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公開番号2025071417
公報種別公開特許公報(A)
公開日2025-05-08
出願番号2023181559
出願日2023-10-23
発明の名称欠陥検査システム及び欠陥検査方法
出願人株式会社日立製作所
代理人ポレール弁理士法人
主分類G01N 21/88 20060101AFI20250428BHJP(測定;試験)
要約【課題】欠陥を検査するセンサを欠陥の種類に応じて選定することができる欠陥検査システムと欠陥検査方法を提供する。
【解決手段】本発明による欠陥検査システムは、検査対象物101を撮像して検査対象物101の撮像画像を得るカメラ100と、データベース500と欠陥検出部104とセンサ選定部107を備える処理装置120とを備える。データベース500は、検査対象物101の欠陥の種類と欠陥の検査に使用するセンサ108、109との関係を示すセンサデータを格納している。欠陥検出部104は、画像処理を行って、撮像画像から欠陥を検出し、欠陥の種類を求める。センサ選定部107は、データベース500に格納されたセンサデータを基に、欠陥の種類に応じて、欠陥の検査に使用するセンサ108、109を選定する。
【選択図】図1
特許請求の範囲【請求項１】
検査対象物を撮像して前記検査対象物の撮像画像を得るカメラと、
データベースと、欠陥検出部と、センサ選定部とを備える処理装置と、
を備え、
前記データベースは、前記検査対象物の欠陥の種類と前記欠陥の検査に使用するセンサとの関係を示すセンサデータを格納しており、
前記欠陥検出部は、画像処理を行って、前記撮像画像から前記欠陥を検出し、前記欠陥の種類を求め、
前記センサ選定部は、前記データベースに格納された前記センサデータを基に、前記欠陥の種類に応じて、前記欠陥の検査に使用するセンサを選定する、
ことを特徴とする欠陥検査システム。
続きを表示（約 960 文字）【請求項２】
前記処理装置は、欠陥算出部を備え、
前記欠陥算出部は、前記撮像画像から、前記検査対象物における前記欠陥の位置を求める、
請求項１に記載の欠陥検査システム。
【請求項３】
前記処理装置は、補修可否判断部を備え、
前記データベースは、前記欠陥の大きさについての閾値と、前記欠陥の大きさと前記欠陥を補修するための補修量との関係を示す補修量データを格納しており、
前記補修可否判断部は、前記欠陥の大きさが、前記データベースに格納された前記閾値よりも小さい場合には、前記欠陥が補修可能であると判断し、
前記補修可否判断部は、前記欠陥が補修可能である場合には、前記データベースに格納された前記補修量データを参照し、前記補修量を求める、
請求項２に記載の欠陥検査システム。
【請求項４】
表示装置を備え、
前記センサ選定部は、選定した前記センサを前記表示装置に表示する、
請求項１に記載の欠陥検査システム。
【請求項５】
作業ロボットを備え、
前記センサ選定部は、選定した前記センサを表す信号を前記作業ロボットに送信する、
請求項１に記載の欠陥検査システム。
【請求項６】
表示装置を備え、
前記補修可否判断部は、前記欠陥の位置と前記補修量を前記表示装置に表示する、
請求項３に記載の欠陥検査システム。
【請求項７】
作業ロボットを備え、
前記補修可否判断部は、前記欠陥の位置と前記補修量を表す信号を前記作業ロボットに送信する、
請求項３に記載の欠陥検査システム。
【請求項８】
カメラで検査対象物を撮像して、前記検査対象物の撮像画像を得る撮像工程と、
処理装置が、画像処理を行って、前記撮像画像から前記検査対象物の欠陥を検出し、前記欠陥の種類を求める欠陥検出工程と、
前記処理装置が、前記欠陥の種類と前記欠陥の検査に使用するセンサとの関係を示すセンサデータを基に、前記欠陥の種類に応じて、前記欠陥の検査に使用するセンサを選定するセンサ選定工程と、
を有することを特徴とする欠陥検査方法。

発明の詳細な説明【技術分野】
【０００１】
本発明は、検査対象物の欠陥を検査するシステムと方法に関する。
続きを表示（約 1,400 文字）【背景技術】
【０００２】
工業製品やその部品は、例えば傷や錆などの欠陥を測定して検査することにより、品質や信頼性が管理される。従来の欠陥検査システムの例は、特許文献１に記載されている。特許文献１に記載の表面欠陥検査装置は、平面状の検査対象物を撮像する撮像装置と、撮像された画像を画像処理して検査対象物の表面の欠陥を検出し、欠陥の位置情報を求める画像処理装置と、欠陥の位置情報に基づき、検査対象物の表面の欠陥を精密検査する精密検査装置を有し、精密検査装置を用いて欠陥を詳細に検査する。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００３】
特開２００２－１６８７９３号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００４】
検査対象物は、様々な種類の欠陥を有する場合があり、欠陥の詳細な検査に必要なセンサ（装置）は、欠陥の種類によって異なる。このため、欠陥の詳細な検査には、欠陥の種類に応じたセンサが必要である。
【０００５】
しかし、従来の欠陥検査システムでは、欠陥の詳細な検査に用いるセンサ（装置）は、特定のセンサに予め定められている。例えば、特許文献１に記載の表面欠陥検査装置では、欠陥の形状と深さを検出する精密検査装置は、顕微鏡（例えば、微分干渉顕微鏡と２光束干渉顕微鏡）であると予め決められている。そこで、様々な欠陥の種類に応じてセンサを選定することができる欠陥検査システムが求められている。
【０００６】
本発明の目的は、欠陥を検査するセンサを欠陥の種類に応じて選定することができる欠陥検査システムと欠陥検査方法を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
本発明による欠陥検査システムは、検査対象物を撮像して前記検査対象物の撮像画像を得るカメラと、データベースと欠陥検出部とセンサ選定部を備える処理装置とを備える。前記データベースは、前記検査対象物の欠陥の種類と前記欠陥の検査に使用するセンサとの関係を示すセンサデータを格納している。前記欠陥検出部は、画像処理を行って、前記撮像画像から前記欠陥を検出し、前記欠陥の種類を求める。前記センサ選定部は、前記データベースに格納された前記センサデータを基に、前記欠陥の種類に応じて、前記欠陥の検査に使用するセンサを選定する。
【０００８】
本発明による欠陥検査方法は、カメラで検査対象物を撮像して、前記検査対象物の撮像画像を得る撮像工程と、処理装置が、画像処理を行って、前記撮像画像から前記検査対象物の欠陥を検出し、前記欠陥の種類を求める欠陥検出工程と、前記処理装置が、前記欠陥の種類と前記欠陥の検査に使用するセンサとの関係を示すセンサデータを基に、前記欠陥の種類に応じて、前記欠陥の検査に使用するセンサを選定するセンサ選定工程とを有する。
【発明の効果】
【０００９】
本発明によると、欠陥を検査するセンサを欠陥の種類に応じて選定することができる欠陥検査システムと欠陥検査方法を提供することができる。
【００１０】
上記した以外の課題、構成および効果は、以下の発明を実施するための形態の説明により明らかにされる。
【図面の簡単な説明】
（【００１１】以降は省略されています）

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