側電極を保持している、請求項１に記載のプラズマ処理装置。
【請求項６】
前記回転筒部は、
前記外側電極の前記先端面と対向する対向面と、
前記外側電極の外側から前記外側電極の前記先端面と対向面との間に向かってガスを供給するための供給流路と、を有する、請求項５に記載のプラズマ処理装置。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本開示は、プラズマ処理装置に関する。
続きを表示（約 1,300 文字）【背景技術】
【０００２】
従来、合成樹脂等のワークの表面をプラズマ処理する際に用いられるトーチにおいて、ワークの形状に対応する等の理由から、トーチのうちプラズマを照射するノズルを回転させることが知られている。例えば、特開２００１－６８２９８号公報には、電極と、電極の周囲に配置された支持チューブに対して相対回転可能なケーシングと、を備えるプラズマノズルが開示されている。ケーシングは、金属からなり、電極に電圧が印加されると電極とケーシングとの間で電気放電が生じる。ケーシングがその軸芯を中心として回転することにより、プラズマジェットが円錐の母線を描き、ワークの表面に照射される。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００１－６８２９８号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
特開２００１－６８２９８号公報に記載されるプラズマノズルでは、内側電極に対して相対回転するケーシングが帯電しているため、このケーシングに接触する危険性がある。
【０００５】
本開示の目的は、帯電したケーシングを回転させるための電気電性軸受（スリップリング）や電動ブラシが不要で構造が簡易で安価にでき、かつ、回転筒部への接触に伴う危険性を低減することが可能なプラズマ処理装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本開示の一局面に従ったプラズマ処理装置は、電圧の印加を受ける内側電極と、前記内側電極を保持する電極保持体と、筒状に形成されており、前記内側電極及び前記電極保持体を包囲する外側電極と、前記内側電極及び前記電極保持体と前記外側電極との間に配置されており、前記内側電極及び前記電極保持体を包囲する絶縁パイプと、絶縁材料からなるとともに前記外側電極を取り囲む筒状に形成されており、前記内側電極の中心軸まわりに前記外側電極に対して相対回転可能な回転筒部と、前記回転筒部を回転させる駆動機構と、を備える。
【発明の効果】
【０００７】
本開示によれば、帯電部への接触を防止するとともに、回転筒部への接触に伴う危険性を低減することが可能なプラズマ処理装置を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【０００８】
本開示の一実施形態におけるプラズマ処理装置の断面斜視図である。
プラズマ処理装置の先端部分を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【０００９】
本開示の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下で参照する図面では、同一またはそれに相当する部材には、同じ番号が付されている。
【００１０】
図１は、本開示の一実施形態におけるプラズマ処理装置の断面斜視図である。このプラズマ処理装置１は、ワークの表面改質に好適に用いられ、また、ＴＩＧ溶接にも好適に用いられる。
（【００１１】以降は省略されています）

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